等离子设备真空系统技师岗位招聘考试试卷及答案

等离子设备真空系统技师岗位招聘考试试卷及答案等离子设备真空系统技师岗位招聘考试试卷及答案试题部分一、填空题（共10题，每题1分）1.真空度国际单位制基本单位是______。2.等离子设备粗抽泵常用______泵。3.精密检漏常用______检漏法。4.高真空（10⁻³Pa以下）测量常用______规。5.真空室耐腐蚀材质常选______（举1种）。6.系统允许最大泄漏率通常≤______Pa·L/s（数量级）。7.分子泵靠______传递动量抽气。8.冷阱主要捕集______气体。9.真空系统常用角阀类型是______阀。10.抽气顺序：先开______泵，后开高真空泵。二、单项选择题（共10题，每题2分）1.以下属于干式真空泵的是？A.湿式旋片泵B.扩散泵C.罗茨泵D.油增压泵2.维持等离子设备高真空的泵是？A.旋片泵B.分子泵C.水环泵D.活塞泵3.覆盖10⁵~10⁻¹Pa的真空规是？A.热偶规B.电离规C.电容薄膜规D.磁控规4.防止高真空泵返油的装置是？A.冷阱B.挡板C.过滤器D.节流阀5.可凝性气体是？A.氧气B.氮气C.水蒸气D.氩气6.真空密封常用材料是？A.橡胶O圈B.铜片C.铝箔D.塑料7.分子泵抽速与______无关？A.转速B.口径C.气体种类D.环境温度8.氦气作示踪气体的原因不包括？A.空气中含量低B.无毒C.易电离D.无腐蚀性9.启动前无需检查的是？A.泵油液位B.冷却水流量C.阀门状态D.灯丝电流10.真空度抽不上去的原因是？A.泄漏率达标B.泵油污染C.冷阱温度正常D.阀门全开三、多项选择题（共10题，每题2分，多选/少选/错选不得分）1.真空系统组成包括？A.真空室B.真空泵组C.测量系统D.检漏装置2.常用高真空泵有？A.分子泵B.扩散泵C.离子泵D.旋片泵3.检漏方法有？A.氦质谱检漏B.卤素检漏C.压力检漏D.超声检漏4.真空规按原理分？A.机械规B.热学规C.电学规D.光学规5.可凝性气体处理方法？A.冷阱捕集B.液氮冷却C.分子筛吸附D.直接抽除6.真空阀门作用？A.隔离真空室B.调节流量C.防返油D.保护泵7.分子泵特点？A.无油污染B.抽速大C.启动快D.抽大气压8.泄漏危害？A.真空度下降B.等离子体不稳C.设备损坏D.能耗增加9.系统维护内容？A.换泵油B.检密封件C.校准规管D.清冷阱10.真空度不稳原因？A.泄漏B.泵性能下降C.可凝性气体释放D.冷却水不足四、判断题（共10题，每题2分，√/×）1.扩散泵可直接抽大气压到高真空。（）2.热偶规适用于中低真空。（）3.冷阱温度越低捕集效果越好。（）4.罗茨泵需前级泵才能工作。（）5.氦质谱检漏仪灵敏度比卤素高。（）6.橡胶O圈可重复使用。（）7.分子泵抽速随气体分子量增大而增大。（）8.抽气先开高真空泵再开前级泵。（）9.离子泵适用于超高真空。（）10.真空度抽不上去一定是泄漏。（）五、简答题（共4题，每题5分）1.简述等离子设备真空系统核心组成及作用。2.常用真空规种类及适用范围？3.真空系统检漏基本步骤？4.分子泵与扩散泵的主要区别？六、讨论题（共2题，每题5分）1.如何制定真空系统日常维护计划？2.真空度突然下降的应急处理流程？答案部分一、填空题1.帕斯卡（Pa）2.旋片3.氦质谱4.电离5.不锈钢（或石英/陶瓷）6.10⁻⁶7.高速旋转叶片8.可凝性（如水蒸气）9.真空角10.前级（粗抽）二、单项选择题1.C2.B3.C4.B5.C6.A7.D8.C9.D10.B三、多项选择题1.ABCD2.ABC3.ABCD4.ABC5.ABC6.ABCD7.ABC8.ABCD9.ABCD10.ABCD四、判断题1.×2.√3.√4.√5.√6.×7.√8.×9.√10.×五、简答题1.①真空室：容纳等离子体反应；②真空泵组：前级泵抽粗真空，高真空泵（分子泵）维持高真空；③测量系统：规管测真空度；④检漏装置：检测泄漏；⑤辅助部件：冷阱捕集可凝性气体，阀门隔离/调节。2.①电容薄膜规：10⁵~10⁻¹Pa（中低真空）；②热偶规：10³~10⁻¹Pa（中真空）；③电离规：10⁻¹~10⁻⁸Pa（高真空）；④磁控规：10⁻³~10⁻¹⁰Pa（超高真空）。3.①粗检：肥皂水涂密封处看气泡；②精检：氦质谱检漏仪喷氦气定位；③修复：换密封件或修补；④复检：确认泄漏率达标。4.①原理：分子泵靠叶片动量传递，扩散泵靠油蒸气喷射；②油污染：分子泵无油，扩散泵有返油风险；③启动：分子泵启动快，扩散泵需预热；④适用：分子泵适用于中高真空，扩散泵适用于高真空。六、讨论题1.①每日：查泵油、冷却水、阀门，记录真空度；②每周：清冷阱、校准规管、检密封件；③每月：换前级泵油、查分子泵轴承；④每季度：全面检漏、测泵性能；⑤年度：大修泵、