中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目环评报告表

建设项目环境影响报告表（污染影响类-公示本）项目名称：中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目建设单位（盖章）：中微半导体设备（四川）有限公司编制日期：2025年1月1马*）；验）基地”□改建□技术改造□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目局）；2根据《成都高新技术产业开发区分区规划（2017-2035年3本项目与《成都高新技术产业开发区分区规划（2017-2035年）环序号序号园区规划环评报告书及审查意见相关要求本项目符合情况1禁止开发建设活动的要求：禁止新引入不符合主导产业的项目。（高新技术产业开发区西区主导产智能终端、创新研发等五大电子信息产业。）符合本项目从事半导体薄膜沉积设备的研发与生产，属于园区主导产业中“集成电路”的上游配套项目，项目建设与园区产业定位相符。2限制开发建设活动的要求：新、改、扩建涉重金属重点行业建设项目必须遵循重点重金属污染物排则，应在高新区内有明确具体的重金属污染物排放总量来源。符合本项目不涉及重金属污染物。3主导行业管控要求：电子信息：限制使用含铅电镀工艺，该类项目清洁生产水平须达到同行业先进水平，COD排放强度≤0.06kg/万元，氨氮排放强度≤0.005kg/万元，现有此类企业整改达标或关闭退出。符合本项目不涉及电镀工艺。满足主导行业管控要求。4企业环境风险防控要求：涉及有毒有害、易燃易爆物质新建、改扩建项目，严控准入要求。园区环境风险防控要求：园区风险防控体系要求：构建三级环境风险防控体系，强化危化品泄漏应急处置措施，确保风险可控。针对化工园区进一步强化风险防控。符合本项目涉及的各类危险化学品，气态化学品以液化气或压缩气体方式通过钢瓶运至厂区，储存于化学品库内，液态化学品采用桶装形式储存于化学品库内。同时，本项目在环境风险防范措施上设置有消防器、事故应急池等，同时对化学品库、危废暂存间地面采取重点防渗措施，并设置围堰及收集沟等环境风险防控设施。经环境风险预测结果可知，本项目在严格落实各项风险防控措施，强化运维管理的前提下，环境风险可控。5资源开发效率要求：电子信息（12英寸集成电路制造、平板显示器及印制电路板制造）：-清洗水回用率不小于50%；工业用水重复利用率：≥92%（12英寸集成电路≥90%（平板显示器行业符合本项目不属于12英寸集成电路制造、平板显示器及印制电路板制造。4-土地投资强度：单位工业用地面积工业增加值≥900元/m2；单位工业用地面积工业增加值三年年均增长率≥6%。序号序号园区规划环评报告书及审查意见相关要求本项目符合性分析1优化开发区产业结构，做好全过程环境管控。按照国务院对开发区的批复要求和四川省最新环境管理要求，加快开发区产业结构优化，对环保投诉集中、潜在环境风险较高的生物医药产业加强控制；与主导产业不相关且不符合区域环境保护要求的化工项目应进行搬迁；严控涉及重金属等特征污染物排放的产业发展，以及高新西区排放氟化物建设项目的引入；符合（1）本项目不属于生物医药产业及化工项目；（2）本项目不涉及重金属的储存和使用，但在工艺上不可避免使用三氟化氯、三氟化氮，产生的废气涉及氟化物，针对含氟废气，项目采用“POU源头处理+碱液喷淋”进行处理后，经高度为53米的排气筒排放。2严守环境质量底线，强化污染物排放总量管控。采取有效措施减少主要污染物和重金属等特征污染物的排放量，确保区域环境质量持续改善，实现产业发展与城市发展、生态环境保护相协调。符合本项目针对废气、废水等均采取了相应合理有效的治理措施（详见“工程分析”章节）能够确保全部实现达标排放。3严格入区项目生态环境准入，推动高质量发展。落实《报告书》生态环境准入要求，强化现有及入区企业挥发性有机物排放控制，禁止污染物排放量大的非主导产业项目入区；符合本项目属于园区主导产业，项目不涉及挥发性有机物排放；4空间布局约束。不符合空间布局要求活动的退出要求：部分工业企业要按腾退计划表有序完成退出。符合本项目为园区主导产业，符合空间布局要求，不属于退出企业。按照四川省生态环境厅办公室发布的《产业园区规划环评“三线一单”符合性分析技单”符合性分析技术要点(试行)》的通知(川环办函(2021)469号)要求，本项目建设与生态环境分区管控相关要求的符合性分析根据四川省生态环境分区管控辅助研判系统查询结果，本项目位于成都市高新西区环境综合管控单元工业重点管控单元（管），）：567项目所在地块为工业用地，不涉及生态保护红线，本项项目所在位置8本项目对成都高新区（西区）重点管控单元的普适性及单元级管控要求进空间布禁止开发建设活动1、禁止引入不符合国家法律法规和相关政策明令2、禁止在长江干支流、重要湖泊岸线一公里范围）；全、环保节能和智能化改造项目除外)，按属地原则依法依规妥善做好未通过认定化工园区及园区4、新建危险化学品生产项目必须进入一般或较低5、禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化胶黏剂的新、扩建项目。8、严控通风廊道协调管控区内主要大气污染物排推进位于环境敏感区和城市建成区环境风险高的染物排放的建设项目；强化工业领域总磷污染防含磷药剂。（23456）本项目为半导体器件专用设备制造项目及工程和技术研究和时本项目不涉及危险化学品生产以及高VOCs成都市规划已确定的通风廊道区域以及通风本项目位于成都市工业重点管控区成都市高限制开发建设活动1、严控列入产业结构调整指导目录限制类行业的（2024年本）》鼓励类、限制类及淘汰类，92、禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严4、坚决遏制“两高一低”项目盲目发展。对高耗尚未饱和的行业，按照国家布局和审批备案等要耗量较大的新兴产业，支持引导企业应用绿色技力度。/不符合空间布局要求活动的1、现有属于禁止、限制引入产业门类的项目，原则上限制发展，允许企业在一定期限内以提升安2、工业生产中可能产生恶臭气体但未按要求设置污染物排放管控现有源提标升级改造江流域水污染物排放标准》（DB51/232、加快推进火电、钢铁、水泥、和工业炉窑超低3、推广低（无）VOCs含量原辅材料。