CN112747902B 光学测定方法和处理装置 （大塚电子株式会社）

JP2001324386A,2001第一波长范围的光谱辐射照度的值的第一标准分波长范围与第一波长范围重复的第二波长范围的光谱辐射照度的值的第二标准灯的第二检少基于第一校准系数和校正值来决定第三校准2使已被赋予针对第一波长范围的光谱辐射照度的值的第一标准灯点使已被赋予针对至少一部分波长范围与所述第一波长范围重复的第二波长范围的光述分光光度计配置在与所述第二标准灯相距所述第一距基于所述第一检测结果和已赋予给所述第一标准灯的光谱辐射照度基于所述第二检测结果和已赋予给所述第二标准灯的光谱辐射照度的基于所述第一校准系数和所述第二校准系数，来计算关于使第三标准灯点亮，并且获取从配置在与所述第三标准灯相距基于所述第三检测结果和所述第三校准系数，来对所述第三标准灯在所述第一波长范围与所述第二波长范围重复的波长范围中决定要决定所述校正值搜索所述第一校准系数的值与所述第二校准系数的值之间的对所述校正对象区间内包含的各波长的所述第一校准系数的值和所述第二校准系数获取基于所述第三标准灯而从分光光度计输出的第基于所述第三检测结果与所述第四检测结果的比率以及已赋予给所述第三标准灯的所述第三检测结果是使来自所述第三标准灯的光入射到积分器后在所述积分器的内所述第四检测结果是使来自所述样品的光入射到所述积分器后在所述积分器的内壁3第一校准系数计算单元，其基于与已被赋予针对第一波述第一标准灯相距赋予了光谱辐射照度的值的第一距离的位置处的分光光度计获取到的第二校准系数计算单元，其基于与已被赋予针对至少一部分果是使所述第二标准灯点亮并且使用配置在与所述第二标准灯相距所述第一距离的位置校正值计算单元，其基于所述第一校准系数和所述第二校准系数，来波长范围与所述第二波长范围重复的波长范围的波长有关的校准第三校准系数决定单元，其至少基于所述第一校准系数和所测光量决定单元，其基于与第三标准灯有关的第三检测配置在与所述第三标准灯相距规定距离的位置处的所述分光光度计获4[0001]本发明涉及一种能够使能够测定的波长范围扩大的光学测定方法和适用于该光[0002]产生包含紫外区域和红外区域这样的可见区域以外的波长的光的光源被利用于月、産総研計量標準報告(产综研计量标准报告)Vol.7,No.1、<URL:https://unit.aist.go.jp/nmij/public/report/bulletin/Vol7/1/V7N1P41.pdf>所公开的那样，特定副标准器赋予针对250[nm]以上2500[nm]以下的校准范围的每个波长的光谱辐射照[nm]至830[nm]的可见区域为前提，赋予与指定电压或指定分布温度对应的光度测定值或审议会计量标准部会，<URL:https://www.meti.go.jp/shingikai/keiryogyoseishin/keiryo_hyojun/pdf/h29_01_s01_00.pdf>所公开的那样，在250[nm]以上2500[nm]以下的5有(1)适用于200[nm]以上400[nm]以下的校准范围的光谱辐射照度标准灯(氘灯)以及(2)适用于250[nm]以上2500[nm]以下的校准范围的光谱辐射照度标准灯(卤素灯)这两种。这些标准灯的已被赋予值的物理量是光谱辐射照度(作为单位，例如是[W/m2/nm]或[μW/cm2/围是360[nm]至830[nm]的可见区域，因此计算出的光通量和光度也是以可见区域为对象，无法关于紫外区域(波长360[nm]以下)和红外区域(波长830[nm]以上)的辐装置の開発－(实现LED的总光通量测定的高效化‑基于新方式的总光通量LED校准装置的人东京都立产业技术研究中心)TIRINews2009年5月号、<URL:https://www.iri‑[0014]本发明的一个目的在于提供一种即使在未提供已被赋予光谱辐射照度以外的物赋予针对至少一部分波长范围与第一波长范围重复的第二波长范围的光谱辐射照度的值距离的位置处的分光光度计输出的第三检测结果；以及基于第三检测结果和第三校准系6[0018]也可以是，针对校正对象区间内包含的各波长决定对校正对象区间内包含的各波长的第一校准系数的值和第二校准系数的值赋予与各波长[0020]第三检测结果也可以是使来自第三标准灯的光入射到积分器后在积分器的内壁算单元基于与已被赋予针对第一波长范围的光谱辐射照度的值的第一标准灯有关的第一结果是使第一标准灯点亮并且使用配置在与第一标准灯相距赋予了光谱辐射照度的值的第二校准系数计算单元基于与已被赋予针对至少一部分波长范围与第一波长范围重复的[0027]图3是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