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文档简介

表面粗糙度是一种微观几何形状误差，其常用的测量方法主要有粗糙度样板比较法、光切法、了解光切显微镜和干涉显微镜检测原理，熟悉用该仪器检测表面粗糙度的方法，加深对表面粗过视觉、触感或其它方式进行比较后，对被检表面法原理测量工件表面的微观不平度Rz值的。其测量Rz=0.8~80μm的表面粗糙度（有时也可用来测量零产生反射，经物镜分别成象在分划板的a和a，点。板上的影象高度为H，则：1.工作台2.立柱3.横臂4.上下调节环5.固紧螺钉6.微调手轮7.手柄8.照明灯9.10.13.摄1式中，N——物镜的放大倍数；H——45°方向上的影象高度。因为在目镜视场中，影象高度是沿45°方向测量的，即目镜测微器中十字线交点移动的轨迹与要测的亮带高度成45°。若在目镜测微器上的读数值为H,，则H,与H=H,cos45°（2）令E，E为仪器的分度值，大小与带辅助物镜的物镜放大倍数有关，已由仪器说明书给物镜放大倍数N测量范围Rz(μm)系数E(μm/格)（2）按照Rz值查表3-2确定取样长度l与评定长度ln。Rz取样长度l(mm)评定长度ln(mm)（4）将被测件放在工作台上,若被测件不2目镜的固紧螺钉，转动测微目镜，使其中的十字线的水平线与光带轮廓中紧螺钉，然后转动测微目镜测微器上的刻度套筒，使十字线的水平线在光点平均高度Rz值：点平均高度Rz值：a9a9a7aa1aa1l5峰a3a5a7a9Σa实测Rz值(μm）谷a2a4a6a81峰谷2峰谷3峰谷3程度的粗糙度其l值可从表3-2中选取；对均匀性比较好的表面，可选用干涉显微镜是干涉仪和显微镜的组合，用光波干涉原理来反映出被测工件的粗糙度。由于表面粗糙度是微观不平度，所以用显微镜进行高倍放大后以便观察和测量。干1～0.03um表面粗糙度的Rz值和Ry值。6JA型干涉显微镜的外形图如图3-6所示。该仪器的式中：λ为测量中的光波波长。本实验就利用测量干涉条纹弯曲量a和干涉条纹间距b来确定Rz值4e在精密测量中，通常采用光波波长稳色条纹，其中零次干涉条纹可清晰的显示出条纹的弯曲情况，便于观察和测量。如在目镜中看不到a转动测微目镜中与干涉条纹平微器上的读数为N1。然后再对准相邻的另一条干涉条纹峰顶中心，读数为N2b对准一条干涉条纹峰顶中心读数N1后，5个干涉条纹弯曲量的平均值a平均为：被测表面的微观不平度十点高度Rz为：采用白光时，λ=0.55um；采用单色光时，则按仪器所附滤色片检定书载明按评定长度要求，各取样长度的值Rz还需平均后才能作为评定表面粗糙度的可靠上述测量中，在各个取样长度范围内的最大峰值和最小谷值读数之差，为各个取样长度的轮廓最大高度R'yi值，选取其中最大的R'ymax值，按下式计算轮廓最大高度Ry值。用肉眼观察视场，直接估计出弯曲量a为干涉条纹间

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