汉钟真空泵介绍资料16.05.04

股票代碼:002158Page2真空產品部

賴慶峰cflai@

2014.10.28漢鐘真空泵產品介紹Page3簡報內容漢鐘公司介紹乾式螺桿/羅茨真空泵產品124Page4漢鐘公司介紹

上海漢鐘精機股份有限公司，坐落于自然環境優美的上海市金山區楓涇古鎮，地處滬杭高速公路、滬杭高鐵與320國道交會處，位居長三角中心位置，地理位置優越。廠區占地面積4萬餘平方米。

漢鐘精機專業從事螺杆式/離心式壓縮機與螺杆式/旋片式真空泵相應技術的研究開發、生產銷售及售後服務，主要產品包括:

公司简介A系列（螺杆式空气压缩机

/離心式空气压缩机）

R系列（螺杆式制冷压缩机

/离心式制冷压缩机）L系列（螺杆冷冻压缩机）P系列（乾式螺杆&罗茨真空泵

/油式螺杆&旋片真空泵）深耕核心技術開創產品延伸螺旋轉子技術乾式真空泵冷凍壓縮機冷媒壓縮機空氣壓縮機Page7漢鐘精機-螺桿轉子專家漢鐘精機發展1994.04漢鐘精機股份有限公司成立，台灣經濟部工業局核定為“重要科技產業”。1994.10R系列螺旋式冷媒壓縮機量產。1997.06通過ISO9001品質系統認證。2000.03A系列螺旋式空氣壓縮機量產。2000.08.上海漢鐘機械成立。2001.10台灣經濟部工業局核定為“新興重要策略性產業”。2001.12.漢鐘螺旋式冷媒壓縮機榮獲“台灣精品獎”。2002.04.RC系列高效率螺旋式冷媒壓縮機量產。2002.06通過ISO90012000年版品質系統認證。2003.01RC系列壓縮機通過歐洲PED壓力容器與美國UL認證。2003.12L系列螺旋式冷凍壓縮機量產2003.12上海廠三期擴建完成2004.06觀音廠新廠擴建完成2006.01PA系列螺旋式乾式真空泵浦量產2007.06PS系列螺旋式乾式真空泵浦量產2007.08上海漢鐘精機深圳A股上市。2008.10RT離心式壓縮機量產2009展開5年20億投資計畫2010台灣台中廠及越南廠建廠完成正式投產/PD系列螺旋式乾式真空泵浦量產2011.03浙江漢聲精密(鑄造廠)2012.08與日立工業合資成立HitachiHanbell2013.01入圍經濟部中堅企業家優秀企業2013.03PDF110(Greenpump)節能泵浦量產2014PX/PZ系列油式旋片泵上市2015PA系列微油螺桿泵上市上海區首家上市外企上海漢鐘40,000㎡Hanbell,Vietnam

27,300㎡HanbellEurope4,800㎡漢鐘台中廠11,000㎡桃園總公司10,000㎡漢鐘集團全部員工數一千餘人浙江漢聲精密66,666㎡全球行銷與服務網絡漢鐘優勢

具競爭力的售價漢鐘螺旋轉子年產值已達70000對，有效攤提加工設備、量測設備、生產設備、設計軟體、研發經費，達到降低成本，進而降低售價，提升競爭力。研發團隊漢鐘研發團隊皆為國人，在溝通上時效性、正確性皆遠優於國外研發團隊，必要時研發人員可至客戶端參與討論，快速且有效的解決客戶問題。高規格客製化

DryPump已為成熟市場，近年來漢鐘不斷取代他廠產品，在水、氣、電、訊號、機構管件部分皆以客戶端原配置為主，以減少客戶困擾為主要目標，因而衍生高規格客製化能力。

製程應用改善漢鐘製程應用團隊針對各製程特性不斷研究，以因應客戶需求，延長Lifetime達到降低客戶Runningcost的目的。Page13真空基本概念真空泵的功效Page14低壓端0.001Atm高壓端1Atm泵浦排氣方向氣體流動方向泵浦真空名詞與術語真空,可以定義為腔室內任一低於大氣壓力的壓力值抽氣速率(體積流率)(單位:

