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集成电路制造工艺

--纯水制备单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室第九章洁净技术洁净设备清洗技术洁净技术等级标准纯水制备本章要点第九章洁净技术洁净设备清洗技术洁净技术等级标准纯水制备本章要点§9.4纯水制备去离子水中杂质及有机物标准项目电阻率尘埃量最大尘埃颗粒总电解度有机物要求≥18MΩ•cm（25℃）≤100-150个/ml≤0.5µmNaCl：≤35×10-9≤1×10-6项目溶存气体SiO2氧化物硝酸根磷酸根要求≤200×10-6≤2×10-9≤≤0.2×10-9≤0.5×10-9≤0.5×10-9项目CuAlKNaFe要求≤0.1×10-9≤0.5×10-9≤0.5×10-9≤1×10-9≤0.1×10-9项目CrMgZn硫酸根微生物要求≤0.1×10-9≤0.5×10-9≤0.1×10-9≤1×10-910个/ml离子交换技术含有离子的水，经过离子交换树脂时，水中的离子被树脂吸收，而树脂上的可交换离子（H+或OH－）被解吸，交换到水中，形成去离子水（含有杂质离子已经被除去）称为DI。交换树脂的工作原理：Na++R－SO3－H+↔R－SO3－Na++H+Cl－+R≡Na+OH－↔R≡Na+Cl－+OH－反渗透技术渗透是指较淡的溶液会透过薄膜渗透到较浓的中反渗透是在浓溶液一边加一定的压力（10~15MPa），使渗透方向反过来，即把浓溶液压到淡溶液那边去。水中盐类离子（金属离子或非金属离子）被薄膜吸附（截流），从而到达另一边去的水就是去离子水。电渗析技术“电渗析”是利用渗析原理，借助离子交换膜进行水处理的方法。离子交换膜是一种功能性膜，分为阴离子交换膜和阳离子交换膜，（简称阴膜和阳膜）。阳膜只允许阳离子通过，阴膜只允许阴离子通过去离子水制备流程自来水粗过滤器RO装置储水箱循环泵混合去

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