CN114092976B 指纹识别单元及其制备方法、指纹识别模组和显示装置 （京东方科技集团股份有限公司）

电极且与沿所述第一方向排列的多个接收电极开实施例还提供了一种指纹识别单元的制备方2接收电极层，包括多个接收电极，多个所述接收电极沿第一方所述驱动电极的材料包括适用于电镀工艺的金属材料，所述驱动所述指纹识别电路包括与所述接收电极一一对应的多个指纹识别电路，所述指11.根据权利要求1所述的指纹识别单元，其中，所述驱动电极的宽度包括：65um~在衬底基板上形成接收电极层，所述接收电极3在所述压电材料层远离所述接收电极层的一侧通过金属通过电镀工艺在所述压电材料层远离所述衬底基板的一侧整面电镀铜薄膜以作为种在所述种子层上形成挡墙层，所述挡墙层上位于待形成驱动电极的区域为镂空结构，通过电镀工艺在所述镂空结构内电镀铜薄膜，位于所述镂空结构内的对各所述生长层图形和种子层同时进行减薄刻蚀，种子层上未被所4接收电极层位于所述指纹识别电路层远离所述衬底5[0027]在所述压电材料层远离所述接收电极层的一侧通过金属电镀工艺形成具有一定动电极的厚度配置为使得压电材料层的振动节[0029]通过电镀工艺在所述压电材料层远离所述衬底基板的一侧整面电镀铜薄膜以作6其中，受到溅射工艺的限制，使得具有Mo-Al-Mo结构的驱动电极层的厚度较薄(整体厚度[0046]为解决相关技术存在的至少之一的技术问题，本公开实施例提供了相应解决方3的材料包括适用于电镀工艺的金属材料，驱动电极3的厚度配置为使得压电材料层2的振动节面(压电材料层2发出超声波时振幅为0的面)位于压电材料[0049]本公开实施例提供的指纹识别单元进行超声波指纹识别的过程如下：在发射阶7[0052]基于上述内容可见，本公开的技术方案中的驱动电极3不仅能够实现指纹识别驱[0053]在一些实施例中，压电材料层2的材料包括：聚偏氟乙烯(Polyvinylidene包括与接收电极1一一对应的多个指纹识别电路，指纹识别电路与对应的接收电极1电连极1上所产生的交流电信号并提供给外部处理器进的指纹识别电路可采用常规任意指纹识别电路，对于指纹识别电路具体电路结构不作限8时可采样丝网印刷技术在驱动电极3的表面形成有机树脂材料，为保证有机树脂材料对驱[0064]下面将结合具体实例来对本公开实施例中驱动电极3的材料和厚度选择进行详细[0066]以压电材料层2的材料为PVDF且厚度为9um左右，衬底基板远离压电材料层2的一侧表面与钝化层6靠近压电材料层2的一侧表面之间的最大距离为90um左右，的情况为例，要的厚度进行模拟，驱动电极3的厚度可使得压电材料层2的振动节面位于压电材料层2之指纹识别单元。每个指纹识别单元9中的驱动电极通过对应的引线(未示出)与外部的连接9[0074]图5为本公开实施例提供的一种指纹识别单元的制备方法[0077]在一些实施例中，指纹识别电路层中的薄膜晶体管为互补金属氧化物半导体[0082]图6为本公开实施例提供的另一种指纹识别单元的制备方法的流程图，图7a～7j[0098]步骤S2061、通过电镀工艺在压电材料层远离衬底基板的一侧整面电镀金属薄膜[0099]参见图7f所示，在一些实施例中种子层3a的材料为铜，种子层3a的厚度包括：构所处区域尽量大于待形成驱动电极3的区域，相邻镂空结构11之间的挡墙层的宽度小于预先设计的驱动电极3之间的宽度，以减小最终产线所生成出产品的尺寸与设计尺寸之间