高端光刻机辅助设备运维技师（初级）考试试卷及答案

高端光刻机辅助设备运维技师（初级）考试试卷及答案一、填空题（每题1分，共10分）1.光刻机辅助设备中，负责工件台定位精度检测的核心部件是______。2.辅助设备运维前，必须执行的第一步操作是______。3.光刻机真空辅助系统的主要作用是______。4.辅助设备中，针对高精度运动部件常用的润滑脂是______。5.运维时发现设备异常，应立即______。6.光刻机辅助设备的温度控制精度通常要求在______范围内。7.负责传输晶圆的辅助设备是______。8.辅助设备电气系统绝缘电阻检测应使用______。9.运维过程中必须佩戴的个人防护装备（PPE）是______（至少1项）。10.辅助设备预防性维护周期分为日检、周检和______。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.光刻机真空系统常用的检漏气体是？A.氧气B.氦气C.氮气D.氢气2.晶圆传输机器人运动精度要求通常不低于？A.±1μmB.±5μmC.±10μmD.±20μm3.辅助设备中过滤微尘颗粒的部件是？A.真空泵B.HEPA过滤器C.传感器D.控制器4.清洁光学部件应使用？A.酒精棉B.无尘布蘸高纯度异丙醇C.纸巾D.清水5.辅助设备接地电阻应不大于？A.1ΩB.4ΩC.10ΩD.20Ω6.需立即处理的设备异常是？A.轻微噪音B.温度波动±0.2℃C.真空度不达标D.正常指示灯亮7.监测腔室压力的传感器是？A.温度传感器B.真空规C.流量传感器D.位置传感器8.真空泵油更换周期一般是？A.1个月B.3个月C.6个月D.12个月9.晶圆传输禁止的操作是？A.轻拿轻放B.戴防静电手套C.直接用手接触D.专用夹具10.红色报警代表？A.警告B.故障C.紧急故障D.提示三、多项选择题（每题2分，共20分）1.辅助设备运维安全规范包括？A.断电挂牌B.佩戴PPEC.酒后作业D.高空系安全带E.未授权操作2.晶圆传输机器人常见故障有？A.定位不准B.运动卡顿C.真空吸附失效D.电机过热E.指示灯损坏3.真空系统组成部件包括？A.真空泵B.真空规C.过滤器D.压力控制阀E.加热板4.辅助设备温度控制方式有？A.水冷B.风冷C.油冷D.电加热E.蒸汽加热5.运维需记录的关键数据有？A.真空度B.温度C.湿度D.运行时间E.零件更换记录6.光学部件清洁注意事项有？A.无尘环境B.专用清洁剂C.单向擦拭D.用力擦拭E.避光7.辅助设备常见润滑点包括？A.运动导轨B.轴承C.齿轮D.电机轴E.传感器8.报警系统分类包括？A.提示（绿色）B.警告（黄色）C.故障（橙色）D.紧急（红色）E.无报警（蓝色）9.晶圆存储要求有？A.防静电B.恒温恒湿C.无尘D.避光E.高压10.日常检查项目包括？A.电源连接B.气压表读数C.真空度D.过滤器状态E.电机温度四、判断题（每题2分，共20分）1.运维时可直接用手接触电气部件。（）2.氦气检漏灵敏度最高。（）3.机器人定位精度越高，产能越高。（）4.温度精度越高，良率越高。（）5.预防性维护无需记录。（）6.清洁光学部件可用普通酒精。（）7.接地电阻越大越安全。（）8.真空度不达标需检查真空泵。（）9.可随意修改设备参数。（）10.机器人运动速度越快越好。（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述辅助设备运维前的安全准备工作。2.简述晶圆传输机器人常见故障及排查方法。3.简述真空系统日常维护要点。4.简述温度控制系统维护注意事项。六、讨论题（每题5分，共10分）1.讨论如何提高辅助设备预防性维护效率？2.讨论晶圆传输中静电防护的重要性及措施？---参考答案一、填空题1.激光干涉仪2.断电挂牌（设备锁定）3.维持腔室真空环境4.全氟聚醚润滑脂（PFPE）5.停止作业并上报6.±0.1℃7.晶圆传输机器人（EFEM）8.兆欧表（摇表）9.防静电手环（护目镜）10.月检二、单项选择题1.B2.A3.B4.B5.B6.C7.B8.C9.C10.C三、多项选择题1.ABD2.ABCD3.ABCD4.ABC5.ABCDE6.ABCE7.ABCD8.BD9.ABCD10.ABCDE四、判断题1.×2.√3.√4.√5.×6.×7.×8.√9.×10.×五、简答题1.安全准备工作：①断开设备电源并挂牌锁定，防误启动；②佩戴防静电手环、护目镜等PPE；③检查作业区消防器材及通道；④核对运维SOP，明确风险点；⑤高空/密闭作业需申请许可，配安全带/呼吸器；⑥无无关物品干扰。2.常见故障及排查：①定位不准：校准激光干涉仪，调整关节参数；②运动卡顿：检查导轨润滑/杂质，更换磨损轴承；③真空失效：检漏管路，换密封圈，查真空发生器；④电机过热：清风扇灰尘，降负载，换电机。3.真空系统维护：①日检真空度，记录波动；②周检真空泵油位，6个月换油；③月清过滤器，查管路泄漏；④季度校准真空规；⑤避免异物进入，氦气检漏排查泄漏。4.温度系统维护：①日检温度波动（≤±0.1℃）；②周检水冷管路泄漏，清过滤器；③月校准温度传感器；④远离热源，防静电干扰；⑤失控时停设备，查加热/制冷模块。六、讨论题1.提高维护效率：①标准化SOP，明确步骤/周期；②信息化管理（EMS），自动提醒维护，分析故障趋势；③人员培训，提升技能；④储备常用备件（密封圈/过滤器）；⑤引入智能监测（振动/温度