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13.051/BE.340第10讲真空状态下生物材料的表面表征X-射线用特征能量轰击样品近表面（0.5-10nm）激发的二次23.051/BE.340u—33.051/BE.3404—敏感度：依赖于元素。元素在>0.1原子%的浓度下基本可被检测到（H和He不能被测-f（仪器和原子参数）43.051/BE.3404—在特定的键合配置情况下，从峰值面积的比率得到53.051/BE.340微弱变化到较高的C1s键合能63.051/BE.340不经过非弹性碰撞光电子逃离样品的可能性与它在样品中的深度t反相关。95%信号来自t≤3λe——通过改变溅射角度(θ),样品的深度可减少，表面灵敏度增加73.051/BE.34083.051/BE.340lllij从表中得到；当同一原子不同键合配置中取得峰值比率时取消。如对于元素：）：93.051/BE.340对于MgKαX-射线：hv=1254ev对于C1s：EB=284eVEkin=970eV3.051/BE.340对于非均匀的样品，信号强度应该反卷积以得到浓3.051/BE.3403.051/BE.340测得在不同溅射角(θ1，θ2）时同一峰的Iij3.051/BE.3403.051/BE.3403.051/BE.3403.051/BE.3403.051/BE.340类型{l液态金属离子：Ga3.051/BE.340应用B-场产生带电粒子的圆形轨3.051/BE.34095%信号来自l举例：硅粉末的SIMS3.051/BE.3403.051/BE.3404.P.J.Cum

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