的测定系统的光接收头的结构例7[0029]图5是用于说明本实施方式的光学测定方法中的针对二次标准灯进行的光谱辐射[0030]图6是用于说明本实施方式的光学测定方法中的样品的光谱辐射通量的测定的[0032]图8是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯所产生的[0034]图10是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯中产生[0035]图11是用于说明在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯中[0036]图12是示出使用在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯计[0037]图13是用于说明本实施方式的光学测定方法中的决定接合处波长范围的处理的[0038]图14是示出本实施方式的光学测定方法中的决定接合处波长范围的处理的一例[0039]图15是用于说明本实施方式的光学测定方法中的将校准系数进行接合的处理的[0040]图16是用于说明本实施方式的光学测定方法中的将校准系数进行接合的处理例[0042]图18是示出在本实施方式的光学测定方法中进行合成所得到的校准系数C(λ)的[0043]图19是示出用于实现本实施方式的光学测定方法的处理装置的硬件结构例的示8标准灯通过球形光通量计法等方法进行比较测定来评价样品的总辐射通量的实施方式提供一种能够在确保国家标准可追溯性并能够使用该光谱辐射通量标准灯来[0056]接着，安装适用于200[nm]以上400[nm]以下的校准范围的光谱辐射照度标准灯[0057]另外，安装适用于250[nm]以上2500[nm]以下的校准范围的光谱辐射照度标准灯[0059]此外，步骤S12～S14的处理和步骤S15～S17的处理的实施顺序可以是任意的顺9[0062]最后，使用第三测定系统对样品实施光谱辐射通量以及/或者总辐射通量的测定S32～S34的处理和步骤S35～S37的处理的实[0071]图3是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的测定系统的光接收头的结构例间的距离被调整为预先关于紫外用标准灯2的校准所决定出的标准距离R1(通常为500输出的第一检测结果，该分光光度计50配置在与紫外用标准灯2相距赋予了光谱辐射照度光学工作台12上的基座构件18来配置可见用标准灯4。调整支承构件14和基座构件18的位头60之间的距离被调整为预先关于可见用标准灯4的校准所决定的标准距离R1(通常为500少一部分波长范围与第一波长范围重复的第二波长范围)的光谱辐射照度的值的可见用标配置在与可见用标准灯4相距赋予了光谱辐射照度的值的标准距离R1(第一距离)的位置[0077]基于在点亮紫外用标准灯2时产生的从分光光度计50输出的检测结果，来计算针标准灯4(第二标准灯)的光谱辐射照度的值来计算校准系数CVIS(λ)(第二校准系数)的处(A)中示出分光光度计50的检测结果的一例。图4的(B)中示出在图4的(A[0080]计算图4的(A)所示的测定出的分光光度计50的检测结果与图4的(B)所示的针对(λ)是使用适用于200nm以上400nm以下的校准范围的光谱辐射照度标准用标准灯2)计算出的校准系数，校准系数CVIS(λ)是使用适用于2准范围的光谱辐射照度标准灯(卤素灯)(可见用标[0082]通过将这两个校准系数进行合成，来决定本实施方式的测定系统的校准系数C[0084]接着，说明针对二次标准灯进行的光谱辐射通量和总辐射通量的值的赋予(步骤[0085]图5是用于说明本实施方式的光学测定方法中的针对二次标准灯进行的光谱辐射[0086]第二测定系统20是将图2所示的第一测定系统10的一部分构造进行变更所得到的系统，配置二次标准灯6来代替标准灯(紫外用标准灯2或可见用标准灯4)。由于光接收头[0087]二次标准灯6能够通过配置在光学工作台12上的测角台22而相对于光接收头60配的状态下使二次标准灯6沿两个旋转轴分别独立地旋转的机50输出的检测结果(第三检测结果)，该分光光度计50配置在与二次标准灯6相距规定距离[0091]在二次标准灯6与光接收头60处于任意的相对关系(旋转轴AX1的角度θ、旋转轴AX2的角度)的状态下，将分光光度计50的检测结果(暗校正后Esn(y:9,p)=s(:9,p)/c(N)…(1)二次标准灯6的光谱辐射强度I(y:9,p)[W/sr/nm]如以下的(2)式所示。