m³/min;m³/h)：當泵裝有標準測試腔體並按規定條件工作時，從測試腔體流過的氣體流量與在測試腔體上指定位置測得的平衡壓力(真空度)之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內在該真空度下從被抽容器中抽走的氣體體積。極限壓力(極限真空)：泵裝有標準測試腔體並按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。即真空泵的入口端經過充分抽氣後所能達到的最低的穩定的壓力(泵的最高真空度)。起動壓力：泵無損壞起動並有抽氣作用的壓力最大工作壓力：對應最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞真空泵浦分類Page16真空泵之應用壓力範圍Page17螺桿泵真空技術之應用範圍真空壓力單位換算Page19真空泵的選用1.選用的真空泵必須能抽出工藝過程中釋放出來的氣體。2.選用的主泵的極限真空度必須高於被抽容器要求的真空度3.選用主泵的抽速必須大於工藝過程中的最大放氣量。4.選用的真空泵其工作介質和製造泵的材料必須滿足工藝要求。5.對於連續生產的工藝，所選用的真空泵必須可靠的滿足連續性生產的需要。Page21乾式螺桿真空泵產品羅茨真空泵產品乾式真空泵系統Page22Root’sPumpDryPump羅茨真空泵(助力泵)Page23Page24乾式螺杆真空泵結構Page25

水路及氮氣管路配置Page26水、氣、電、訊號、機構Page27漢鐘乾式真空泵屬於中、高真空應用：單泵：抽速：80~800m3/hr工作壓力範圍：101325～10Pa

極限壓力：1Pa雙泵：抽速：

300~4500m3/hr

工作壓力範圍：101325～1.3*×10-1Pa極限壓力：0.1Pa漢鐘乾式真空泵規格涵蓋範圍漢鐘乾式真空泵典型應用產業Page28Page29漢鐘乾式螺桿真空泵機型系列PDC/PSC化工製藥專用系列PS定螺距乾泵系列PD變螺距節能乾泵系列Page30机型Model单位UnitPS80PS160PS180抽气速度PumpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min1300/16002150/26002500/3000m³/hr80/96130/156150/180cfm48/5777/9288/105终极压力UITimatePressureTorr≤7.5*10-3mbar≤1*10-2Pa≤1马达Motor频率FrequencyHZ50/60电压VoltageV220～440功率PowerHp466KW2.984.474.47连接Connection进气口Inlet

NW50排气口Outler

NW40冷却水CoolingWater流量FlowL/min3～7压力Pressurekg/cm²2～4温度Temperatureºc18～30接头Connection

RC3/8"氮气N2压力PressureMpa0.15～0.2稀释流量DiluteFlowL/min0～60密封流量SealingFlowL/min0～20接头Connection

Swagelok1/4"尺寸DIM.L*W*Hmm814*380*663895*405*678920*425*650重量Weightkg280300320噪音NoiseDb(A）﹤68﹤70﹤70控制介面Interface

SEMIE73-0299真空泵最大漏率

PumpLeakRateMbar.l/s1*10-5室温操作范围OperationTemp.ºc5°C-40°C最大操作湿度OperationMoistureRH90%以上PS系列技術規格表(單機)Page31机型Model单位UnitPS602PS902PS1302PS1802抽气速度PumpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min8300/100012500/1500017500/2100025000/33300m³/hr500/600750/9001050/12601500/1800cfm294/353441/530618/742883/1060终极压力UITimatePressureTorr≤7.5×10

-4mbar≤1×10-3Pa≤0.1马达Motor频率FrequencyHZ50/60电压VoltageV220～440功率PowerHp4+46+46+66+6KW2.98+2.984.47+2.984.47+4.474.47+4.47连接Connection进气口Inlet

ISO100(bolted)ISO160(bolted)排气口Outler

NW40冷却水CoolingWater流量FlowL/min3L/min～7L/min压力Pressurekg/cm²2.0～4.0温度Temperature℃15～30接头Connection

RC3/8"氮气N2压力PressureMpa0.15～0.2稀释流量DiluteFlowL/min0-60密封流量SealingFlowL/min0-20接头Connection

Swagelok1/4"尺寸DIM.L*W*Hmm814×380×865895×380×915920×430×957920×430×1030重量Weightkg450520540545噪音NoiseDb(A）＜70＜70＜70＜70控制介面Interface

SEMIE73-0299室温操作范围OperationTemp.℃5℃～40℃最大操作湿度OperationMoistureRH90%以上PS系列技術規格表(雙機)机型Model单位UnitPD120PD300PD400PD650PD800抽气速度PumpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min1667/20004167/50005556/66679030/1084011011/13233m³/hr100/120250/300333/400540/650800/660cfm59/71147/176196/236371/382393/471终极压力UITimatePressureTorr≦7.5×10-3mbar≦1×10-2Pa≦1马达Motor频率FrequencyHZ50/60电压VoltageV220/380/440功率PowerHp4/4.88/1015/2025/3025/30KW2.98/3.586.7/7.511/1518.5/2218.5/22底压耗功Power

