CN118174681B 一种声波谐振器及其制备方法、通信器件 （上海馨欧集成微电有限公司）

WO2023082186A1,2023.05.19少部分设于压电薄膜上；导电层至少包括底电谐振器的目标模式为纵向电场作用下激发的声器的谐振频率的乘积小于支撑衬底的慢剪切波发以及由其造成的杂散响应和体声波能量泄露2所述底电极沿第一方向的长度不超过所述叉指换能器的孔径区沿所述第一方向的长所述声波谐振器的目标模式为纵向电场作用下激发的叉指换能器的电极指的间距为所述叉指换能器的同一汇流条上相邻电极指的中心之间的所述叉指换能器的汇流条与所述支撑衬底的顶部接触，且所述叉指换述空气隙区为电极指的自由端与对侧汇流条之间所述第一汇流条上设有多个间隔第一预设距离的第所述第二汇流条上设有多个间隔第二预设距离的第多个所述第一电极指和多个所述第二电极指沿第二方所述孔径区为多个所述第一电极指和多个所述第二电极指重叠位于所述孔径区下方的所述底电极沿所述第一方向的长度不超过对应的压电薄膜沿所述底电极的两侧均与邻近的所述叉指换能器的区域存所述压电薄膜的靠近所述孔径区的侧面与邻近的汇流条存在极指的端部与所述压电薄膜的靠近所述孔径区的侧面对齐所述底电极的两侧均与邻近的所述叉指换能器的区域存在第三预设距离的间隙与所3所述第一区域、所述底电极和所述第二区域中相邻区域之间存在第五预设距离的间所述负载件位于所述叉指换能器的电极指的自所述负载件的厚度为0.001至0.5倍的所述叉指换能器的电极指所述压电薄膜的厚度为0.1至2倍的所述叉指换能器的电极指所述底电极的厚度为0.005至0.5倍的所述叉指换能器的电极指所述叉指换能器的厚度为0.005至0.5倍的所述叉指换能器的电极指提供一异质结构；所述异质结构包括由下至上依次设置的支撑衬底、导4将所述支撑衬底与所述导电材料层进行键合后，进行退火剥5行业的普遍追求目标。然而，不论是基于压电异质衬底的声表面波(SurfaceAcousticBAW)谐振器都无法满足5G频段中N77频段的频率或带宽需求。纵向电场激发的声波模式则在声速和机电耦合系数方面均表现出巨大的[0003]现有技术中的声波谐振器一种是通过对衬底进行背部刻蚀以形成悬浮底电极来[0007]所述底电极沿第一方向的长度不超过所述叉指换能器的孔径区沿所述第一方向的电极指的间距与所述声波谐振器的谐振频率的乘积小于所述支撑衬底的慢剪切波声速；所述叉指换能器的电极指的间距为所述叉指换能器的同一汇流条上相邻电极指的中心之6[0017]位于所述孔径区下方的所述底电极沿所述第一方向的长度不超过对应的压电薄[0021]可选的，所述第一电极指和/或所述第二电极指的端部与所述压电薄膜的靠近所[0023]所述底电极的两侧均与邻近的所述叉指换能器的区域存在第三预设距离的间隙[0042]可选的，所述高声速层的厚度大于78[0073]图13是对图12中的仿真导纳曲线进行提取处理后的不同刻蚀角度对应的导纳比9指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。于所述底电极301上；所述底电极301沿第一方向的长度不超过所述叉指换能器4的孔径区模式，所述叉指换能器4的电极指的间距与所述声波谐振器的谐振频率的乘积小于所述支撑衬底1的慢剪切波声速；所述叉指换能器4的电极指的间距为所述叉指换能器4的同一汇[0104]当底电极301与叉指换能器4在孔径区405以外存在重叠部分时，就会形成体声波极301是非常困难的。因此，在不影响主模的前提下，用简单的工艺形成图案化的底电极[0105]为了避免寄生体声波，本实施例提供的声波谐振器的底电极301不超出孔径区指403和多个第二电极指404；所述第一汇流条401上设有多个间隔第一预设距离的第一电所述孔径区405为多个所述第一电极指403和多个所述第二电极指404重叠的区域；所述叉[0115]本申请实施例提供的声波谐振器的导电层3可以仅包括底电极301，底电极301可2和导电层3均会被刻蚀掉)，还可以包括与底电极301沿第一方向间隔设置的其他区域(请所述叉指换能器4的汇流条可以与所述支撑衬底1之间直接接触，所述叉指换能器4的汇流[0118]根据叉指换能器4的汇流条的设置位置来对本申请提供的声波谐振器进行划分，部与邻近的汇流条存在第四预设距离；所述叉指换能器4的孔径区405位于所述压电薄膜2膜2沿所述第一方向的长度；所述底电极301的两侧均与邻近的所述叉指换能器4的区域存选的，可以通过先在压电薄膜2中形成刻蚀通孔201或者刻蚀区202，而后基于该刻蚀通孔近空气隙区406的压电薄膜2的侧面对应的刻蚀角度可以为如图2所示的锐角，还可以是如图9所示的直角。极指403和第二电极指404的端部均超出所述压电薄膜2的靠近所述孔径区405的侧面。当域303与底电极301之间的间隙区。假指电极407与对应的电极指之间的间隔宽度大于或者叉指换能器4的电极指的自由端上，如第一电极指403和第二电极指404的自由端上均设有度为0.001至0.5倍的所述叉指换能器4的电极指的声波谐振器的不存在上述位于叉指换能器4外围的导电区，即导电层3仅包括第一区域电薄膜2设有刻蚀通孔201，该刻蚀通孔201可以包括第一区域302与底电极301之间的间隙方的导电层3被完全腐蚀。即本申请提供的刻蚀通孔201总是位于压电薄膜2中对应相邻导29中A8B8截面对应的示意图，相比于图26，底电极301与邻近的导电区之间的间隔距离更载件6可以有效减小谐振频率和反谐振频率之间的横寄生模式的抑制。因此本方案可以用更简单的工艺步骤实现对悬浮底电极的图案化处理，的一部分导电材料层7，以使形成的底电极301的两侧均与对应的压电薄膜2的侧面存在空[0154]所述高声速层的厚度可以大于或者等于0.5λ；