[0097]如上所述，一边使用第二测定系统20的测角台22依次改变二次标准灯6相对于光准系数C(λ)的倒数以及测定距离R2的平方值所得到的值，由此能够计算出二次标准灯6的[0098]此外，能够根据光接收头60的视野范围来适当设定二次标准灯6相对于光接收头[0100]通过以上的处理，针对二次标准灯6进行的光谱辐射通量ΦST(λ)和总辐射通量[0104]图6是用于说明本实施方式的光学测定方法中的样品的光谱辐射通量的测定的32、光接收头60以及经由光纤68而与光接收头60以光学方式连接的分光光度计50。在图6辐射通量的值的二次标准灯6之间的比较测定，来测定样品8的光谱辐射通量以及/或者总[0108]在积分器32的内壁涂布有硫酸钡(BaSO4)、Spectralon(注册商标)(P收校正系数α,该自吸收校正系数α用于校正存在于积分器32内部的构件对光的吸收产生的时产生的分光光度计50的检测结果设为SST、将在点亮样品8时产生的分光光度计50的检测[0117]或者，如果考虑每个波长(每个通道)的检测结果，则样品8的光谱辐射通量ΦS辐射照度的处理。所获取的辐射照度是使来自二次标准灯6(第三标准灯)的光入射到积分获取的辐射照度是使来自样品8的光入射到积分器32后在积分器32的内的检测结果SSMP的比率、以及已赋予给二次标准灯6的光谱辐射通量ΦST(λ)或总辐射通量的检测结果SST的处理与获取点亮样品8时产生的分光光度计50的检测结果SSMP的处理之间[0125]接着，详细说明校准系数的决定处理(步骤S1)中的决定校准系数C(λ)的处理(步[0127]图8是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯所产生的紫外用标准灯2产生的辐射与可见用标准灯4产生的辐射之[0131]图10是示出在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯产生的见用标准灯4的下限波长附近，由在分光光度计50的内部可能产生的杂散光引起的误差的[0133]图11是用于说明在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯产[0136]图12是示出使用在本实施方式的光学测定方法中使用的光谱辐射照度标准灯计350[nm]短的波长侧校准系数急剧地变化。这样的校准系数的急剧变化被认为是由在分光说不能将可见用标准灯4的下限波长250[nm]之前的范[0145]接合处波长范围相当于在紫外用标准灯2的波长范围与可见用标准灯4的波长范处理是指决定应决定校准系数的校正值的校正对象区间[0147]图13是用于说明本实施方式的光学测定方法中的决定接合处波长范围的处理的的校准系数CUV(λ)与使用可见用标准灯4计算出的校准系数CVIS(λ)一致或近似的接合处波[0160]在上述的(6)式中，假设以所关注的波长λi为中心的连续的(2N+1)个点的范围长[0162]这样，决定接合处波长范围的处理包括搜索校准系数CUV(λ)的值与校准系数CVIS[0163]图14是示出本实施方式的光学测定方法中的决定接合处波长范围的处理的一例N)在相邻长度N＝1的情况下取最小值，准系数进行接合的运算处理相当于针对接合处波长范围(应决定校准系数的校正值的校正对象区间)所包含的各波长决定校准系数的校正[0168]图15是用于说明本实施方式的光学测定方法中的将校准系数进行接合的处理的UV[0170]图16是用于说明本实施方式的光学测定方法中的将校准系数进行接合的处理例的校准范围(第二波长范围)重复的波长范围内的波长的校准系数的校正值。更为具体地取到的第二检测结果和已赋予给可见用标准灯4的光谱辐射照度的值，来计算针对可见用N)最小的波长[0190]本实施方式的光学测定方法的一部分也可以由与分光光度计50连接的处理装置[0191]图19是示出用于实现本实施方式的光学测定方法的处理装置100的硬件结构例的[0192]典型地说，处理器102是CPU(CentralProcessingUnit：中央处理单元)、GPU一个或多个程序读出到主存储器104中来执行。主存储器104是DRAM(DynamicRandom[0195]操作系统112提供处理器102执行程序的环境。通过处理器102来执行测定程序从分光光度计50输出的检测结果(基准值[0197]介质驱动器124从存储有由处理器102执行的程序等的记录介质126(例如光盘等)[0198]测定程序114也可以在规定的定时以规定的序列调用作为操作系统112的一部分[0199]此外，通过由处理装置100的处理器102执行测定程序114而提供的功能的全部或[0205]根据本实施方式，