JJF(鄂) 182-2026 电学法热阻测试仪校准规范

JJF(鄂)182—2026CalibrationSpecifica2026-06-02发布2026-09-10实施湖北省市场监督管理局发布JJF(鄂)182—2026电学法热阻测试仪校准规范JJF(鄂)182—2026杨燕(中国船舶集团有限公司第七○九研究所)丁超(中国船舶集团有限公司第七○九研究所)张明虎(中国船舶集团有限公司第七○九研究所)薄涛(中国船舶集团有限公司第七○九研究所)刘倩(中国船舶集团有限公司第七○九研究所)张少华(中国电子科技集团公司第五十五研究所)JJF(鄂)182—2026I 12引用文件 13术语 1 15计量特性 35.1测试电流输出 35.2温度敏感参数TSP测量 35.3加热电流输出 35.4加热电压测量 3 36校准条件 36.1环境条件 36.2校准用设备 47校准项目和校准方法 47.1校准项目 47.2校准方法 58校准结果表达 99复校时间间隔 10附录A测量不确定度评定示例 附录B校准原始记录参考格式 13附录C校准证书内页格式 JJF(鄂)182—2026Ⅱ义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度JJF(鄂)182—202611范围GB/T14862-1993《半导体集凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；其最新版本(包括所有的修改单)适用本规范。4.1用途电学法热阻测试仪是专用于半导体器件热阻测试的仪器，主要组成部分包括测试仪主机(含测试电流输出单元、温度敏感系数测量单元、加热电流输出单元、加热电压测量单元等)、精密电源、温度测控附件(含K系数校准油浴锅、静止空气箱、恒温冷台)。电学法热阻测试仪组成框图如图1所示。温度测控附件测试仪主机电学法热阻测试仪采用半导体结的正向压降作为温度敏感参数TSP来间接测量器件T₂——K系数校准过程中的温度2,℃T₁——K系数校准过程中的温度1,℃U₂——温度T₂下测得的TSP,V;JJF(鄂)182—20263U₁——温度T₁下测得的TSP,V。将式(2)和式(3)代入式(1),可得测得的热阻计算式为：5计量特性5.1测试电流输出输出范围：1mA~50mA最大允许误差：±0.2%5.2温度敏感参数TSP测量测量范围：10mV~5V最大允许误差：±0.2%5.3加热电流输出输出范围：0.1A~20A最大允许误差：±0.2%5.4加热电压测量测量范围：5V~50V最大允许误差：±0.2%5.5温度测量范围：18℃~350℃JJF(鄂)182—20264(1)环境温度：(23±5)℃;(2)相对湿度：30%～75%;(4)无影响仪器正常工作的电磁干扰及机械振动。校准用设备应经过法定计量技术机构检定或校准，满足校准使用要求，并在有效期最大允许误差：±0.05%直流电流测量范围：1mA~20A最大允许误差：±0.05%阻值：0.001Ω,0.01Q,0.1Ω,1Ω,10Ω,100Ω,1kΩ最大允许误差：±0.05%测量范围：18℃~350℃最大允许误差：±0.1℃7校准项目和校准方法7.1校准项目校准项目见表1。校准项目1外观及工作正常性检查2测试电流输出34加热电流输出56温度5被校热阻测试仪应外观完好，无影响正常工作的机械损伤；仪器名称、型号、出厂编号、生产单位或商标、生产日期、供电电源电压及频率、端钮标注等信息应齐全；通电后开关、按键、调节旋钮、显示屏、测量仪表和各种状态指示灯(标志)应工作正常。将检查结果记录于表B.1中。a)按图2连接仪器并预热。b)设置热阻测试仪输出测试电流Is,开启测试，读取数字多用表的直流电流测量值Isr,按公式(5)计算相对误差δs,并将校准结果填入表B.2中。Is——被校热阻测试仪测试电流输出示值，A;Isr——数字多用表的测量结果参考值，A。c)重复步骤b),完成其他校准点的校准。a)按图3连接仪器并预热。