进一步提高4、持续推进在用锅炉提标改造，执行《成都市锅其他污染物排放管1、上一年度水环境质量未完成目标的，相关污染物应按照建设项目所需替代的主要污染物排放总电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组重点行业建设项目应遵循重点重金属污染物排放提交环境影响评价文件时应明确重点重金属污染物排放总量及来源,无明确具体总量来源的，各级3、从严标准执行。全域执行《四川省岷江、沱江 5、电子信息行业、汽车制造行业新、改、扩建项究报告》中提出的相应行业资源环境绩效指标要6、推进老旧燃气锅炉和成型生物质锅炉低氮燃烧7、推动工业涂装、制药、建材（水泥、陶瓷、玻A级或引领性企业、B级企业对原辅材料、污染物弃物利用处置率可达100%，危险废物处置率经济带战略环境评价四川省成都市“三线一8、落实《四川省深入打好重污染天气消除、臭氧理设施提级增效，强化VOCs无组织排放整治，加强非正常工况废气排放管控，推进涉VOCs产业集群治理提升，推进油品VOCs综合管控。环境风其他环境1、排放有毒有害污染物的企业事业单位，必须建2、构建三级环境风险防控体系，强化危化品泄漏3、化工园区应按照《四川省化工园区认定管理办法》（川经信规[2023]3号）中的具体要求，具有5、禁止将重金属或者其他有毒有害物质含量超标6、推进工业企业治污减排和升级改造。以污水处造。本项目的行业类别为C3569半导体器件专用备案行业名录里应当编制突发环境事件应急能保证液态化学品发生泄漏后能够得到有效本次环评要求企业每六个月开展一次环境风生产设施设备、构筑物和污染治理设施的拆其中工业固体废弃物利用处置率可达100%，危险废物处置率可达100%；本项目所用地块不在建设用地土壤污染风险管控和修复名录/资源开发利用水资源利用总量要求水量控制在24立方米内，万元工业增加值用水量2、新建、改建、扩建工业园区应当按照有关要求/能源利用总量及效1、除威立雅三瓦窑热电（成都）有限公司外，禁2、禁止新建、改建（已有锅炉配套治理设施升级）；3、工业企业单位工业增加值能耗对标国内先进水革委等部门关于发布<工业重点领域能效标杆水平和基准水平（2023年版）>的通知》（发改产业璃等工业重点领域依据基准水平和标杆水平开展节能降碳分类改造升级。禁燃区要求在城市人民政府规定的期限内改用天然气、页岩空间布禁止开发建设的活1、禁止引入单纯原料药、中间体生产（以原料药///限制开发建设活动2、医药制造产业限制使用手工胶囊填充工艺、软不符合空间布局要求活动的1、现有不符合空间布局要求工业企业适时进行有污染物排放管控现有源提标升级改造），）；/新增源等量或倍量/新增源排放标准限值/污染物排放绩效水平准入要求1、新、改、扩建电子信息企业应参考执行成都市/环境风严格管控类农用地/安全利用类农用地/污染地块/园区环境/企业环境资源开水资源利用效率要求）：化学药品制剂制造：单位产品新鲜水消耗≤0.5m）；/能源利用/项目备案表》，备案号：川投资备【2504-5政策名称相关要求本项目符合符合《中华人民共和国大气污染防治法》《水污染防治行动计划》《水污染防治行生产、进口、销售和使用含挥发性有机物的原材料和产品的，其挥发性有机物含量应当符合质量标准或者要求国家鼓励生产、进口、销售和使用低毒、低挥发性有机溶剂。本项目使用的原辅料、产品均不涉及含挥发性有机物。符合符合符合产生含挥发性有机物废气的生产和服务活动，应当在密闭空间或者设备中进行，并按照规定安装、使用污染防治设施；无法密闭的，应当采取措施减少废气排放。实施最严格水资源管理制度，控制用水总量，提高用水效率，加强水量调度，保证重要河流生态流量……严惩各类环境违法行为和违规建设项目，加强行政执法与刑事司法衔接，健全水环境监测网络……强化环境治理目标管理，深化污染物总量控制制度，严格控制各类环境风险，全面推行排污许可。本项目废水经处理后，通过污水管网排入成都高新西区第二污水处理厂进行处理。污水处理厂排口浓度参照《地表水环境质量标准》（GB3838－2002）中Ⅲ类水质标准。岷江、沱江两大流域强化控源减排，金沙动计划四川省工作方案》江、嘉陵江、长江干流（四川段）三大流域及黄河（四川段）保护和整治并重；以强力控制和消减总磷污染为主攻方向，坚持标本兼治，继续控制氨氮、化学需氧量等水污染物，兼顾其他特征水污染物。《深入打好土壤污染整治攻坚战实施方案》严防重金属污染。以重有色金属矿采选、重有色金属冶炼、铅蓄电池制造、电镀、化工、皮革鞣制等6个重点行业污染防治为重点，优化涉重金属产业结构和布局，加强铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑重点重金属污染物管控，深化重点行业重金属污染治理，完善重金属污染物排放管理制度。本项目不涉及重金属排放符合《“十四五”噪声污染防治行动计划》排放噪声的工业企业应切实采取减振降噪措施，加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理，同时避免突发噪声扰民。本项目采取了减震降噪措施符合《成都市2025年大气污染防治工作行动方案》三、大气污染防治六大行动（一）协同降碳行动--加快能源结构调整：禁止新建（“以新换旧”替换原有生物质锅炉的除外）、改建（已有锅炉配套治理升级改造除外)、扩建燃煤、生物质锅炉（含成型生物质锅炉四环路（成都绕城高速公路G4202）内新建、扩建承压热水锅炉或蒸汽锅炉应全面使用电锅炉。（三）治污减排行动--严格落实《成都市人民政府关于划定市辖区和四川天府新区(直管区)、成都东部新区、成都高新区高污染燃料禁燃区的通告》要求，12月底前，完成禁燃区内烧结砖瓦等涉及使用高污染燃料的工业企业清洁能源替代或转型升级。--新增涉气建设项目严格执行VOCs、NOx等主要污染物排放总量控制，实施双倍削减替代审核和备案制度。落实《成都市主要大气污染物总量减排核算技术指南》，分级建立总量指标储备库，为建设项目新增总量提供削减替代来源。--本项目不涉及燃煤、生物质锅炉；--本项目不涉及高污染燃料；--本项目涉及的废气（NOx）总量指标已取得成都高新技术产业开发区生态环境和城市管理局出具的总量审核文件，已明确总量指标解决途径及来源。