KW1.6/2.03.6/4.25.5/710/1311/14连接Connection进气口Inlet

NW50ISO63ISO63ISO100ISO100排气口Outler

NW40NW40NW50ISO63ISO63冷却水CoolingWater接头Connection

RC3/8"压力Pressurekg/cm²2.0～4.0温度Temperature℃3slm18℃～slm28°C6slm18℃～15slm28℃流量FlowL/min氮气N2压力Pressurekg/cm²0.15～0.2稀释流量DiluteFlowL/min依制程ByProcess密封流量SealingFlowL/min10接头Connection

Swagelok1/4”

Swagelok3/8”

尺寸DIM.L*W*Hmm814×380×6631075×430×6501582×700×7571831×610×7351831×610×735重量Weightkg28039075010501050噪音NoiseDb(A）68＜70＜75＜80＜80室温操作范围OperationTemp.℃5～40℃最大操作湿度OperationMoistureRH90%以上PD系列技術規格表Page33PSC/PDC系列技術規格表Page34PR系列技術規格表(羅茨泵)Page35業界同級抽氣效率耗能最低。可配合客戶操作執行待機模式，更顯節能表現(0.08kw)。已獲得半導體大廠乾淨製程採用。HanbellGreen系列真空泵PumpingSpeed:110m3/hr機型ModelUnitPDF110抽氣速度PumpingSpeedm3/hr110終極壓力UltimatePressureTorr1X10-2底壓耗能UltimatePressurePowerkW0.35待機耗能GreenmodePower0.08連接Connection進氣口Inlet

ISO63排氣口Outlet

KF50冷卻水CoolingWater接頭ConnectionRC3/8"流量Flowslm1氮氣

N2接頭Connection

Swagelok¼”流量Flowslm0~6Byprocess尺寸Dim.長×寬×高L×W×Hmm398X358X551漢鐘乾式真空泵特點Page36●排氣路徑短，減少反應物沉積幹式螺旋真空泵相較於其他形式的真空泵，因氣體於泵浦內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現象。此外，由於螺旋轉子在抽氣過程中本身已具傳輸粉塵之機構，即使有反應物沉積也能很順利的排出泵浦。●線形密封性佳，泵浦性能最優專利轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由於嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。●結構簡單，故障率低，維修容易螺旋式真空泵因只需利用一對轉子互相嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。●微電腦操作，遠端監控，保護周全(選配)微電腦操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式並能顯示泵浦完整的運轉狀態，方便使用者對泵浦應用狀況進行調整，在泵浦產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場即能查詢泵浦之運轉狀況。腔體冷卻特色及選用說明間接水冷配件依製程需求不同可提供殼體直接/間接水冷方案。直接水冷適合達40℃高溫環境使用。間接水冷可控制腔體良好均溫性，可維持製程物在氣態。2026/4/28冷却水套(间接冷却)壳体冷却液冷却器厂务冷却水☆副水箱:提供压力平衡避免污染厂务水壳体均温馬達特色及選用說明水冷馬達低噪音，適合週遭粉塵多的環境使用，不會因馬達風扇卡粉塵導致散熱不良。氣冷馬達標配為台灣電機大廠大同馬達，也可依客戶需求搭配指定品牌。無冷卻循環水客戶可選用氣冷馬達+自循環冷卻機型。水冷馬達氣冷馬達氣冷馬達自循環冷卻軸封特色及選用說明可選機械軸封唇式密封進氣口可選活塞環密封唇式密封可選活塞環密封唇式密封馬達SKF軸承選用和德國真空泵大廠相同廠牌規格轉子特色及選用說明第一代PS系列圓棒材加工舊設計排氣反覆壓縮高溫、耗功第三代PD系列變導程設計低溫、低耗功

第二代PS系列平衡孔少降低回漏率提高真空度溫度、耗功降低實績(年出貨1200台以上)熱處理製藥化工太陽能航空航天LEDTFT-LCD半導體Page43PS机种-YZV机型分类PumpTypeDefinitionSeries机种-

外罩控制器氮气加热器镀层变频器Model-Type

Contro