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高纯硫化氢可用于集成电路制造过程中中船特气和昊华科技为我国代表企业

硫化氢，化学式为H2S，是一种是硫的氢化物。高纯硫化氢，指纯度达到99.9%及以上的硫化氢气体，具备杂质含量极低、反应活性高、腐蚀性强等特点，在集成电路制造过程中应用较多。

近年来，我国企业及相关科研机构不断加大对于高纯硫化氢的研究，带动其相关专利数量有所增加，主要包括《一种高纯硫化氢的制备工艺及制备装置》、《以液氨热泵精馏模式生产高纯硫化氢的装置及生产方法》、《高纯硫化氢的制备工艺》、《一种高纯硫化氢的提纯装置》、《一种以液氨热泵精馏模式生产高纯硫化氢的装置》等。未来随着研究深入，高纯硫化氢技术水平有望提升。

高纯硫化氢通常以硫磺和纯氢为原材料制成。硫磺是一种重要化工原料，外观呈淡黄色‌不规则块状、粉末状、颗粒状或脆性结晶‌，含类似臭鸡蛋味，用途广泛。‌天然气脱硫法、矿石冶炼法、石油炼制脱硫法等为硫磺主要制备方法。2025年我国硫磺产量突破1000万吨，同比增长超过10%。原材料供应充足将为我国高纯硫化氢行业发展奠定良好基础。

根据新思界产业研究中心发布的《2026年中国高纯硫化氢市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，作为一种电子特气，高纯硫化氢在集成电路制造过程中应用较多。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年我国集成电路产量达到4843亿块，同比增长10.9%。高纯硫化氢可用于集成电路原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中，未来随着应用需求增长，其行业发展空间将得到进一步扩展。

目前，我国高纯硫化氢行业集中度较高，头部优势企业占据市场主要份额。中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司‌、昊华化工科技集团股份有限公司等为我国高纯硫化氢代表企业。中船特气计划推进电子特气产能建设，项目建成后其高纯硫化氢年产能将达到3383吨。昊华科技子公司中昊光明已具备4N级高纯硫化氢规模化生产实力。

新思界行业分析人士表示，高纯硫化氢作为电子特气，应用前景较好。未来随着我国集成电路产量持续增长，高纯硫化氢市场需求将日益旺盛。目前，我国高纯硫化氢行业集中度较高，

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