符合年水污染防治工作实施方案》（三）实施工业企业治污减排--严格落实环境准入要求：严格落实法律法规要求，加强《成都市2023年生态环境分区管控动态更新成果》应用，强化源头防控，规范开发建设活动；沱江流域禁止新建、改建、扩建含磷污染物排放增加的建设项目；开展“三磷”整治回头看；“散乱污”工业企业动态"清零”。根据分析，本项目满足园区生态环境准入要求，满足所在工业重点管控单元分区管控要求，本项目不属于三磷行业，不属于散乱污企业，项目不涉及含磷污染物排放。符合年噪声污染防治工作实施方（三）开展分类整治--严格工业噪声污染防治：做好工业企业噪声污染防治宣传引导工作，引导工业企本项目拟采取减震、隔声、选用低噪设备、加强维护等降噪措施，根符合业在生产活动中推广使用低噪声设备，落实企业主体责任，促进行业自律。据预测项目建成后厂界及敏感点噪声均能达标。）；），），《建设项目环境影响评价分类管理名录》中“第四十五、研究和试验发展，第98项、），序号文件要求本项目情况符合性《关于印发成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺改革试点方案的通知》（成环发《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单（2023实施范围市域行政区内已完成规划环评或跟踪环评的自贸区、产业园区本项目位于成都高新技术产业开发区西区，园区已取得审查意见（环审﹝2021﹞符合符合符合符合实施对象自贸区按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的项目、产业园区按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的部分项目本项目为产业园内按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》的规定应当编制环境影响报告表的项目；且本项目属于《产业功能区内应编制环境影响报告表的承诺制项目正面清单》中的“70电子和电工机械专用设备制造356”以及“98专业实验室、研发（试验）基地”之列。实施条件建设单位完成工商注册；项目地块位于自贸区、产业园区内；自贸区和产业园区已完成规划环评或跟踪环评；项目的环境影响评价审批权限属于市级及县级环保行政主管部门。不包括关系国家安全、涉及重大公共利益的项目1、建设单位已完成工商注册；2、项目位于高新西区，园区已完成规划环评；3、项目审批权限属于成都高新区生态环境和城市管理局；4、本项目不属于关系国际安全、涉及重大公共利益的项目。适用范围本通知适用于市本级和区(市)县审批的建设项目。同时，将审批承诺制与环保信用评价管理挂钩，环保信用评定等级为环保信用不良单位(D级)的企事业单位，其建设项目不纳入审批承诺制项目正面清单；环保信用评定等级为环保信用不良单位(D级)的第三方服务单位，其编制的建设项目环境影响评价文件本项目审批权限属于成都高新区生态环境和城市管理局，本项目建设单位和项目环评技术服务单位均不属于环保信用不良单位(D级)，因此，本项目适用于审批承诺制。年版）》（成环发〔2023〕85号）不适用承诺制审批承诺制正面清单一、产业园区内承诺制项目正面清单……《名录》项目类别号：三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”项目类型：“81电子元件及电子专用材料制造398”文件类别：报告表……本项目应编制环境影响报告表，同时本项目属于《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清产业功能区内应编制环境影响报告表的承诺制项目正面清单”中“70电子和电工机械专用设备制造356”以及“98专业实验室、研发（试验）基地”之类别符合积设备400台/年的生产能力。组装生产过程为：通过螺丝紧固的方式将各类外购部件进术研究和试验发展”类，根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021年版），项目进行半导体薄膜沉积设备的组装生产，产能为400台/年。产品名称产能半导体薄膜沉积设备400台/年研发内容规模CVD试片20000片/年注：试片样品交下游测试厂家进行质量分析，不作为产品外售。项目项目主要内容建设内容及规模主要环境问题施工期运营期主体工程FAB厂房1栋，4层设置。1F设置为组装生产区，用于半导体薄膜沉积设备的组装生产，形成年产半导体薄膜沉积设备400台/年的生产能力。2F设置为设备用房，布设与CVD机台配套的POU源头处理装置。3F为研发试验区，布设CVD机台30台，用于设备试片，试片能力为2万片/年。4F为仓储区，用于非化学品原料暂存及成品暂存。施工废水；施工扬尘；施工噪声；施工固废；生活污水；工艺废气、固体废物辅助工程公用工程环保工程办公生活仓储及其他力站）1栋，地下1层、地面3层设置。-1F设置消防水池、生产废水处理站配套的废水收集池；1F设置柴油发电机房、循环冷却水系统、生产废水处理站设备用房；2F为预留区；3F布置纯水制备系统，采用“活性炭过滤+软化+保安过滤+反渗透+EDI”工艺进行纯水制备，设计制备能力5m3/h。纯水制备废水、循环冷却塔排水、柴油发电机烟气、固体废物氢气供应站1栋，1层设置。用于氢气供应鱼雷车停放及厂区内氢气供给。/供水由园区供水管网统一供给。/供气由园区市政天然气管网供给。/供电由园区市政电网统一供给。/工艺尾气处理装置项目设置30台CVD试片机台，每台机台自带“POU源头处理（燃烧+水洗）”装置1套，末端配套设置3套碱液喷淋塔（2用1备），每套碱液喷淋塔系统风量22000m3/h，每配套1根53m高排气筒，共计3根排气筒，排气筒编号DA001、DA002、DA003（备用系统排气筒）。POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水生产废水处理站收集水池位于CUB厂房-1F，设备位于CUB厂房1F，设计处理能力1000m3/d，采用“pH调节+2级混凝沉淀除氟”工艺。