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CN210322097U,2020.04.142导气缝隙(4)，设置在所述垫圈本体(1)的被所述导气凹槽(2)围绕行支撑；在传感器进行抽真空排气时，相邻两垫圈本体(1)之间的气体通过所述导气凹槽4.根据权利要求3所述的导气垫圈，其特征在于，所述导气凹槽7.根据权利要求1所述的导气垫圈，其特征在于，所述垫圈本体(1)的厚度为0.05~8.根据权利要求7所述的导气垫圈，其特征在于，所述导气凹槽(2)的深度为0.01~9.一种权利要求1_8中任一项所述的导气垫圈的制造方法，其特征在于，包括以下步34气缝隙的两端与所述导气凹槽和/或所述垫圈本体的内外 便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、5[0042]为了实现对传感器两电极之间的距离的精确调节，本实施例的垫圈本体1采用的6仅通过导气凹槽2便可实现垫圈本体1内外的空7

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