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文档简介

半导体厂务项目工程管理项目七气体的分类任务7-3气柜操作及故障排查1.系统登陆1.系统登陆2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫2.换瓶吹扫3.送气操作3.送气操作3.送气操作3.送气操作4.气瓶柜故障排查故障类型排查方案输送压力LPT高a.可将调压阀逆时针旋转，减小出口压力（不可调节太大）b.需确认调压阀是否发生内漏输送压力LPT低a.可将调压阀顺时针旋转，增大出口压力（不可调节太大）b.说明机台认使用流量较大钢瓶压力HPT高a.该报警说明钢瓶压力高（HPT），一般发生于液化气体气瓶柜b.可能是温度升高导致液化气体的蒸气压升高c.一般报警点可设定为：对应HPT的满量程×（75％～85％）钢瓶压力HPT低a.该报警说明钢瓶压力（HPT)低，提示气瓶柜将切换。b.若是气体钢瓶，可设定为：满瓶压力×(20％～30％）c.若是液化气体钢瓶，可设定为：满瓶压力×(75％～85％）双瓶自动切换失败a.若是气体钢瓶且另一侧已Standby且设置为“停本侧”，气瓶柜将自动切换并弹出报警。b.若是液化气体钢瓶，可设定为：满瓶压力×（70％～75％）。报警发生且另一侧standby且设置为“停本侧”，会自动切换。液体净重W/S低a.该报警说明钢瓶重量（W.S)低，提示气瓶柜将切换。b.液化气体钢瓶才会有此报警c.报警点可设定为：满瓶液体净重×（20％～30％）且“皮重”重量>已设定4.气瓶柜故障排查故障类型排查方案真空度不足报警a.VPT当前值低于设置3中抽真空真空b.检查GN2压力，确认在正常范围内吹扫N2不足a.HPT当前值低于设置3中吹扫N2压力低限b.检查吹扫N2压力，确认在正常范围内保压压力不足a.HPT当前值低于设置3中正压保压压力低限b.检查保压N2压力，确认在正常范围内正压保压失败a.正压保压时压力变化高于设置3中正压保压可接受压力变化范围b.重新拆除钢瓶，更换垫片(若需要)，重新拧紧，再次执行正压保压负压保压失败

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