生产废水处理站污泥生活污水预处理池1个，容积75m3，用于处理生活污水。预处理池污泥隔油池隔油池浮油危险废物暂存间位于化学品库西南侧，面积约65m2，按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行建设。环境风险事故应急池1个，有效容积为460m3，位于供氢站与化学品库之间，地下设置，用于事故状态下生产废水及消防废水的收集。/办公楼1栋，7F设置，用于员工办公。生活污水、生活垃圾、餐厨垃圾食堂位于办公楼1F，用于员工就餐。PB厂房1栋，6层设置。1F设置为厨房；2~6F设置为停车场。食堂油烟、餐厨垃圾化学品库1栋，面积约300m2，1层设置。主要用于化学品储存。地面进行防泄漏、防腐、防渗处理。环境风险序号序号设备名称数量备注123456螺丝刀若干组装生产用设备扳手若干若干保压仪4水漏仪4氦检仪47CVD机台研发试验用设备名称单位年用量包装方式各类零部件及模块（包含腔室盖、腔室主体与框架、传感模块、工艺模块、气体管路模块、柜模块、腔室主体与框架、机械手适配器、负载锁模块、电气电子模块、真空泵、冷却系统等）套400盒装、袋装、箱装螺丝个若干袋装软管个若干袋装卡扣个若干袋装氦气kg钢瓶名称成分形态包装方式单位年用量一次最大储存量双(二乙氨基)硅烷二异丙氨基硅烷二碘硅烷二氯二氢硅四氯化钛四(二甲氨基)钛六氟化钨硅烷5%乙硼烷混氮双(叔丁亚胺基)双(二甲胺基)钨(VI)二氯二氧化钼五氯化钼五二甲基氨钽C8H22N2Si液态瓶装kgC6H17NSi液态瓶装kgH2I2Si液态瓶装kgSiH2Cl2液化气钢瓶kgTiCl4液态瓶装kgC8H24N4Ti液态瓶装kgWF6液化气钢瓶kgSiH4液化气钢瓶kg5%B2H6、95%N2压缩气态钢瓶Nm3C12H30N4W液态瓶装kgMoO2Cl2瓶装kgMoCl5瓶装kgTa[N(CH3)2瓶装kg第三丁基乙炔六羰基二钴C12H10Co2O6液态瓶装kg二羰基环戊二烯基钴5H5)Co(CO)2液态瓶装kg三乙基铝C6H15Al液态瓶装kg三甲基铝Al(CH3)3液态瓶装kg四氯化铪HfCl4瓶装kg四(乙基甲基胺基)锆(IV)C12H32N4Zr液态瓶装kg三(N,N'-二异丙基甲脒基)镧C21H45LaN6瓶装kg氧气O2液化气瓶装Nm3氮气N2液化气瓶装t氩气AR压缩气态钢瓶t氨气NH3液化气钢瓶t氢气H2压缩气态鱼雷车Nm3三氟化氮NF3压缩气体钢瓶kg名称名称单位用量来源电万KW.h/年800市政供电吨/年703500市政供水天然气万m3/年45市政供气），生产组织的影响；环保设施紧邻主要生产单元，以便于线短捷，在生产厂房布局时满足工艺流程，也满足验线采用3班工作制，每班工作8小时；办公人员采用单班工作制，每班工作8小时。来源于各类燃油动力机械施工作业时排出的各类燃油废气及运输车辆产生的废气；3）装修废气：主要来源于室内外装修工程喷涂油漆、涂料等装饰1）施工废水：主要来源于冲洗施工机械和运输车辆产生冲洗废水、混凝土工程产生于施工过程中产生的废包装材料、边角余料、废包装桶等建筑垃圾；3）生活垃圾：主要（6）化学品使用：运营过程中各类物料使用过程产生废包装材料，分为沾染化学品类别类别产污位置污染物名称主要污染因子或废物类别废气CVD设备研发试验工艺尾气、设备清洁废气氮氧化物、氯化氢、氨、氟化物POU源头处理装置POU装置燃烧二氧化硫、氮氧化物、颗粒物应急发电柴油发电机烟气/危险废物暂存危废暂存间异味/办公生活食堂油烟油烟废水废气处理装置（含POU源头处理装置、碱液喷淋塔）POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水SS、氟化物、氯化物办公生活生活污水SS、生产设备设备运行噪声/废物CVD试验设备保养废冷却液危险废物化学品使用废包装材料（沾染化学品）危险废物废包装材料（未沾染化学品）一般废物办公生活生活垃圾、餐厨垃圾一般废物预处理池预处理池污泥一般废物隔油池隔油池浮油一般废物生产废水处理站氟化钙污泥一般废物设备维护废含油棉纱、手套危险废物与项目有关的原有环境问题本项目为新建项目，无原有环境问题。根据地块内部北侧地块内部南侧根据成都市生态环境局发布的《2024成都生态环境质量公报》可知，2024年成都污染物污染物评价指标污染物浓度（ug/m3）标准值达标情况达标情况二氧化硫年平均质量浓度35达标二氧化氮年平均质量浓度40达标PM10年平均质量浓度4868.6达标PM2.5年平均质量浓度91.4达标一氧化碳日均值第95百分位浓度值900400022.5达标臭氧日最大8小时均值的第90百分位浓度值未达标市外其余区（市）县均达标，O3部分区（市）县达标。都江堰市阳市、东部新区5个区（市）县实现六项污染物浓度达到《环境空气质量标准》），划（2018-2027年）》。根据《成都市空气质量达标规划（2018—2027年）》：成都市大气环境质量达标总体战略以未达标、健康危害大的PM2.5为重点控制因子，协同控制臭源、扬尘源等为重点控制对象，推进多污染源综合PM2.5、VOCs等大气污染物，开展多污染物协同控制，推进大气氨的排放控制。到2020根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》（污染影响类试行“排放国家、地方环境空气质量标准中有标准限值要求的特征污染物时，引用建设项目周边5采样及监测方法：按《环境空气质量标准》（GB3095-2012）和《环境影响评价技式中：Pi——i种污染物的单项评价指数；00NO000000000000氨00由上可知，项目所在区域氯化氢、氨均满足《环境影响评价技术导则-大气环境》根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018），地表水环境现状调占比77.2%；Ⅲ类水质断面24个，占比21.1%）；无Ⅳ~Ⅴ类和劣Ⅴ类水质断面。本项目废水经成都高新西区第二污水处理厂处理后排入清水河，清水河永宁断面根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》（污染影响类试行“厂界根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》（污染影响类试行“产业园区外建设项目新增用地且用地范围内含有生态环境保护目标时，应进行生态现状调根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》（污染影响类试行“原则环境保护目标根据调查，项目厂界外500米范围内主要大气环保护目标名称性质概况方位距厂界最近距离执行标准德源镇场镇（含居住区、学校、医院、行政办公场所等）10000人西侧70《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标准散居农户散居农户西南侧370根据调查，厂界外500米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉本项目位于四川省成都高新西区，项目用地范污染物排放控制标准1、废气：氮氧化物、氯化氢、氟化物、二氧化硫、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）；氨执行《恶臭污染污染物有组织执行标准排气筒高度浓度限值排放速率氮氧化物240《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）氯化氢4.3氟化物9二氧化硫55043.8颗粒物67.5氨/61《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）项目排放限值（mg/m3）限值含义无组织排放监控位置执行标准颗粒物周界外浓度最高点周界外《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）氮氧化物0.12二氧化硫0.40氯化氢0.20氟化物0.02氨无组织排放浓度厂界《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）5氯化物执行《四川省水污染物排放标准》（DB废水排放口废水排放口项目标准限值（mg/L）执行标准厂区废水排口pH6~9《污水综合排放标准》（GB8978-1996）《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）《四川省水污染物排放标准》（DB51/190-93）COD500BOD5300SS400氟化物动植物油总氮氨氮45总磷8氯化物3、噪声：施工期执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）；营运期执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348类别标准限值LAeqdB(A)执行标准昼间夜间《工业企业厂界环境噪声排放标准》3类区域6555 《工业企业厂界环境噪声排放标准》3类区域6555执行范围 标准限值LAeqdB(A)昼间夜间厂界70554、固体废物：厂区一般固废贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境氨氮按照《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中45mg/L计算。污水COD：339900m3/a×500mg/L×10-6=169.NH3-N：339900m3/a×45mg/L×10-6=15.2955（tCOD：339900m3/a×20mg/L×10-6=6.NH3-N：339900m3/a×1mg/L×10-6=0.3399（t污染物名称单位本项目新增排入高新西区第二污水处理厂排入清水河CODt/a169.95006.7980氨氮t/a15.29550.3399污染物名称排放方式单位总量控制指标氮氧化物0.01合计t/a0.9401必须”（必须规范打围、保持干净整洁，必须设置出场车辆高压冲洗设施，必须硬化主要施工道路、出入口，必须湿法作业，必须及时清运建筑垃圾，必须使用800目密目网必须安装扬尘在线监测设备、必须安装高清视频监控设备）、“十不准”（不准车辆带机械废气：施工期间，运输车辆及机械设备的工作均会排放一定量的CO、NOx等。该类废气排放量小，且属间断性无组织排放，由于施工场地开阔，扩散条件良好，该类装修废气：装饰废气主要来自于房屋装修阶段，该废气的排放属无组织排放，其主要污染因子为非甲烷总烃等有机废气。本项目预计装修时间为1个月。装饰工作完后，应每天进行通风换气一至二个月，由于装修时采用的涂料含有的甲醛等影响环境质量的有毒有害物质挥发时间长，使用期间也应综上，建设单位在严格执行环评提出的防治措施后可有效降低施工期各大气污染物对区域大气环境质量的影响，且该影响将随施工期废水来源主要为两部分：一是工程建筑施工产生的生产废水，主要来源于施工机械的冲洗废水，主要含泥砂，并带有少量的油污，悬浮物浓度较高，经隔油、沉淀和除渣后循环使用，不外排。二是施工人员产生的生活污水，施工期间产生的生活污水经自建的预处理池处理后，通过管网进入高新综上，本项目施工期产生的生活污水可得到有效处理，达标排放；生产废水全部回噪措施。同时加强高噪声设备的维修管理，保证其正常运行，减少设备在非正常运行时所产生的噪声。加强车辆管理，控制车辆噪声，减轻交通倒砂卵石料，尽量安排在白天进行施工，并避开人群休办理《夜间施工许可证》，在高噪声作业前及连续施工时及时公告施工时间，以取得周相关要求，在建筑工程项目进出口显著位置公示《夜间施工许可证》，明确施工现场噪声污染防治责任人及投诉电话，畅通反映问题渠道，接受社会、市民的监督。主动采取多种方式提前与周边社区、市民做好沟通解释工作，积极妥善处理夜间施工噪音投诉，综上，项目施工期噪声影响是暂时性的，在采取相应的管理措施后可降至最低，并在建设过程中，挖出土石方多余部分需进行妥善管理，随着主体工程的施工进度，大部分挖方回填，仅余少量土石方，用于绿化及厂区道路整治用，不须另选弃土堆场。但临时堆场要作好相应的防尘、防渗措施，特别是雨季时要注意防止水土流失，堆场四周应进行栏挡，施工结束后，尽快回填。大风或干燥天气时，为防止扬尘飞扬，堆土场顶部要覆盖防尘布或覆盖防尘网，配合定期喷洒粉尘抑制剂等措综上，建设单位在严格执行环评提出的处置措施后，固体废物可得到有效处置，不废气种废气种类排气筒编号排气筒高度系统风量（m/h）污染物处理前处理后处理措施处理效率评价标准达标达标情况产生速率（kg/h）产生浓度（mg/m）排放速率（kg/h）排放浓度（mg/m）速率（kg/h）浓度（mg/m）运营期环境影响和保护措施氮氧化物0.073.30.073.010%13.2240达标工艺废气（工艺尾气、设备清洁废气、POU天然气燃烧废气）DA0015322000氯化氢120.6氟化物0.052.20.0050.2氨0.073.30.0070.3二氧化硫0.0130.60.0010.1颗粒物0.70131.90.28012.7碱液喷淋90%4.3达标90%9达标90%61/达标90%43.8550达标60%67.5120达标DA0025322000氮氧化物0.073.30.073.0氯化氢120.6氟化物0.052.20.0050.2氨0.073.30.0070.3二氧化硫0.0130.60.0010.1颗粒物0.70131.90.28012.7碱液喷淋10%13.2240达标90%4.3达标90%9达标90%61/达标90%43.8550达标60%67.5120达标一根等效排气筒。若有三根以上的近距排气筒，且排放同一种污染物时，应以前两根的等效排气筒，依次与第三、四根排气筒取等效值。”本项目排气筒之间距离小于其几何高度之和，因此需计算等效排放速率。本项目工等效排气筒高度污染物等效排放速率（kg/h）等效排放速率执行标准（kg/h）达标情况氮氧化物0.13达标达标达标氯化氢0.024.3氟化物0.01二氧化硫0.00343.8达标颗粒物0.56167.5达标端碱液喷淋装置进一步处理，各排气筒氮氧化物、氯化氢、氟化物、二氧化硫、颗粒物排放满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）要求，氨排放满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）要求；工艺废气等效排气筒排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）要求。不涉及无组织排放；气态物料使用过程采用管道连接完成后方可开启钢瓶阀，气态物料输送均通过密闭管道，不涉及无组织排放；项目设备研发试验阶段废气产生点位均位于密闭沉积舱内，沉积舱通过管道与废气处理装置直接连接排放类型污染物产生量（t/a）削减量（t/a）排放量（t/a）有组织排放氮氧化物2.86781.92770.9401氯化氢17.617417.44120.1762氟化物6.94516.87570.0695氨10.500010.39500.1050二氧化硫0.18000.16200.0180颗粒物10.09446.05664.0378废气种类监测位置监测项目监测频率工艺废气排气筒DA001、DA002工艺废气2工艺废气排气筒DA001、DA002工艺废气2化硫、颗粒物废水种类废水排放去向POU源头处理装置排水生产废水处理站→厂区废水总排口（DW001）→市政管网→高新西区第二污水处理厂→清水河碱液喷淋塔排水冷却塔排水厂区废水总排口（DW001）→市政管网→高新西区第二污水处理厂→清水河纯水制备废水生活污水预处理池（食堂废水先隔油）→厂区废水总排口（DW001）→市政管网→高新西区第二污水处理厂→清水河运营过程中POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水中主要污染物为氟化物。项目拟建生产废水处理站一座，用于对运营过程中POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水中污染物浓度采用物料衡算法结合类比法确定，具体逻辑为：废水中污染物来源于自来水自身带入以及各类废气污染物经水洗后带入（含氨氮、总氮、SS、氟化物、氯化物），自定，废气污染物经水洗后带入量采用物料衡算法确定；冷却塔排水、纯水制备废水属于清下水，类比同类水质监测结果确定；生活污水水质参照《排放源统计调查产排污核算废水种类废水量（m3/d）污染因子污染物浓度（mg/L）POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水728CODBOD55氨氮48总氮49总磷0.1SS氟化物氯化物964冷却塔排水288CODBOD55氨氮0.1总氮总磷0.1SS纯水制备废水CODBOD55氨氮0.1总氮总磷0.1SS生活污水90COD400BOD5NH3-N总氮60总磷3SS动植物油类物站//BOD55//////////3//////水//////33////////////5///////////////////////////////5////////////////////////////////////////8/////2//////5/城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）；氯化物排放满足《四川省水污染物排放标污染物产生量(t/a)削减量(t/a)排放量(t/a)CODBOD5氨氮总氮总磷SS氟化物氯化物动植物油本项目与成都高新西区第二污水处理厂进水水质要求水质指标CODCrBOD5SSNH3-NT-NTP氟化物厂区废水总排口（DW001）49450.32成都高新西区第二污水处理厂进水水质要求4002003004073是否满足纳管水质满足满足满足满足满足满足满足处理厂进水水质的相应要求，故本项目废水可纳入综上，本项目位于成都高新西区第二污水处理厂纳污范围内，本项目外排废水水质满足成都高新西区第二污水处理厂进水水质要求，同时成都高新西区第二污水处理厂处类别监测位置监测项目监测频率废水废水总排口（DW001）1pH、COD、BOD5、氨氮、总氮、总磷、SS、氟化物、氯化物、动植物油1次/季度针对项目特点，项目运营过程中，基本无工艺设备噪声产生，项目噪声主要来源于综上，项目通过采取上述降噪措施后，厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排声源名称型号声源源强空间相对位置/m声源控制措施运行运行声功率级dB（A）XYZ废气处理系统风机/-5041选用低噪声设备；风机工程降噪；设备维护等措施；24h/0041/5041Lpi——某个室内声源在靠近围护结构处Q——指向性因子，通常对无指向性声源，当声源放在房间中心时面墙的中心时，Q=2；当放在两面墙夹角处时，Q=4；当放在④将室外声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源，计Lw=Lp2(T)+10lg(S)Amisc——其他多方面效应引起的倍频衰减，则预测点的总声级为:项目建成投产后，噪声源通过上述预测模式，对本项目各噪声预测点进行预测，预名称与厂界的最近距离（m）北面东面南面西面FAB厂房64预测点位本项目贡献值标准值评价结果昼间夜间昼间夜间 北侧厂界47.7 南侧厂界30 东侧厂界43.165 南侧厂界30西侧厂界33.8由上表可知，本项目通过选用低噪声设备、风机工程降噪、设备维护等措施，项目根据《排污单位自行监测指南-总则》（H），类别监测位置监测项目监测频率项目厂界外1米4厂界噪声项目运营过程中，危险废物包括CVD机台定期维护产生的废冷却液、化学品使用过暂存间配套活性炭吸附装置更换耗材产生的废活性炭。统一收集暂存于厂区危险废物暂存间严格按照《危险废物贮存污染控制标准》的要求设计，做好下整体抽风换气，尾气经配套的活性炭吸附装置进行处理后排放程中可能产生的异味对外环境的影响；同时，运营过程中作好危贮存场所（设施）名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码建筑面积贮存贮存方式危险废物暂存间废冷却液HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-006-0965m2桶装化学品废包装材料（沾染化学品）HW49其他废物900-041-49袋装废活性炭HW49其他废物900-041-49袋装废含油棉纱、手套HW49其他废物900-041-49袋装废包装材料（未沾染化学品）：化学品使用过程中，部分未沾染化学品的废包装材生活垃圾、餐厨垃圾：人员办公生活过程中，产生的生活垃圾由市政统一清运；餐预处理池污泥：生活污水预处理池定期清理，产生预处理池污泥。预处理池污泥由隔油池浮油：食堂隔油池定期清理，产生隔油池浮油。与餐厨垃圾一并由餐厨垃圾），形态理物用/物/物//////泥//理/圾///本项目液态化学品使用点位位于FAB厂房3楼，化学品使用过程中染途径。结合项目特点，本项目地下水、土壤污染途径为：化学品、危险废物储存过程发生泄漏导致土壤及地下水含水层的污染；生产废水处理站池体、预处理池池体、隔油池池体可能在池体内稳定水头驱使下下渗进入含水层，为避免项目运行对项目所在地地下水及土壤环境产生影响，本环评结合各构筑物的防渗分区防渗区域防渗措施防渗措施重点防渗区危险废物暂存间地面采用“抗渗混凝土底板+2mm厚HDPE膜”进行防渗，渗透系数K≤10-10cm/s。《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）化学品库采用与厚度Mb≥6m，渗透系数K≤10-7cm/s黏土防渗层等效的20cm厚P8等级抗渗混凝土（渗透系数K=0.26×10-8cm/s）进行防渗。《环境影响评价技术导则—地下水环境》（HJ610-2016）重点防渗区要求生产废水处理站事故应急池一般防渗区生活污水预处理池采用与厚度Mb≥1.5m，渗透系数K≤10-7cm/s黏土防渗层等效的20cm厚P4等级混凝10-8cm/s）进行防渗。《环境影响评价技术导则—地下水环境》（HJ610-2016）一般防渗区要求隔油池简单防渗区办公楼、FAB厂房、PB厂房、CUB厂房、消防水池。一般地面硬化《环境影响评价技术导则—地下水环境》（HJ610-2016）简单防渗区要求参照《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）附录B和《企业突发环境本项目所涉及的原辅材料中被列为需重点关注的突发环境事件风险物质有4种，包括四根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-）：n——每种危险物质的最大存在总量，t；n——每种危险物质的临界量，t。当Q≥1时，将Q值划分为1）1≤Q<102）10≤Q<1003）Q≥10 注：上述物质的量均以纯物质折算；对使用危险化学品的名称、数量进行严格登记；凡储存、使并配置合格的、消防器材，并确保其处于完好状态。各类化学品化学品的容器、储罐，应经有关检验部门定期检验合格后方能使原料库、生产车间、危废暂存间等进行重点有相应运输资质的专业运输单位并采用专用运输车辆，运输过程须按照规定路线行驶。及时发现事故隐患并迅速给以消除。选用密闭性能良好的截断阀安全教育，增强职工安全意识，认真贯彻安全法规和制度，防止为避免生产过程中火灾或爆炸引起的风险事①加强原辅料在运输、储存、使用环节的环境管理，由特定②加强火源安全管理，做好防火工作，在场地内配备干粉、二沙等灭火装置；生产车间严格按照《建筑设计防火规范》（③加强对员工的教育和培训，制定和强化各种安全管理、安全④做好厂区“跑、冒、滴、漏”的管理措施，各类危险废物分类存⑥按照相关要求配备足量的消防设施，厂区雨水总排口设置截根据《化工建设项目环境保护设计规范》（GB50483-2009），事故应急池的容量应计算应急事故废水时，装置区或贮罐区事故不作同时发生参照中石化《水体污染防控紧急措施设计导则》（中国石化建标【2006】43号V1——收集系统范围内发生事故的一个最大储罐或装置内留存物料量最大的设备的物料量，m3（储存相同物料的罐组按一个最大储罐计，装置物料量按存留最大物料量的消Q消——发生事故的储罐或装置的同时使用的消防设施给消——消防设施对应的设计消防历时，h；V3——发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料V4——发