CN110957212B 一种基于二次谐波原位监测的扭曲异质结的制备装置及其方法 （南京迈塔光电科技有限公司）

CN211017004U,2020一种基于二次谐波原位监测的扭曲异质结本发明公开了一种基于二次谐波原位监测的扭曲异质结的制备装置及其方法，实现全光2二次谐波信号激发光路，用于不同偏振方向的入射激光信号二次谐波信号收集光路，用于收集入射激光信号激发的二次二次谐波信号探测器(8)，用于对二次谐波信号收集光路收集的二次谐波信号进行探胶上压覆有通过手撕或CVD法制得的二维材料样品，所述热释放胶没有样品的那一侧贴在在所述目标样品台(1)的上方设置所述聚焦物镜(3)，在所述聚焦物镜(3)上方设置所物镜(7)上方设置所述二次谐波信号探测器(8)，所述信号汇聚物镜(7)的焦平面落在所述二次谐波信号探测器(8)的入口端口上，在所述第一分束器(6)的出口处设置有明场成像在所述目标样品台(1)上设有目标样品夹具(13)，在所述目标样品夹具(13)上设有压所述激发信号聚焦物镜(31)设置在所述目标样品夹具(13)上衬底的正组(5)上方设置所述信号汇聚物镜(7)，在所述信号汇聚物镜(7)上方设置所述二次谐波信35.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于转移样品电动台(21)及安装在所述转移样品电动台(26.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：所述8.一种采用权利要求1所述的制备装置的基于二次谐波原位监测的扭曲异质结的制备(2)通过二次谐波信号激发光路引入不同偏振方向的入射激光信号，聚焦在目标样品(3)目标样品激发出的二次谐波信号经过二次谐波信号收集光路进入二次谐波信号探(4)将二维材料转移样品压覆在热释放胶上，并将热释放胶没有样品的那一侧贴在转(5)通过二次谐波信号激发光路引入不同偏振方向的入射激光信号，聚焦在转移样品(6)转移样品激发出的二次谐波信号经过二次谐波信号收集光路进入二次谐波信号探特征信号强度峰对应转移样品旋转台位置p1,p2.…pm-1,qm;m是指特征峰的编号；9.根据权利要求8所述的基于二次谐波原位监测的扭曲二维异质结的制备方法，其特45[0012]二次谐波信号探测器（8用于对二次谐波信号收集光路收集的二次谐波信号进行探测得到相应偏振方向的入射激光信号的二次谐波信6并将热释放胶没有样品的那一侧贴在在转移[0032]通过设置转移样品和目标样品用于纳米线与二维材料的异质结制备或三维晶体[0037]图4a为本发明中二维材料目标样品MoS2和转移样品WSe27平面落在二次谐波信号探测器8的入口端口上，在第一分束器6的出口处设置有明场成像[0044]在目标样品台1上放置压覆有手撕或CVD二维材料样品的SiO2/Si衬底，明场成像号探测器8探测得到相应偏振方向的信号强度，进而得到二次谐波强度随激发光偏振角的[0045]在PDMS热释放胶上压覆通过手撕或CVD法制得的二维材料样品，再将PDMS没有样品旋转台22将转移样品夹具23上的转移样品载入，并通过转移样品电动台21调整XYZ方向8移样品台2和目标样品台1分别设置在二次谐波信号激发光路两侧，目标样品台1通过目标[0053]（3）样品激发出的二次谐波信号2w=532nmPDMS没有样品的那一侧贴在在转移样品夹具下底面；由于转移样品夹具和PDMS都是透明9[0063]本发明实施例主要介绍了二次谐波原位监测的扭曲二维异质结的制备方法和装