CN111515390B 一种用于筒形靶材的烧结工装及其烧结方法 （河北宏靶科技有限公司）_第1页
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号一种用于筒形靶材的烧结工装及其烧结方法本发明公开了一种用于筒形靶材的烧结工机构内；再通过使包套的底部在支撑圆筒内悬2烧结机构(2)，包括支撑圆筒(201)和与所述支撑圆筒(201)同轴连通的锥形筒(202)，所述包套(1)放置在所述烧结机构(2)内后，所述锥形筒(202)与所述锥形腔(101)接触连其中，所述支撑圆筒(201)长度大于所述筒形腔(102)的长其中，所述包套(1)上的锥形腔(101)和筒形腔(102)由内包套(103)和外包套(104)围2.根据权利要求1所述的一种用于筒形靶材的烧结工装，其特征在于，所述锥形筒4.根据权利要求1所述的一种用于筒形靶材的烧结工装，其特征在于，所述支撑圆筒5.根据权利要求1所述的一种用于筒形靶材的烧结工装，其特征在于，所述内包套6.根据权利要求1所述的一种用于筒形靶材的烧结工装，其特征在于，所述锥形腔将待烧结的粉末装入如权利要求1至6任一项所述的一种用于筒形靶材的烧结工装中3[0002]目前使用的大部分溅射靶材构造为圆形或矩形平面靶，4描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特5[0037]为了解决现有技术中不能避免制备出的筒形靶材沿长度方向发生变形的技术问构2包括支撑圆筒201和与支撑圆筒201同轴连通的锥形筒202，包套1放置在烧结机构2内102的外直径，使在温度与压力作用下处于缓慢收缩的包套1沿着烧结机构2的内壁运动的锥形筒202优选为尺寸由内向外逐渐增大的锥形筒202，并使锥形筒202的锥角小于锥形腔的包套1能够始终与烧结机构2上的锥形筒202连接，避免形变后的包套1在烧结机构2内掉[0041]作为一优选实施方式，锥形筒202与支撑圆筒201的连接处的直径与支撑圆筒201[0043]作为一优选实施方式，支撑圆筒201和锥形筒202均由氧化铝或氧化锆耐火砖制[0044]作为一优选实施方式，包套1上的锥形腔101和筒形腔102由内包套103和外包套6[0049]S200、将包套1置于脱气炉中进行脱气处理，脱气温度为300_500℃,脱气时间为[0056](1)制作包套1：内包套103采用壁厚为4mm的不锈钢无缝管加工，外包套104采用[0058](3)脱气：将装粉后包套1置于脱气炉中进行脱气处理，脱气温度为300

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