JJF皖2592026半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范

半导体器件PCTCalibrationSpecificationforIntegratedPCTAgingTestSystemsforSemiconductorDevices 安徽省市场监督管理局PCT老化CalibrationSpecificationforIntegratedPCTAgingTestSystemsforSemiconductorDevices归口单位：安徽省热工计量技术委员会马克华(池州市计量测试所)左罗(池州市计量测试所)殷锦汉(宣城市标准计量所)蒋立新(安庆市计量测试所)引 1范 引用文 术 概 计量特 校准条 环境条 负载条 测量标准及其他设 校准项目和校准方 校准项 校准方 校准结果的表 复校时间间 附录A校准原始记录格式（推荐性 附录B校准证书内页格式（推荐性 附录C测量结果不确定度评定示 JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-0.5）MPa、延时时间（0～100）hPCTJJF1012- GB/T5170.1— 1GB/T5170.2— 2GB/T5170.5—2016 5其最新版本（包括所有的修改单）JJF1012-2007工作空间working稳定状态steady温度偏 temperature相对湿度偏差relativehumidity温度波动度temperature温度变化速率temperaturevariation延时整定误差delaysetting半导体器件PCT1。图 半导体器件PCT老化综合试验系统结构示意11±1085%；注:0.5s。0.1%RH，最大允许误差不超过±2%RH。用于实验室环境大气压力测量的大气压力测量设备，其最大允许误差应不超过±2注：1.“+”2.“*”GB/T2423.5085℃、GB/T2423.3425℃、65℃、GB/T2423.40110℃、130℃、85%RH、0.12MPa、c）A、B、C、D、E、F、G、H、J、O、K、L、M、N、UDh、Hh、Oh、LhE、O（Oh）、U500mm，50mm。F、G、H、J1/10Dh、Oh、Lh3N、U15Dh、Hh、Oh、Lh4

图 温湿度测量点布放位置示意∆𝑎=𝑎− ∆𝑖=𝑖− ∆𝑎——温度上偏差，单位为摄氏度∆𝑖——温度下偏差，单位为摄氏度𝑎16次测量中的实测最高温度值，单位为摄氏度𝑖16次测量中的实测最低温度值，单位为摄氏度 ——设定的温度值，单位为摄氏度（℃）

∆= (𝑖𝑎− ——温度均匀度，单位为摄氏度𝑖𝑎——各测量点在第𝑖次测量中的实测最高温度值，单位为摄氏度𝑖𝑖——各测量点在第𝑖次测量中的实测最低温度值，单位为摄氏度 =±𝑎[−] ………………（4）

=

∆𝑎=𝑎− ∆𝑖=𝑖− ∆𝑎∆𝑖𝑎16𝑖16

∆= (𝑖𝑎−𝑖𝑖 𝑖𝑎——各测量点在第𝑖𝑖𝑖——各测量点在第𝑖 ∆=±𝑎[𝑎−𝑖/2]

∆=𝑖− 𝑖——压力指示值，单位为千帕 ——工作空间内实测压力值，单位为千帕

∆=− a)进行校准的地点（如果与实验室的地址不同p）附录半导体器件PCT（推荐性校准依据：环境温度 ，相对湿度 校准员 核验员： 校准日期 附录半导体器件PCT（推荐性附录半导体器件PCT0.1kPa0.01s。16组数据。15min内测量的最低温度与设定温度的差值，即为温度下偏差。15min

∆𝑎=𝑎− 𝑎——温度上偏差𝑎——各测量点在规定时间内测量的最高温度值

∆𝑎=𝑎− ∆𝑎𝑎16 85℃10(C.3)((x n

0.03 相对湿度测量重复性引入的标准不确定度分量'(y(yi n

0.088

则'=0.011/22=0.01≈2标准器湿度分辨力引入的标准不确定度0.1%1/2，服从均匀分布，则'=0.1%≈22标准器温度修正值引入的标准不确定度分量U=0.07℃，k=2，则标准器温度修正值引入的标准不确==0.07/2=标准器相对湿度修正值引入的标准不确定度分量'

=1.4%/2=标准器温度稳定性引入的标准不确定度分量=0.20=标准器相对湿度稳定性引入的标准不确定度分量

'=0.5%=C.1C.2C.22+2+2+2+

=

’2+’2’2+’2+’2+ 取包含因子=2，温度上偏差扩展不确定度为：=c=0.16(℃)≈取包含因子2，相对湿度上偏差扩展不确定度为：='=

∆=𝑖− 𝑖——压力指示值，单位为千帕 ——工作空间内实测压力值，单位为千帕实测压力测量重复性引入的标准不确定度分量10次，根据贝塞尔公式标准偏差s‘用式(C.4)(x(xi n

s(̅)=(p1)=压力记录器的误差不超过±0.5kPa区间半宽α=0.25kPa，假设服从均匀分布，由压力)

)=0.25kPa≈0.132+

≈取包含因子2=×c()=2×0.20kPa=∆=−电子秒表测量误差引入的标准不确定度电子秒表测量时间间隔为15min时的最大允许误差为±0.10s。视其为均匀分布，包含因子= =0.10≈人工操作电子秒表时引入的标准不确定度经大量试验证明，人工操作电子秒表时最大偏差为±0.10s，

=0.10≈测量重复性引入的标准