CN114036778B 一种光学特性建模的方法和装置 （上海精测半导体技术有限公司）

该方法包括将周期空间内所有微结构在z方向上所述多边形顶点的x坐标和y坐标，构成x坐标集合和y坐标集合，分别将x坐标集合和y坐标集合2获取同一层的所述薄片在周期空间xy平面上投影的各分别将所述x坐标集合和所述y坐标集合中的坐标，由大到小或由小到大的顺序排列；根据得到的x方向的所述目标积分子区间和y方向的所述目标利用所述周期介质的介电系数的傅里叶系数和所述周期介质的介电系数的托普利兹若所述候选积分子区间是均匀的，则将该候选积分子区间作为述候选积分子区间是非均匀的，则将该候选积分子区间划分为两个以上的目标积分子区若所述候选积分子区间的长度不小于预设步长，且所述候选从所述候选积分子区间中选择至少一个坐标，以所述坐标作垂直于所x方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶述第二参考边界线x=gd+1与所述多边形相交形成的第二边界3点和所述第二边界交点的y值均从小到大排列或从大到小排列，所述第一边界交点记为dddd+1d+1d+1与(gd+1d+1从所有线段的斜率的绝对值中选择最大值，当所述最大值大于或等于第5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在y方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶从所有线段的斜率的绝对值的倒数中选择最大值，当所述最大值大于或等于第二阈获取模块，与所述划分单元连接，用于获取同一层的所述薄片在周期处理单元，与所述获取模块连接，用于分别将所述x坐标集合和所述y计算单元，与所述处理单元连接，根据得到的x方向的建模单元，与所述计算单元连接，用于利用所述周期介质的介电系数4若所述候选积分子区间是均匀的，则将该候选积分子区间作为述候选积分子区间是非均匀的，则将该候选积分子区间划分为两个以上的目标积分子区7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述确定所述候选积分子区间的均匀性若所述候选积分子区间的长度不小于预设步长，且所述候选从所述候选积分子区间中选择至少一个坐标，以所述坐标作垂直于所x方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶述第二参考边界线x=gd+1与所述多边形相交形成的第二边界点和所述第二边界交点的y值均从小到大排列或从大到小排列，所述第一边界交点记为dddd+1d+1d+1 dd+1从所有线段的斜率的绝对值中选择最大值，当所述最大值大于或等于第y方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶第四参考边界线y=ηq+1与所述多边形相5从所有线段的斜率的绝对值的倒数中选择最大值，当所述最大值大于或等于第二阈6期空间xy平面上投影的各个封闭区域，并将所述各个封闭区域的边界表示为各个多边形；7述坐标作垂直于所述候选积分子区间的直线；获取所述直线与所述多边形的交点的个数；的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶点的x坐标gd[0011]获取所述第一参考边界线x=gd与所述多边形相交形成的第一边界交点的个数h，界交点和所述第二边界交点的y值均从小到大排列或从大到小排列，所述第一边界交点记dddd+1d+1d+1[0014]从所有线段的斜率的绝对值中选择最大值，当所述最大述第一参考边界线x=gd与所述多边形相交形成的第一边界交点的个数h，以及所述第二参考边界线x=gd+1与所述多边形相交形成的第二边界交点个数k，判断交点的个数是否相等，的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶点的y坐标ηq8[0017]获取所述第三参考边界线y=ηq与所述多边形相交形成的第三边界交点个数u，以点和所述第四边界交点的y值均从小到大或从大到小排列，所述第三边界交点记为(σ1，选积分子区间的划分同样采用该方法，在y方向上有效可靠的得出需要划分的侯选积分子地得到了精确的周期性介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹9断所述候选积分子区间是否存在所述微结构：从所述候选积分子区间中选择至少一个坐[0028]x方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两所述第一参考边界线x=gd与所述多边形相交形成的第一边界交点的个数h，以及所述第二ddd+1dd+1d+1dd+1[0029]从所有线段的斜率的绝对值中选择最大值，当所述最大[0031]y方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两[0032]获取所述第三参考边界线y=ηq与所述多边形相交形成的第三边界交点个数u，以点和所述第四边界交点的y值均从小到大或从大到小排列，所述第三边界交点记为(σ1，选积分子区间的划分同样采用该方法，在y方向上有效可靠的得出需要划分的侯选积分子[0040]图4为本发明公开的在z方向上任一薄片在xy平面投影得到的周期空间内具有多[0043]图7为本发明公开的判断x方向上的候选积分子区间内微结构的分布是否均匀的[0045]图9为在x方向上根据多边形的所有顶点的x坐标值得到x方向候选积分子区间的用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常足光散射特性在z方向的介质均匀分布即可，从而使整个微结构的光散射效果可以看成是若干个在z方向叠加在一起的分布均匀的薄片的光散射述各个封闭区域的边界表示为各个多边形；再获取每个所述多边形顶点的x坐标和y坐标，x/2<g0<g1<…<gb<px/2以及将y坐标从小到大00g1/2(ηc1c(ηc[0061]S305：基于得到的x方向的所述目标积分子区间和y方向计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介[0068]其中，i是虚数单位，Px是x方向的周期长度，py是y方向的周期长度，该方法得到的目标积分子区间的数量减少，又能够反应周期介质内微结构几何信息的变[0084]另外，一些实施例还提供了判断候选积分子区间内微结构的分布是否均匀的方[0085]S701:以x=gd表示的第一直线和x=gd+1表示的第二直线分别作为所述候选积分子dddd+1d+1与(gd+1dd+1表示的第四直线分别作为所述候选积分子区间的第三参考边界线和第四参考边界线，q为[0101]从所有线段的斜率的绝对值的倒数中选择最大值，当最大值大于或等于设定阈xLIeLr,。、"z分别[0110]为了对上述方法所建立的模型进行验证，下文[0114]本实施例通过优化积分区间和网格高效地得到了精确的周期介质介电系数的傅方向上的所述候选积分子区间存在微结构时，分别以所述候选积分子区间的两个顶点的x参考边界线x=gd与所述多边形相交形成的第一边界交点的个数h，以及所述第二参考边界线x=gd+1与所述多边形相交形成的第二边d1gd+1d+1dd+1d+1dd+1点和所述第四边界交点的y值均从小到大或从大到小排列，所述第三边界交点记为(σ1，