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水V5——发生事故时可能进入该收集系统的降雨a——年平均降雨量，mm；F——必须进入事故废水收集系统的雨水汇类别备注V1收集系统范围内发生事故的一个最大储罐或装置内留存物料量最大的设备的物料量，m30.5根据调查，本项目化学品库内单个液态物料最大包装规格为0.5m3V2发生事故的储罐或装置的消防水量，m3270根据建设单位提供设计资料，化学品库室内消火栓系统设计流量10L/s，室外消火栓系统设计流量15L/s，消火栓灭火火灾延续时间为3h，则项目消防废水最大产生量为270m3V3发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量，m30.5化学品库设置围堰/地沟及废液收集池等收集截留措施，能够有效收集泄漏出的液态物质，考虑单个物料包装发生泄漏事故，则进入截留措施的物料量最大为0.5m3V4发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量，m30发生火灾事故时，本项目废水处理站总阀门关闭后，废水截留在废水处理站池体内，不发生外排，因此发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量为0。V5发生事故时可能进入该收集系统的降雨量，m3根据调查，成都市平均降水量为1155.1毫米，年平均降雨日数约148天，厂区可能受污染影响的雨水汇水分区面积约为2.33ha，经计算，需要收集的雨水约为182m3V总=（V1+V2-V3）max+V4+V5452与事故池相连，车间及集水沟地面防渗防漏措施，用于收集初期雨水及事故废水；储罐区设围堰截留系统（截止阀），在发生液体物料泄漏时，可立即关闭堰闸，并及时启动消防废水、事故状态下的生产废水、雨水等，平常应处于空池状态）；厂区雨水排放管网末端设置截止阀，一旦发现事故废水进入雨水管网，立即关闭雨水排放口，并将事故废水引入事故应急池中暂存。同时，在污水处理站出水口设置截止阀，一旦出现污水处理站运行事故，立即关闭污水排放口，避免废水超标外排。通过采取以上措施以确保厂区事故状态下的泄漏物料和消防废水全部收集，将三级防控：园区设置园区污水处理厂，本项目事故废水在厂区处理达标后排入园区本项目产生的危险废物在危废暂存间暂存并定期交有过程中危险废物导致的环境风险事故，建设单位和危险废①做好每次外运处置废弃物的运输登记，认真按要求填危险化学品的性质、危害特性、包装容器的使用特性和发生意外辆必须具有车辆危险货物运输许可证。驾驶人员必须由取得驾驶下，不得超装、超载，严格按照所在城市规定③应尽力避免工程事故排放，项目废气处理项目项目环保措施环保投资环保投资（万元）废气治理项目设置30台CVD试片机台，每台机台自带“POU源头处理（燃烧+水洗）”装置1套，末端配套设置3套碱液喷淋塔（2用1备每套碱液喷淋塔系统风量22000m3/h，每配套1根53m高排气筒，共计3根排气筒，排气筒编号DA001、DA002、DA003（备用系统排气筒）。废水处理生产废水处理站1座，设计处理能力1000m3/d，采用“pH调节+2级混凝沉淀除氟”工艺。生活污水预处理池1个，容积75m3。隔油池1个，容积4.5m3。2噪声治理选用低噪声设备/风机工程降噪。设备维护保养。5固废处置设置危险废物暂存间，按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行建设。地下水防治措施危险废物暂存间，地面采用“抗渗混凝土底板+2mm厚HDPE膜”进行防渗，渗透系数K≤10-10cm/s。化学品库、生产废水处理站、事故应急池，采用与厚度Mb≥6m，渗透系数K≤10-7cm/s黏土防渗层等效的20cm厚P8等级抗渗混凝土（渗透系数K=0.26×10-8cm/s）进行防渗。生活污水预处理池、隔油池，采用与厚度Mb≥1.5m，渗透系数K≤10-7cm/s黏土防渗层等效的20cm厚P4等级混凝土（渗透系数K=0.78×10-8cm/s）进行防渗。风险防范措施事故应急池，容积460m3，用于消防废水及事故状态下废水处理站排水收集。合计3027要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境工艺废气排气筒（DA001、DA002、DA003）物POU源头处理装置+碱液喷淋氧化物、氯化氢、氟化物、二氧化硫、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996），氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）。地表水环境POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水经厂区自建生产废水处理站处理后，厂区废水总排口排放；冷却塔排水、纯水制备废水直接经厂区废水总排口排放；生活污水（食堂废水先隔油）经厂区自建预处理池处理后经厂区废水总排口排放。COD、BOD5、SS、氟化物、动植物油执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准；氨氮、总氮、总磷参照《污水排入城镇下水道31962-2015）；氯化物执行《四川省水污染物排放标准》（DB51/190-93）。声环境废气处理设备风机选用低噪声设备；风机工程降噪；设备维护等措施。《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）电磁辐射////固体废物危险废物：废冷却液、废包装材料（沾染化学品）、废含油棉纱/手套、废活性炭，统一收集暂存于厂区危险废物暂存间内，定期交有资质单位统一处置。一般废物：废包装材料（不沾染化学品）、生活垃圾、预处理池污泥、氟化钙污泥，由市政统一清运；食堂餐厨垃圾、隔油池浮油，委托有餐厨垃圾处理资质的单位处理。土壤及地下水污染防治措施重点防渗区：危险废物暂存间地面采用“抗渗混凝土底板+2mm厚HDPE膜”进行防渗，渗透系数K≤10-10cm/s；化学品库、生产废水处理站、事故应急池采用与厚度Mb≥6m，渗透系数K≤1