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文档简介
2S3.图案蚀刻在S2中的钛金属板用光敏涂料涂膜、菲林胶片激光定影、化学显影230.01~0.05g/L。2.根据权利要求1所述的可折卷的柔性钛金属部件的制造方法,其特征在于,步骤S13.根据权利要求1所述的可折卷的柔性钛金属部件的制造方法,其特征在于,步骤S235.根据权利要求3所述的可折卷的柔性钛金属部件的所述烷基硫酸钠为十二烷基硫酸钠、十六烷基硫酸钠、十八烷基硫酸7.根据权利要求1所述的可折卷的柔性钛金属部件的制造方法,其特征在于,步骤S145[0024]进一步地,所述NTS溶液中的镍盐的浓度为3~10wt铜盐的浓度为0.01~0.03wt稀酸的浓度为5~25wt%。Ar惰性气体环境为氮气和或氩气纯气体的任意比磺酸钠和丁二酸二辛酯磺酸钠中的一种或多6辅助剂改变了被蚀刻金属表面与蚀刻液接触效果,同时使得蚀刻反应产物Tin和离子产物7[0066]钛金属厚板→镍盐、铜盐与稀酸混合溶液(NTS溶液,以下同)浸泡10N2Ar惰性气体环境(气压≥1个大气压)、在550℃,并保持120秒条件下压制到所设定厚度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂料→定影[0072]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固8[0079]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→LFGG蚀刻液蚀刻→去光敏9N2_Ar惰性气体环境(气压≥1个大气压)、在650℃,并保持80秒条件下压制到所设定厚度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂料→定影[0091]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固[0098]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→PFSH蚀刻液→去光敏膜→度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂料[0111]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固[0118]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→PFSH蚀刻液→去光敏膜→洗→N2_Ar惰性气体环境(气压≥1个大气压)、在550℃,并保持120秒条件下压制到所设定厚度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂[0131]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固[0138]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→PFSH蚀刻液→去光敏膜→度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂料[0151]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固[0158]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→PFSH蚀刻液→去光敏膜→度(0.065~0.15mm)→冷却→涂膜光固化涂料[0171]去油→活化→电镀镍→AAB无氰电镀金电镀液中电镀金→清洗→后保护→清除固[0179]涂膜光敏涂料涂膜→菲林胶片激光定影→化学显影→PFSH蚀刻液→去光敏膜→为5B级,采用相同的测试条件和测试方法测试对比实施例制造的钛金属部件的镀层附着同时使得蚀刻反应产物Tin和离子产物及杂质金属Mn和离子产物离开钛金属表面,使得
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