电子工业用高纯氯化氢气体征求意见稿

ICS71.100.20

CCSG86

T/CASME

中国中小商业企业协会团体标准

T/CASMEXXX—2022

电子工业用高纯氯化氢气体

Highpurityhydrogenchloridegasfortheelectronicsindustry

（征求意见稿）

2022-XX-XX发布2022-XX-XX实施

中国中小商业企业协会发布

T/CASMEXXX—2022

电子工业用高纯氯化氢气体

1范围

本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存和安全警示。

本文件适用于以工业氯化氢为原料经纯化制得，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺、

硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域的电子工业用高纯氯化氢气

体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T14602—2014电子工业用气体氯化氢

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类

电子工业用高纯氯化氢气体按纯度分为：99.999％、99.9995％两个类别。

5技术要求

应符合表1的规定。

表1技术指标

指标

项目

99.999％99.9995％

氯化氢纯度（体积分数）/10-2≥99.99999.9995

-6

氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10≤1.00.5

-6

氢（H2）含量（体积分数）/10≤1.0

-6

氮（N2）含量（体积分数）/10≤1.0

-6

二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10≤1.0

1

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表1技术指标（续）

指标

项目

99.999％99.9995％

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤1.00.5

-6

烃（CH4+C2H2）含量（体积分数）/10≤1.00.5

-6

水分（H2O）含量（体积分数）/10≤0.750.5

总杂质含量（体积分数）/10-6≤-5

铁（Fe）含量（质量分数）/10-9≤203

镍（Ni）含量（质量分数）/10-9≤201

铬（Cr）含量（质量分数）/10-9≤201

铜（Cu）含量（质量分数）/10-9≤201

砷（As）含量（质量分数）/10-9≤201

钴（Co）含量（质量分数）/10-9≤201

其他金属元素（锰、锌）含量（质量分数）/10-9≤20010

6试验方法

氯化氢纯度、总杂质含量

按GB/T14602—2014中4.2的规定进行试验。

氧+氩、氢、氮、二氧化碳、一氧化碳、烃含量

按GB/T14602—2014中4.3的规定进行试验。氢含量分析采用GB/T14602—2014中4.3的色谱柱I。

水分含量

按GB/T5832.3的规定进行试验。

铁、镍、铬、铜、砷、钴、其他金属元素

按GB/T14602—2014中4.5的规定进行试验。

7检验规则

采样

按GB/T6681、GB/T3723的规定进行。

出厂检验

7.2.1氯化氢应由质量检验部门逐一检验合格并签发产品合格证后方可出厂。

7.2.2出厂检验项目为氯化氢纯度、总杂质含量。

7.2.3有任一项检验结果不符合本文件要求时，判该产品不合格。

型式检验

7.3.1有下列情形之一时，应进行型式检验：

2

T/CASMEXXX—2022

——新产品或老产品转厂定型时；

——正式生产后，如材料、工艺有较大改变可能影响产品性能时；

——正常生产每年一次；

——停产3个月以上再恢复生产时；

——出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时；

——行业主管部门提出要求时。

7.3.2型式检验项目为第5章规定的全部项目。

7.3.3有任一项检验结果不符合本文件要求时，判型式检验不合格，不应复检。

8标志、包装、运输和贮存

应符合GB/T14602—2014中5.1的规定。

9安全警示

氯化氢对眼、呼吸道黏膜具有强刺激性。急性中毒会引起头痛、呼吸困难、肺水肿等症状；慢性

中毒会引起慢性支气管炎、胃功能障碍、牙齿酸蚀等特征。

氯化氢物化性质参见附录A。

氯化氢为不燃气体，但与活性金属接触,会发生反应，生成氢气，有潜在着火危险。瓶装氯化氢遇

明火或高温，内压增高，有爆裂危险。可用干粉、二氧化碳、水或常规泡沫灭火。

皮肤接触：立即脱去被污染的衣物，用大量流动清水冲洗；眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流

动清水或生理盐水彻底冲洗；吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸畅通。严重时应就医。

氯化氢无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。对环境有危害，应特别注意对水体的污染。

储存于阴凉、通风的仓库内。库区应备有泄露应急处理设备和消防器材。

最高容许浓度：中国（MAC）15mg/m3。

3

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附录A

（资料性）

氯化氢物化性质

A.1分子式：HCl；

A.2分子量：36.461；

A.3常压沸点：-85℃；

A.4气体密度：1.639kg/m3（0℃，0.1MPa）；

A.5气体比重：1.268（0℃，空气=1）；

A.6摩尔体积：22.25L。

A.7氯化氢是一种无色有刺激性、腐蚀性及窒息性的气体。极易溶于水和酒精，也可溶于乙醚。纯态

氯化氢不与大多数金属发生反应。它虽能与碱金属、铝、锰、铁、铜、锡、铅、锌等金属反应，但会在

其表面生成一层氯化物保护膜，使金属得到保护。

A.8当有水存在时，与金属发生剧烈反应，生成金属氯化物，并产生氢气。

A.9产品充装于承压钢瓶中，以气/液平衡的形态存在。只要钢瓶中有液体存在,压力将会保持恒定，

其值与环境温度有关。当液相耗尽时，钢瓶压力会迅速下降。

A.10液态氯化氢饱和蒸汽压见表A.1。

表A.1液态氯化氢饱和蒸气压

温度/℃-85.03-10010203040

压力/MPa0.11.962.573.324.215.276.53

密度/（g/cm3）1.1910.9620.9240.8810.8310.7720.697

1

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江瑞亨电子材料有限公司提出。

本文件由中国中小商业企业协会归口。

本文件起草单位：浙江瑞亨电子材料有限公司……

本文件主要起草人：……

I

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电子工业用高纯氯化氢气体

1范围

本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存和安全警示。

本文件适用于以工业氯化氢为原料经纯化制得，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺、

硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域的电子工业用高纯氯化氢气

体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T14602—2014电子工业用气体氯化氢

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类

电子工业用高纯氯化氢气体按纯度分为：99.999％、99.9995％两个类别。

5技术要求

应符合表1的规定。

表1技术指标

指标

项目

99.999％99.9995％

氯化氢纯度（体积分数）/10-2≥99.99999.9995

-6

氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10≤1.00.5

-6

氢（H2）含量（体积分数）/10≤1.0

-6

氮（N2）含量（体积分数）/10≤1.0

-6

二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10≤1.0

1

T/CASMEXXX—2022

表1技术指标（续）

指标

项目

99.999％99.9995％

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤1.00.5

-6

烃（CH4+C2H2）含量（体积分数）/10≤1.00.5

-6

水分（H2O）含量（体积分数）/10≤0.750.5

总杂质含量（体积分数）/10-6≤-5

铁（Fe）含量（质量分数）/10-9≤203

镍（Ni）含量（质量分数）/10-9≤201

铬（Cr）含量（质量分数）/10-9≤