YS-T 1725-2024《钒及钒合金靶材》

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钒及钒合金靶材

1范围

本文件规定了钒及钒合金靶材的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜用钒及钒合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YB/T4908.2钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定电感耦合等离子

体原子发射光谱法

YB/T4908.4钒铝合金氢含量的测定惰性气体熔融红外吸收法或热导法

YB/T4908.5钒铝合金碳、硫含量的测定高频感应燃烧-红外吸收法

YB/T4908.6钒铝合金氧、氮含量的测定惰性气体熔融红外吸收法和热导法

YS/T540.1钒化学分析方法第1部分：钒量的测定高锰酸钾-硫酸亚铁铵滴定法

YS/T540.5钒化学分析方法第5部分：杂质元素测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1075.10钒铝、钼铝中间合金化学分析方法第10部分：钠含量的测定火焰原子吸收光谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶坯targetblank

阴极上用于溅射材料的部分。

3.2

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的材料。

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4分类

4.1产品外形通常分为圆形和方形，或由需方提供图纸；按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材，

结构示意图如图1所示。

靶坯

背板

a）复合体靶材b）单体靶材

图1靶材结构示意图

4.2产品按照化学成分分为钒靶材和钒合金靶材，产品牌号应符合表1的规定。

表1产品牌号

靶材种类牌号

钒靶材V--

钒合金靶材V99W1V95W5V91W9

5技术要求

5.1化学成分

钒靶材的化学成分要求应符合表2的规定，钒合金靶材的化学成分要求应符合表3的规定。

表2钒靶材化学成分

牌号V

V含量a（质量分数）%，

99.95

不小于

Fe100

Ni50

Si500

Al500

Cu50

Cr50

杂质元素含量（质量分数）

W50

×10-4%，

K10

不大于

Na10

C100

N100

O200

H50

S50

aV的质量分数为100%减去杂质元素含量（C、N、O、H、S除外）实测总和的余量。

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表3钒合金靶材化学成分

牌号V99W1V95W5V91W9

V含量（质量分数）%98.9～99.194.5～95.590.1～91.9

W含量a（质量分数）%0.9～1.14.5～5.58.1～9.9

V+W含量b（质量分数）%，

99.7

不小于

Fe1000

Ni200

Si800

Al800

Cu200

杂质元素含量（质量分数）Cr200

×10-4%，K50

不大于Na50

C100

N1000

O1500

H100

S50

aW含量为V+W含量减去V含量的余量。

bV+W的质量分数为100%减去杂质元素含量（C、N、O、H、S除外）实测总和的余量。

5.2晶粒尺寸

产品的晶粒尺寸平均值应不大于100μm，最大值应不大于150μm。需方如有特殊要求时，由供需

双方协商确定。

5.3相对密度

产品的相对密度应不小于98%。

5.4内部质量

产品内部不应有分层、夹杂、疏松和气孔等缺陷。

5.5焊接质量

复合体靶材的焊接方法通常为钎焊，焊接结合率应不小于95%，单个未焊合间隙面积应不大于总面

积的2.5%。

5.6外形尺寸

产品通常为圆形，尺寸规格及结构方式应符合需方图纸要求。产品溅射面的平面度应小于0.1mm。

5.7表面粗糙度

产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。

5.8外观质量

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产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸

起等缺陷。

6试验方法

6.1钒合金靶材V含量的测定按照YS/T540.1的规定进行；C和S含量的测定按照YB/T4908.5的规

定进行；O和N含量的测定按照YB/T4908.6的规定进行；H含量的测定按照YB/T4908.4的规定进行；

Fe、Cr、Al、Cu和Si含量的测定按照YS/T540.5的规定进行；Na含量的测定按照YS/T1075.10的规

定进行；Ni含量按照YB/T4908.2的规定进行，其他元素的测定按照供需双方协商确定的方法进行。

6.2晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行。

6.3相对密度检验按照GB/T3850的规定进行。

6.4内部质量检验按照GB/T8651的规定进行。

6.5焊接质量检验按照YS/T837的规定进行。

6.6外形尺寸通过三坐标测量仪，按照加工图纸标识尺寸进行测量，或按照供需双方协商确定的方法

测量。

6.7表面粗糙度通过粗糙度测量仪按照GB/T1031的规定进行，或按照供需双方协商确定的方法测量。

6.8外观质量用目视方法检验，必要时用放大镜或显微镜进行鉴别。

7检验规则

7.1检查和验收

7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定。

7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，

应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量及外形尺寸的异议，应在收到产品之日

起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方

协商确定。

7.2组批

产品应成批提交验收。每批应由同一生产周期、同一牌号和同一规格的产品组成。

7.3检验项目

每批产品均应进行化学成分、晶粒尺寸、相对密度、内部质量、焊接质量、外形尺寸、表面粗糙度、

外观质量的检验。

7.4取样

7.4.1产品的取样应符合表4规定。

表4检验项目、取样位置及数量

检验项目取样规定取样数量技术要求的章条号试验方法的章条号

化学成分取样位置参考图2每批取2个样5.16.1

晶粒尺寸取样位置参考图2每批取2个样5.26.2

相对密度成品a/焊接前b每批取1个样5.36.3

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表4检测项目、取样位置及数量（续）

检验项目取样规定取样数量技术要求的章条号试验方法的章条号

内部质量成品/焊接前每批取1个样5.46.4

焊接质量c成品逐件5.56.5

外形尺寸成品逐件5.66.6

表面粗糙度成品逐件5.76.7

外观质量成品逐件5.86.8

a成品指完成机械加工的产品。

b复合体靶材在焊接前检验相对密度及内部质量。

c仅复合体靶材要求检验焊接质量。

7.4.2化学成分、晶粒尺寸检验在半成品（半成品指产品未进行机械加工）的边缘位置进行取样，圆

形半成品的样品间隔1/4圆弧长，如图2所示。

图2取样位置示意图

7.5检验结果的判定

7.5.1化学成分建议结果不合格时，判该批产品不合格。

7.5.2晶粒尺寸、相对密度、内部质量检验结果不合格时，取双倍数量的试样重复试验。若重复试验结

果中仍有试样不合格，则判定该批产品不合格。

7.5.3焊接质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判该件产品不合格。

8标志、包装、运输、贮存及随行文件

8.1标志

8.1.1应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置。

8.1.2在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：

a)供方标志；

b)产品名称；

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c)牌号；

d)生产批号；

e)出厂日期；

f)其他。

8.2包装

8.2.1产品的清洗、干燥及内包装应在GB/T25915.1-2021中ISO5级的洁净室内进行。产品经过全

面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口应平整，无泄露。

8.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将随行文件用塑封袋装好后粘贴于

包装盒上。

8.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。

8.3运输与贮存

运输及贮存过程中，应防震、防潮、防压、防止二次污染。

8.4随行文件

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、出厂日期或包装日期外，还宜包

括下列内容。

a)质量证明书，内容如下：

产品名称、牌号、规格和状态；

产品批号和数量；

各项分析检验结果及质量检验部门印记；

其他。

b)产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等；

c)其他。

9订货单内容

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容：

a)产品名称；

b)牌号；

c)外形尺寸；

d)数量；

e)本文件编号；

f)其他。

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ICS77.150.99

CCSH63YS

中华人民共和国有色金属行业标准

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钒及钒合金靶材

Vanadiumandvanadiumalloytarget

（报批稿）

××××-××-××发布××××-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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钒及钒合金靶材

1范围

本文件规定了钒及钒合金靶材的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜用钒及钒合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YB/T4908.2钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定电感耦合等离子

体原子发射光谱法

YB/T4908.4钒铝合金氢含量的测定惰性气体熔融红外吸收法或热导法

YB/T4908.5钒铝合金碳、硫含量的测定高频感应燃烧-红外吸收法

YB/T4908.6钒铝合金氧、氮含量的测定惰性气体熔融红外吸收法和热导法

YS/T540.1钒化学分析方法第1部分：钒量的测定高锰酸钾-硫酸亚铁铵滴定法

YS/T540.5钒化学分析方法第5部分：杂质元素测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1075.10钒铝、钼铝中间合金化学分析方法第10部分：钠含量的测定火焰原子吸收光谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶坯targetblank

阴极上用于溅射材料的部分。

3.2

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的材料。

1

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4分类

4.1产品外形通常分为圆形和方形，或由需方提供图纸；按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材，

结构示意图如图1所示。

靶坯

背板

a）复合体靶材b）单体靶材

图1靶材结构示意图

4.2产品按照化学成分分为钒靶材和钒合金靶材，产品牌号应符合表1的规定。

表1产品牌号

靶材种类牌号

钒靶材V--

钒合金靶材V99W1V95W5V91W9

5技术要求

5.1化学成分

钒靶材的化学成分要求应符合表2的规定，钒合金靶材的化学成分要求应符合表3的规定。

表2钒靶材化学成分

牌号V

V含量a（质量分数）%，

99.95

不小于

Fe100

Ni50

Si500

Al500

Cu50

Cr50

杂质元素含量（质量分数）

W50

×10-4%，

K10

不大于

Na10

C100

N100

O200

H50

S50

aV的质量分数为100%减去杂质元素含量（C、N、O、H、S除外）实测总和的余量。

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表3钒合金靶材化学成分

牌号V99W1V95W5V91W9

V含量（质量分数）%98.9～99.194.5～95.590.1～91.9

W含量a（质量分数）%0.9～1.14.5～5.5