CN114600045B 感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）

2022.04.20PCT/JP2020/0360152020.09.24WO2021/079679JA2021.04.29下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平2(A)包含选自由下述式(A1)表示的重复单元、由下述式(A2)表示的重复单元和由下述(B)成分的含量相对于100质量份的(A)成分为30～200质量份，(C)成分的含量相对于及X2各自独立地为氢原子或缩水甘油基，1及a1+a2+a3＝1的数，3(a)使用根据权利要求1所述的感光性树脂组合物以在基板上形成感光性树脂被膜的4[0012](A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元和5及X2各自独立地为氢原子或缩水甘油基。及R4各自独立地为氢原子或碳数1～10的烃基。1及a1+a2+a3＝1的数。6[0042]本发明的感光性树脂组合物包含：(A)在分子中包含具有交联基或发生交联反应的反应点的硅亚苯基骨架及芴骨架的聚合物、(B)在1分子中包含平均4个以上的环氧基的[0044](A)成分的聚合物为包含选自由下述式(A1)表示的重复单元、由下述式(A2)表示171,2-R4各自独立地为氢原子或碳数1～10的烃基。上述烃11及a1+a2+a3＝1的发明中Mw为采用将四氢呋喃(THF)用作洗脱溶剂的凝胶渗透色谱(GPC)得到的聚苯乙烯换[0066]上述聚合物能够通过在金属催化剂存在下使由下述式(1)表示的化合物、由下述式(2)表示的化合物、和选自由下述式(3)表示的化合物及由下述式(4)表示的化合物中的8R4xH22PtCl6222PtCl4222HPtCl42O(铂酸与烯烃的络合物(例如美国专利第3,159,601号说明书、美国专利第3,159,662号说明书及美国专利第3,775,452号说明书中记载的那些)；使铂和钯等铂族金属负载于氧化铝、聚合温度优选例如40～150℃、特别是609[0076](B)成分为在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物。作为这样的化合~100质量份。[0089](C)成分的光致产酸剂只要是通过高能射线照射而产生酸的化合物，则并无特别双(4-甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、双(2,4-二甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、双(2-萘基磺酰5-庚烯-2,3-二甲酰亚胺等的酰亚胺的与氮原子结合的氢原子被三氟甲磺酰氧基、九氟丁基替代的化合物也能够同样地用作光致产酸[0099]作为O-芳基磺酰基肟化合物或O-烷基磺酰基肟化合物(磺[0101]作为经由噻吩、环己二烯的共轭系的长的磺酸肟酯型光致产酸剂，可列举出(5-(对-甲苯磺酰基)氧亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)苯基乙腈、(5-(10-樟脑磺酰基)氧亚氨基-亚氨基-5H-噻吩-2-亚基)(2-甲基苯基)乙腈、[0102]作为用三氟甲基这样的吸电子基团使化合物的稳定性增加的磺酸肟酯型产酸剂，(4-甲基苯基磺酰氧基)苯磺酰氧基)苯基磺酰氧基亚氨基)乙基)苯氧基)丙氧基)苯基)乙[0104]另外，作为双肟磺酸酯型光致产酸剂，可列举出双(α-(对-甲苯磺酰氧基)亚氨选0.3～10质量份。如果含量为上述范围，能够获得在实用上没有问题的感光度和图12的4251为(h+1)价的碳数2～10的烃山梨糖醇酐脂肪酸酯的非离子系表面活性剂、EFTOP(注册商标)EF301、EF303、EF352[0136]本发明的感光性树脂组合物进而可包含用于减少来自基板的漫反射的染料等吸成分同时或以任意的顺序溶解于作为(E)成分的有机溶剂中，能够制备均匀的感光性树脂[0139]使用本发明的感光性树脂组合物的图案形成方法包含：(a)使用上述感光性树脂2[0143]曝光可经由光掩模进行。上述光掩模可以是例如将所期望的图案挖穿的光掩[0149]将上述感光性树脂组合物在清洁度1000以下的清洁室中，使用在管理为温度5~[0150]而且，将涂布了上述感光性树脂组合物的支持膜在在线干燥器(热风循环烘箱)中、在40～130℃用1～40分钟、优选在5能够使用市售品，作为PET膜，可列举出上述的PET膜，作为PE膜，例如可列举出GF-8(Tamapoly股份有限公司制造)、PE膜0型(Nippa股份有限公司制造)、Toretec7332、[0155]就上述支持膜及保护膜的厚度而言，从制造的稳定性及防止对于卷芯的卷绕缺有机溶剂对上述曝光的感光性树脂被膜进行2[0171]在具备搅拌器、温度计、氮置换装置及回流冷凝器的3L烧瓶中加入化合物(M-1)[0173]在具备搅拌器、温度计、氮置换装置及回流冷凝器的3L烧瓶中加入化合物(M-4)[0175]在具备搅拌器、温度计、氮置换装