电子工业用高纯氯化氢气体编制说明

一、工作简况

（一）任务来源

根据2020年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，

持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高质量发展

的能力。依据《中华人民标准化法》，以及《团体标准管理规定》相

关规定，中国中小商业企业协会决定立项并联合浙江瑞亨电子材料有

限公司等相关单位共同制定《电子工业用高纯氯化氢气体》团体标准。

于2022年11月07日，中国中小商业企业协会发布了《电子工业用

高纯氯化氢气体》团体标准立项通知，正式立项。为响应市场需求，

需要制定完善的电子工业用高纯氯化氢气体，对产品进行管理，满足

市场质量提升需要。

（二）编制背景及目的

电子工业是制造电子设备、电子元件、电子器件及其专用原材料

的工业部门。主要生产电子计算机、电视机、收音机和通信、雷达、

广播、导航、电子控制、电子仪表等设备，生产电阻器、电容器、电

感器、印刷电路板，接插元件和电子管、晶体管、集成电路等器件，

以及高频磁性材料、高频绝缘材料、半导体材料等专用原材料。

从1916年开始生产电子管起，无线电工业经历了电子管、晶体

管、集成电路、大规模和超大规模集成电路阶段。从1946年第一台

电子计算机问世以来，计算机技术飞速进步，正在向巨型、微型、智

能化和网络化方向发展。电子工业产品进入国民经济和人民生活水平

的各个领域。知识、技术、资金密集；产品附加值高，经济效益好；

已突破制造业的范围，形成了软件、服务、信息等新兴产业；许多国

家都把电子工业的发展放在突出的位置，作为一个带头产业。

电子工业是国民经济支柱产业之一，也是新兴科学技术发展产业。

在《中华人民共和国国民经济和社会发展“九五”和2010年远景目

标纲要》中确定了中国电子工业的远景目标――重点发展集成电路、

新型元器件，计算机和通信设备。

电子工业产品的高新技术不断地发展，促使电子产品生命周期正

在进一步缩短，加速了电子产品的更新换代。有的电子产品制造商以

适应新的发展思路，将分散的设计、开发、制造、装配进行革新和整

合，使电子产品更趋向于使用标准的零部件组合产品，向以较低的价

格提供更多不同的产品。

氯化氢，是一种无色非可燃性气体，有极刺激气味，比重大于空

气，遇潮湿的空气产生白雾，极易溶于水，生成盐酸。随着微电子工

业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，对

广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新

的要求。除了应具有99.999%以上的纯度，还要求氯化氢的THC、H2O

和金属离子等有机杂质的含量越低越好。

电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清

除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、

胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级

氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上

已有不少突破和发展。

电子级氯化氢在我们生活的各个领域中具有广泛的应用前景，它

不仅是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一，而且应

用于医药、化工、半导体行业，因此需求量越来越大。目前已有研究

人在研究制备过程中成功合成了电子级氯化氢，同时从这些合成方法

中发现解析法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单课大规模生产，但是

制备的氯化氢纯度偏低，越来越不满足电子工业，尤其是集成电路的

要求。合成法生产氯化氢的纯度偏高，但其中水量高，腐蚀严重，对

设备要求高，生产成本高。考虑到环保以及工业副产品回收利用等多

方面因素，制备高纯度氯化氢的合成是必然的发展趋势。

（三）编制过程

1、项目立项阶段

我国现有电子工业用氯化氢标准GB/T14602-2014《电子工业用

气体氯化氢》，其杂质含量较高，现有浙江瑞亨电子材料有限公司申

生产的省级工业新产品高纯电子级氯化氢，其杂质含量对比GB/T

14602-2014有显著降低。因此，浙江瑞亨电子材料有限公司向中国

中小商业企业协会提出《电子工业用高纯氯化氢气体》团体标准立项。

2、理论研究阶段

标准起草组成立伊始就电子工业用高纯氯化氢气体产品进行了

深入的调查研究，同时广泛搜集相关标准和国外技术资料，进行了大

量的研究分析、资料查证工作，确定了标准的制定原则，结合现有产

品实际应用经验，为标准的起草奠定了基础。

标准起草组进一步研究了电子工业用高纯氯化氢气体的主要功

能特点和技术性能管控指标，明确了要求和指标，为标准的具体起草

指明方向。

3、标准起草阶段

在理论研究基础上，起草组在标准编制过程中充分借鉴已有的理

论研究和实践成果，基于我们基本国情，经过数次修订，形成了《电

子工业用高纯氯化氢气体》标准草案稿。

4、标准征求意见阶段

形成标准草案稿之后，起草组召开了多次专家研讨会，从标准框

架、标准起草等角度广泛征求多方意见，从理论完善和实践应用方面

提升标准的适用性和实用性。经过理论研究和方法验证，明确和规范

电子工业用高纯氯化氢气体的技术要求。起草组形成了《电子工业用

高纯氯化氢气体》（征求意见稿）。

（四）主要起草单位及起草人所做的工作

主要起草单位：中国中小商业企业协会、浙江瑞亨电子材料有限

公司等多家单位的专家成立了规范起草小组，开展标准的编制工作。

经工作组的不懈努力，在2022年11月，完成了标准征求意见稿的编

写工作。

2、广泛收集相关资料。

在广泛调研、查阅和研究国际标准、国家标准、行业标准的基础

之上，形成本标准征求意见稿。本标准的制定引用的标准如下：

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱

法

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T14602—2014电子工业用气体氯化氢

二、标准编制原则和主要内容

