ITO薄膜基础知识

ITO薄膜基础知识

一、ITO薄膜的概念

IT0薄膜是IndiumTinOxides的缩写。作为纳米锢锡

金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体

有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，

塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断

对人体有害的电子辐射及紫外、红外。IT0是一种N型氧化

物半导体-氧化锢锡,IT0薄膜即锢锡氧化物半导体透明导电

膜,通常有两个性能指标：电阻率和透光率.

二、IT0薄膜的应用

IT0薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%

以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率285%,对微

波的衰减率285%导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐

蚀，因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要作用。

主要用途有：

(一)用于平面显示

IT0薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能，所以

它作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展，约占功能膜

的50%以上，例如液晶显示(LCD)、LED、电致发光显本(ELD)、

电致彩电显示(ECD)等。随着液晶显示器件的大面积化、高

等级化和彩色化,LCD将超过CRT成为显示器件中的主流产

品。因而IT0薄摸主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、

计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。

（二）用于触摸屏

目前市场上，使用ITO材料的电阻式触摸屏和电容式触

摸屏应用最为广泛。

1、电阻式触摸屏

薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的ITO材料

阻抗低，但是透明性会变差。在PET聚脂薄膜上沉积时，反

应温度要下降到150度以下，这会导致IT0氧化不完全，之后

的应用中ITO会暴露在空气或空气隔层里，它单位面积阻抗

因为自氧化而随时间变化。这使得电阻式触摸屏需要经常校

正。电阻式触摸屏的多层结构会导致很大的光损失，对于手

持设备通常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题，但这

样也会增加电池的消耗。电阻式触摸屏的优点是它的屏和控

制系统都比较便宜，反应灵敏度也很好。

2、电容式触摸屏

电容式触摸屏也需要使用ITO材料，而且它的功

耗低寿命长,

以得到高的能量转换效率，例如ITO/SiO

2/P-Si太阳能电池可以产生13%〜16%的转换效率。ITO

玻璃还可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结

型A-Si基太阳能电池的透明电极。具有电致变色（EC）的灵巧

窗的典型结构是在普通白玻璃上沉积多层膜,其内外层为

ITO膜。研究表明，EC玻璃可使建筑物内暖气、冷气和照明等

能耗减少50%以上。

（四）用于微波屏蔽和防护镜

IT0薄膜有良好的微波屏蔽作用，能防静电，可用于屏

蔽电磁波的地方,如计算机房、雷达的屏蔽保护区，甚至可用

于防雷达隐形飞机上。茶色ITO薄膜是钢、锡氧化物的新品

种,它能防紫外线和红外线,滤去对人体有害的紫外波段,因

此镀IT0膜的玻璃镜片可作特殊防护镜。

三、IT0薄膜的主要制备方法

IT0导电薄膜是用物理的或化学的方法在基体表面上沉

积得到。基体材料一般采用玻璃，如采用低温溅射工艺制备

这种薄膜，基体也可以采用塑料等聚合物材料。基体的热膨

胀系数对膜的性质有较大的影响，所以选择基体时应考虑基

体和莫的热膨胀系数的匹配问题。

（-）磁控溅射法：磁控溅射法是利用惰性气体离子轰

击靶材（一般为高密度的锢锡氧化物靶材），轰击下来的原子

沉积到衬底上形成薄膜。磁控溅射法采用的靶材有IT靶和

IT0靶两种。

（二）化学气相沉积（CVD）法：CVD法首先是将锢、锡的

有机盐气化,然后在N2或Ar的载气气氛中与0力比0或乩。2等反

应而得到ITO薄膜。

（三）喷雾热分解法：喷雾热分解法是将锢和锡的金属

盐溶液雾化后喷在处于高温区域的衬底上，经过液滴的干

燥、热分解过程在基体表面得到ITO薄膜。

（四）溶胶-凝胶法：首先得到氢氧化钢锡溶胶，然后

通过浸涂、煨烧等后续工艺得到薄膜。

（五）水热法：水热法制备薄膜是近年来发展起来的一

种很有潜力的液相制膜技术，它一般以廉价的无机盐或氢

氧化物水溶液或悬浮液为前驱体，以单晶片、金属片、玻璃

片、甚至塑料等为衬底，将前驱体和衬底置于密闭反应容器

里，通过对反应容器加热，创造了一个高温（通常低于

300℃）、高压的反应环境，最终在衬底上形成稳定结晶相

薄膜。目前，水热法制备薄膜的研究主要集中在制备压电和

铁电薄膜。

四、电容屏主要供应厂商

（-）台湾电容屏主要供应厂商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarket

宸鸿TPKTPSensor/ModuleApple

奇美CMITPSensor/ModuleApple/HTC

胜华WintekTPSensor/ModuleApple

达虹CandoTPSensor/ModuleApple/HP

和叁SintekTPSensor/ModuleApple/SonyErisUSA/Korea/Japan

凌达giantplusLCMModuleHTC

洋华YoungFastModuleHTC/三星/LG

华映CpttLCMModule冠明/Dell/HP

介而JTouchLCMModuleSonyEris/^W/LG

全台EDTLCMModule思科/Lexmark/SymbolCHINA/Japan

明兴UnidisplayTPSensor/Module群创/三星/小巨Korea/TW/Japan

（二）国内电容屏主要供应厂商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarket

比亚迪BYDLCMModule金立/康佳/天时达

天马TianmaModule华为/中兴/天语

南玻NaBOGlass/ITOGlass东方/宇胜/航天光电

CHINA

牧东MuttoTPSensor海尔/中兴/海信/联想

信利TrulyTPSensor/Module华为/中兴/天语

超声GoworldTPSensor/Module联想/天语

莱宝LaibaoGlass/ITOGlass天马/信利/超声CHINA

华意EELYTPSensor察」韦尔/三艮/口节僚想CHINA/Japan

宇顺SuccessTPSensor/Module华为/中兴/BBK/支曲

CHINA

长信TokenGlass/ITOGlass天马/信利/超声

（三）国外电容屏主要供应厂商

BrandBusinessCustomerBaseMajorMarketArea

LG化学LGModuleLG/OlhersKoreaKorea

DigitechN/ATPSensor三星KoreaKorea

ELKN/ATPSensor/Module^i*/LG/Moto/SonyKorea/JapanKorea

MELFASN/ATPSensor三星Korea/JapanKorea

SynopexN/ATPSensor/Module三星Korea/JapanKorea

写真NisshaModule1ITCUSA/Korea/Japan/TWJapan

（四）触控板材料价值分布

1、Touchsensor（触控感测器）40%

2、Coverglass（防护玻璃罩）30%

3、Touchsensorchip（触摸传感器芯片）15%

4、Printedcircuitboardsandothercomponents

（电路板及其他部件）15%

五、ITO材料在电容式触摸屏产业链中的基本情况

（一）行业综述

IT0靶材，约占原材料采购成本20%左右。主要由日本

提供，日本目前提供了全球70%左右IT0靶材。日东电工目

前在电阻屏和电容屏的ITOfilm领域都是第一品牌，采取

的是高端市场战略，大陆厂商由于和日东合作的历史不长，

从日东采购的ITO