CN110645904B 一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测方法及装置 （武汉大学）

一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测方法及装置，装置包括投影云纹模块、X射线模获得待测封装模块样品的第一翘曲信息；通过X射线模块获得待测封装模块样品的第二翘曲信模块的翘曲变形及缺陷进行三维在线监测的问2封装模块样品表面；所述CCD相机用于对所述待测封装模块样品表面的光栅变化进行连续所述监测分析模块用于根据所述第一翘曲信息和所述第二翘曲信息获得监测结果信所述CCD相机为多个CCD相机组成的CCD相机阵列；所述CCD相机阵列所述光栅投影仪为多个光栅投影仪组成的光栅投影仪阵列。所述X光控制电路用于控制所述X射线管发射的X射线所述X射线管为多个X射线管组成的X射线管阵列；所述X射线探测器为多个X射线探测器组所述数据分析装置用于根据所述第一翘曲信息获得翘曲变形信息，用于所述监测显示装置用于对所述监测结果信息进所述待测封装模块样品放置在所述平面安置台上；所述X射线管设置在所述平面安置8.一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测3通过投影云纹模块获得待测封装模块样品的根据所述第一翘曲信息和所述第二翘曲信息获4和半导体有着极为密切的关联。电子器件的封装技术是制约集成电路发展的关键环节之[0004]在半导体工艺过程中，随着在晶圆表面形成各种材料层以及各种半导体器件结5[0007]本申请实施例通过提供一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测方法及装[0015]所述CCD相机用于对所述待测封装模块样品表面的光栅变化进行连续拍摄采集，6[0032]所述待测封装模块样品放置在所述平面安置台上；所述X射线管设置在所述平面[0040]图1为本发明实施例1提供的一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测装置[0041]图2为本发明实施例2提供的一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测装置[0046]所述投影云纹模块用于获得待测封装模块样品的第一翘曲信息；所述X射线模块7测封装模块样品5；所述X射线探测器4用于接收待测封装模块样品5经照射后的X射线强度[0050]翘曲变形及缺陷的判断过程是结合分析的，翘曲变形由若其分析结果显待测封装模块样品的翘曲变形明显偏大，则与负责翘曲缺陷监测的所述X能存在较大翘曲缺陷的大面积封装模块的翘曲变形测量的过程。由于X射线技术具有响应监测大面积封装模块中可能存在较大翘曲缺陷的表征过程。将投影云纹技术与X射线技术[0052]实施例1以晶圆为例，所述X射线管3设置于待测封装模块样品5的检测区域的上个光栅投影仪组成的光栅投影仪阵列。[0054]通过数据线将所述同步触发器和多台CCD相机分别连接起来，再将所述同步触发时保证多个CCD相机能够同时触发拍照，以保证在同一时刻拍出的照片能够在工作站中被[0055]采用CCD相机阵列可以实现对大面积的封装模块进行在线监测，可改善相机视场[0056]所述光栅投影仪2的个数的多少理论上取决于投影仪投出的光栅是否覆盖待测封8建立相机之间以及相机与待测封装模块样品5之间的空间坐标系。将所述待测封装模块样[0062]将所述X射线管3设置于待测封装模块样品5的检测区域的上方，是对于存在复合[0064]实施例2与实施例1的区别在于，实施例2将所述X射线管3设置于待测封装模块样微米(600mm×600mm)。在在线监测翘曲缺陷过程中图像显示装置接收并读取X射线及投影[0066]将所述X射线管3设置于待测封装模块样品5的检测区域的侧面，是大面积的封装面积封装模块如液晶显示屏或手机屏幕总成等的检测[0073](2)先后交替采用或是以某种特定先后重复顺序采用X射线及投影云纹功能的方9[0075]本发明实施例提供的一种封装模块翘曲变形及缺陷的三维在线监测方法及装置[0077](2)能够为产品生