6b)根据校准点，选取合适的标准电阻R。c)设置热阻测试仪输出测试电流Is,开启测试，读取数字多用表的直流电压测量值Us,按公式(6)计算测试电流输出的标准值Isr,按公式(5)计算相对误差δs,并将校准结果填入表B.2中。R——标准电阻电阻标准值，Ω;Isr——被校热阻测试仪测试电流输出标准值，A。d)重复步骤b)~c),完成其他校准点的校准。7.2.3温度敏感参数TSP测量a)按图4连接仪器并预热。b)根据校准点，选取合适的标准电阻，设置被校仪器合适的电流值。按公式(7)计算相对误差，并将校准结果填入表B.3中。d)重复步骤b)~c),完成其他校准点的校准。a)按图5连接仪器并预热。点),开启测试，读取数字多用表的直流电流测量值Ihr,按公式(8)计算相对误Ihr——a)按图6连接仪器并预热。d)设置热阻测试仪输出加热电流Ih,通常按每个校准点，开启测试，读取数字多用表的直流电压测量值Uhcr,按公式(9)计算测试电流输出的标准值Ihr,按公式(8)计算相对误差δhc,并将校准结果填入表B.4JJF(鄂)182—20268e)重复步骤b)~d),完成其他校准点的校准。a)按图7连接仪器并预热。热阻测试仪加热电压测量图7加热电压测量校准连接框图b)根据校准点，选取合适的标准电阻，设置被校仪器合适的电流值。c)开启测试，读取数字多用表的电压测量值Uhr,读取被校热阻测试仪加热电压测量值Uh,按公式(10)计算相对误差，并将校准结果填入表B.5中。d)重复步骤b)~c),完成其他校准点的校准。a)按图8用铜导线连接仪器。JJF(鄂)182—20269热阻测试仪图8温度测量校准连接框图b)将温度校准仪设置为热电偶模拟输出功能，并根据被校热阻测试仪的要求确定热电偶型号，设置温度校准仪模拟输出校准温度值Tr,读取热阻测试仪温度测量值T,按公式(11)计算误差△T,并将校准结果填入表B.6中。c)重复步骤b),完成其他校准点的校准。c)进行校准的地点(如果与实验室的地址不同);d)证书或报告的唯一性标识(如编号),每页及总页数的标识；1)如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对校准过程中被校对象的设置和操作JJF(鄂)182—20269复校时间间隔建议复校时间间隔为1年。送校单位也可根据实际使用情况自主决定复校时间间JJF(鄂)182—2026本附录以加热电流输出测量不确定度评定为例，说明电学法热阻测试仪校准项目的测量不确定度评定的程序。由于校准方法和所用仪器设备相同或近似，其他项目校A.1加热电流测量不确定度评定以加热电流10A为例，采用标准表直接测量法，由热阻测试仪输出加热电流10A,A.1.3不确定度来源a)数字多用表直流电流测量不准引入的标准不确定度分量u₁;A.1.4不确定度评定±(380×10-⁶×读数+20×10-⁶×量程),所以10A的允许误差极限为±0.0042A,即a=0.0042A,为均匀分布，则k=√3,故其标准不确定度分量u₁=a/k=0.0024A,b)由数字多用表的电流测量分辨力所引入的标准不确定度分量JJF(鄂)182—2026选一台较稳定的热阻测试仪作为被测对象，在相同的温湿度条件下，用数字多用测量序号123456789则相对标准不确定度为0.002%,即u₃r=0.002%。A.1.5合成标准不确定度不确定度分量不确定度来源分布相对标准不确定数字多用表直流电流测量不准均匀数字多用表的电流测量分辨力均匀/以上各标准不确定度分量互不相关，则相对合成标准不确定度为：A.1.6扩展不确定度JJF(鄂)182—2026检查项目检查结果不正常情况说明外观检查正常口不正常口工作正常性检查正常口不正常□二、测试电流输出测量不确定度三、温度敏感参数(TSP)测量表B.3TSP测量测量不确定度测量不确定度JJF(鄂)182—2026测量不确定度表B.6温度测量值T/℃标准值T₁/℃测量不确定度校准机构授权说明温度℃地点相对湿度%校准日期校准所依据的技术文件(代号、