（一）标准制定原则

本标准依据相关行业标准，标准编制遵循“前瞻性、实用性、统

一性、规范性”的原则，注重标准的可操作性，严格按照GB/T1.1

最新版本的要求进行编写。

（二）标准主要技术内容

本标准征求意见稿包括10个部分，主要内容如下：

1、范围

介绍本文件的主要内容以及本文件所适用的领域。

2、规范性引用文件

列出了本文件引用的标准文件。

3、术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4、分类

电子工业用高纯氯化氢气体按纯度分为：99.999％、99.9995％。

5.技术要求

对电子工业用高纯氯化氢气体的氯化氢纯度、氧+氩含量、氢含

量、氮含量、二氧化碳含量、一氧化碳含量、烃含量、水分含量、总

杂质含量、铁含量、镍含量、铬含量、铜含量、砷含量、钴含量、其

他金属元素（锰、锌）含量做出规定。

6、试验方法

本章节对氯化氢纯度、氧+氩含量、氢含量、氮含量、二氧化碳

含量、一氧化碳含量、烃含量、水分含量、总杂质含量、铁含量、镍

含量、铬含量、铜含量、砷含量、钴含量、其他金属元素（锰、锌）

含量的试验方法做出规定。

7、检验规则

本章节从采样、出厂检验、型式检验规定了电子工业用高纯氯化

氢气体的检验规则。

8、标志、包装、运输和贮存

对电子工业用高纯氯化氢气体的标志、包装、运输和贮存做出规

定。

9、安全警示

给出了电子工业用高纯氯化氢气体安全警示说明。

10、附录A

本附录给出了电子工业用高纯氯化氢气体的物化性质。

（三）主要试验（或验证）情况分析

结合国内外的行业测试和企业内部管控项目进行试验验证。

（四）标准中涉及专利的情况

无。

（五）预期达到的效益（经济、效益、生态等），对产业发展的作用

的情况

保障电子工业用高纯氯化氢气体产品的健康发展，提高产品质量。

（六）在标准体系中的位置，与现行相关法律、法规、规章及相关标

准，特别是强制性标准的协调性

符合现行相关法律、法规、规章及相关标准，与强制性标准协调

一致。

（七）重大分歧意见的处理经过和依据

无。

（八）标准性质的建议说明

本标准为团体标准，供社会各界自愿使用。

（九）贯彻标准的要求和措施建议

无。

（十）废止现行相关标准的建议

本标准为首次发布。

（十一）其他应予说明的事项

无。

《电子工业用高纯氯化氢气体》起草组

2022年11月10日

《电子工业用高纯氯化氢气体》

编制说明

团标制定工作组

二零二二年十一月

一、工作简况

（一）任务来源

根据2020年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，

持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高质量发展

的能力。依据《中华人民标准化法》，以及《团体标准管理规定》相

关规定，中国中小商业企业协会决定立项并联合浙江瑞亨电子材料有

限公司等相关单位共同制定《电子工业用高纯氯化氢气体》团体标准。

于2022年11月07日，中国中小商业企业协会发布了《电子工业用

高纯氯化氢气体》团体标准立项通知，正式立项。为响应市场需求，

需要制定完善的电子工业用高纯氯化氢气体，对产品进行管理，满足

市场质量提升需要。

（二）编制背景及目的

电子工业是制造电子设备、电子元件、电子器件及其专用原材料

的工业部门。主要生产电子计算机、电视机、收音机和通信、雷达、

广播、导航、电子控制、电子仪表等设备，生产电阻器、电容器、电

感器、印刷电路板，接插元件和电子管、晶体管、集成电路等器件，

以及高频磁性材料、高频绝缘材料、半导体材料等专用原材料。

从1916年开始生产电子管起，无线电工业经历了电子管、晶体

管、集成电路、大规模和超大规模集成电路阶段。从1946年第一台

电子计算机问世以来，计算机技术飞速进步，正在向巨型、微型、智

能化和网络化方向发展。电子工业产品进入国民经济和人民生活水平

的各个领域。知识、技术、资金密集；产品附加值高，经济效益好；

已突破制造业的范围，形成了软件、服务、信息等新兴产业；许多国

家都把电子工业的发展放在突出的位置，作为一个带头产业。

电子工业是国民经济支柱产业之一，也是新兴科学技术发展产业。

在《中华人民共和国国民经济和社会发展“九五”和2010年远景目

标纲要》中确定了中国电子工业的远景目标――重点发展集成电路、

新型元器件，计算机和通信设备。

电子工业产品的高新技术不断地发展，促使电子产品生命周期正

在进一步缩短，加速了电子产品的更新换代。有的电子产品制造商以

适应新的发展思路，将分散的设计、开发、制造、装配进行革新和整

合，使电子产品更趋向于使用标准的零部件组合产品，向以较低的价

格提供更多不同的产品。

氯化氢，是一种无色非可燃性气体，有极刺激气味，比重大于空

气，遇潮湿的空气产生白雾，极易溶于水，生成盐酸。随着微电子工

业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，对

广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新

的要求。除了应具有99.999%以上的纯度，还要求氯化氢的THC、H2O

和金属离子等有机杂质的含量越低越好。

电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清

除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、

胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级

氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上

已有不少突破和发展。

电子级氯化氢在我们生活的各个领域中具有广泛的应用前景，它

不仅是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一，而且应

用于医药、化工、半导体行业，因此需求量越来越大。目前已有研究

人在研究制备过程中成功合成了电子级氯化氢，同时从这些合成方法

中发现解析法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单课大规模生产，但是

制备的氯化氢纯度偏低，越来越不满足电子