CN114817318B 规范管理系统的数据监控方法、装置、计算机设备及介质 （长鑫存储技术有限公司）

本申请涉及一种规范管理系统的数据监控标数据及所述目标数据对应的历史数据显示于2根据所述数据库，按照预设规则将查询的目标数据及所述目所述根据所述数据库，按照预设规则将查询的目标数据及所述目根据所述指令从所述数据库中读取相应的解析数据，所读取的解析按照所述预设规则将所述目标数据及所述历史数据显示于同将所述目标数据显示于所述界面的第一区域，且将所述历史根据所述目标行或所述目标字段，在产生更改的行对应的一级识别若所述日志文件中包括多种类别的数据，将相同类别的数据进根据所述模板对包括相同类别的数据的各数据集合进所述样式包括预设文件标识和预设文档字段；所述根据所述模板读取所述目标文件中与所述预设文档字段对应的3若产生截断事件，根据日志文件的生成时间对相邻下一将所述第二解析数据存储为第二解析文件，以保存所述第一解析文所述根据所述目标行或所述目标字段，在产生更改的行对应的一级识别列或二若产生更改的为目标行，且所述目标数据中具有所述目标第一区域中一级识别列和二级识别列添加新增标识，在所述历史数据中添加所述目标行，且在所述目标行的所述第二区域中一级识别列和二级识别列添若产生更改的为目标行，且所述历史数据中具有所述目标第二区域中一级识别列和二级识别列添加新增标识，在所述目标数据中添加所述目标行，且在所述目标行的所述第一区域中一级识别列和二级识别列添若产生更改的为目标字段，则在所述目标字段对应行的所述第一所述规范管理系统为对半导体制程中的参数设定数解析数据获取模块，用于解析所述日志文件得到解析数据，并保存监控显示模块，用于根据所述数据库，按照预设规则将查询的所述根据所述数据库，按照预设规则将查询的目标数据及所述目根据所述指令从所述数据库中读取相应的解析数据，所读取的解析4按照所述预设规则将所述目标数据及所述历史数据显示于同将所述目标数据显示于所述界面的第一区域，且将所述历史根据所述目标行或所述目标字段，在产生更改的行对应的一级识别查询指令获取模块，用于获取查询目标数据的指令，所述指所述处理器执行所述程序时实现权利要求1-10任意一项所述方所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-10任意一项所述方5[0002]随着技术的快速发展及自动化水平的不断提高，制造执行系统(Manufacturing[0003]为了更好地监控MES或MM自动化运作的效率及可靠性，需要实时主动地收集并监间区间的产品制程的参数设定数据进行对比分析，以及时发现生产过程中的异常或故障；据库，按照预设规则将查询的目标数据及所述目标数据对应的历史数据显示于同一界面，6[0026]若产生截断事件，根据日志文件的生成时间对相邻下一个日志文件进行实时解的第二区域，所述第一区域及所述第二区域中显示的数据均包括一级识别列或二级识别7计算机程序被处理器执行时实现本申请中任一实施例8[0053]图1为本申请第一实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的应用场景[0054]图2为本申请第二实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0055]图3为本申请第三实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0056]图4为本申请第四实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0057]图5为本申请第五实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0058]图6为本申请第六实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0059]图7为本申请第七实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0060]图8为本申请第八实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0061]图9为本申请第九实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示意[0062]图10为本申请第十实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程示[0063]图11为本申请第十一实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控方法的流程[0064]图12为本申请第十二实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控装置的结构[0065]图13为本申请第十三实施例中提供的一种规范管理系统的数据监控装置的结构9[0071]请参考图1，在半导体制造生产过程中，相关工作人员通过规范管理系统100的制造执行系统200(ManufacturingExecutionSystem，MES)或物料管理系统300[0072]请参考图2，在本申请的一个实施例中，提供了一种规范管理系统的数据监控方解析数据至数据库中，以根据解析数据来获取目标数据及所述目标数据对应的历史数据，置目标字段为XXXX，来查询文件夹名称包括AAA的文件夹中、文件名包括CCC的文件中的界面中生成数据开始时刻输入框(Start)、数据终止时刻输入框(End)、数据类别输入框级识别列；[0120]应该理解的是，虽然图2-图11的流程图中的各个步骤按询目标数据的指令，方便用户通过向查询指令获取模块输入包含查询目标数据的起止时[0124]关于规范管理系统的数据监控装置的具体限定可以参见上文中对于规范管理系执行所述程序时实现本申请中任一实施例中所述包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM