CN114981915B 用于形成等离子体处理设备的射频(rf)线圈的模具和方法 （东京毅力科创株式会社）

2022.07.25PCT/US2020/05728420WO2021/150281EN2021.07.29用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线本文披露了用于生产射频(RF)线圈的模具有在圆柱形内芯的外表面内形成的第一螺旋形围圆柱形内芯并且向布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的导体提供压缩力以生产RF2圆柱形内芯，该圆柱形内芯具有形成在该圆柱形内芯的外表面内的第一螺旋形凹槽；两件式压缩套筒，该两件式压缩套筒具有形成在该两件式包围该圆柱形内芯并且向布置在该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的导体提供压二部分通过一个或多个机械紧固件而可移除地附接至4.如权利要求1所述的模具，其中，该圆柱形内芯包括5/5.如权利要求1所述的模具，其中，该第形内芯和该两件式压缩套筒，该热塑性聚合物材料具有100℃以上的玻璃化转变温度和在该圆柱形内芯的外表面内形成第一螺旋形凹槽并且在该两件式压缩套筒的内表面内形将导体的一部分缠绕在该圆柱形内芯周围，使得该导体的一将该两件式压缩套筒施加到该圆柱形内芯，使得该两件式压缩套筒包并且向该导体的布置在该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的一部分提供压缩力以通过使该RF线圈或该圆柱形内芯中的至少一者相对于彼此旋转来从该模具上移除该将该两件式压缩套筒的第一部分施加到该圆柱形内将该两件式压缩套筒的第二部分施加到该圆柱形内芯的第二侧，通过一个或多个机械紧固件而将该第一部分附接到该第二部分，以向该导该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的3通过使该RF线圈或该圆柱形内芯中的至少一者相对于彼此旋转来从该模具上移除该使用该3D打印过程使用热塑性聚合物材料来单独地生产该圆柱生产该圆柱形内芯使之具有5/8英寸到8英寸之间的高度和1英寸到24英寸之间的直生产该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽使之具有1到100之间的匝数和5/8英寸到通过三维(3D)打印过程来生产模具，该模具包括圆柱形内芯和两件在该圆柱形内芯的外表面内形成第一螺旋形凹槽并且在该两件式压缩套筒的内表面内形将导体的一部分缠绕在该圆柱形内芯周围，使得该导体的一将该两件式压缩套筒施加到该圆柱形内芯，使得该两件式压缩套筒包并且向该导体的布置在该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的一部分提供压缩力以通过使该RF线圈或该圆柱形内芯中的至少一者相对于彼此旋转来从该模具上移除该将该两件式压缩套筒的第一部分施加到该圆柱形内将该两件式压缩套筒的第二部分施加到该圆柱形内芯的第二侧，通过一个或多个机械紧固件而将该第一部分附接到该第二部分，以向该导该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的从该圆柱形内芯和该RF线圈上移除该两件式压缩套筒的第一部分和第二部18.如权利要求15所述的方法，其中，所述生产该模具包括使用具有100化转变温度和200MPa以上的压缩强度的4第二螺旋形凹槽使之具有1到100之间的匝数和5/8英寸到25[0002]本申请要求于2020年1月24日提交的美国非临时专利申请号16/752,446的提交日供了形成RF线圈的模具和方法的多个不同的[0004]等离子体处理设备广泛地用于生产半导体装置和其他电6露内容提供用于生产在等离子体处理设备内使用的RF线圈的模具和方法的多个不同的实柱形内芯并且向布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的导体提供压缩力以生产RF在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的一部分提供压缩力以形成RF7成圆柱形内芯使之具有1/8英寸到12英寸之间的高度、1/8英寸到24英寸之间的直径、1到加两件式压缩套筒还可以包括通过一个或多个机械紧固件而将第一部分附接到第二部分，以向导体的布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的一件式压缩套筒包围圆柱形内芯并且向导体的布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内加两件式压缩套筒可以进一步包括通过一个或多个机械紧固件而将第一部分附接到第二形内芯和RF线圈上移除两件式压缩套筒的第一部分和第二8[0027]图3展示了根据本披露内容的用于形成RF线圈的方法的另一个实施例的流程图；露内容提供用于生产在等离子体处理设备内使用的RF线圈的模具和方法的多个不同的实[0031]图1展示了模具10的一个实施例，可以使用该模具来生产在等离子体处理设备内的部分附接在一起的器件(例如附接引导件24和第二部分20b附接在一起时，两件式压缩套筒包围圆柱形内芯12并且向布置在第一螺旋形凹槽16和第二螺旋形凹槽22内的导体30提供压缩力以生产可以借助于一个或多个机械紧固件28而附接至第一部分并从其上移除。在一些实施例中，通过将一个或多个机械紧固件28(例如螺栓和垫圈)插入到在两件式压缩套筒内形成的附接引导件24和孔26内，第一部分20a可以附接至第二部分20b(反之亦然)，如图7中所示出孔26移除一个或多个机械紧固件28，使得可以从第二部分20b移除第一部分20a(反之亦[0033]注意到的是，尽管本文中展示并描述了用于将两件式压缩套筒的第一部分20a和9就可以使用RF线圈设计的特征来设计并生产[0035]例如，等离子体处理设备中使用的RF线圈典型地形成为具有1/8英寸到12英寸之以调整RF线圈内使用的匝数和/或匝之间的节距。改变线圈的尺寸和形状将改变线圈的电1/4英寸到8英寸之间的高度(H2)和1/4英寸到24英寸之间的直径(D2)。如图1中所示出的，管未在图1中示出，第一螺旋形凹槽16的深度和第二螺旋形凹槽22的深度可以各自大致等[0038]当将两件式压缩套筒20施加到圆柱形内芯12并且经由机械紧固件(多个)28将第加的凹槽27a和附加的凹槽27b，这些附加的凹槽分别形成在邻接表面29a和邻接表面29b下型部分有助于形成部分的负形形状并且有助印是增材制造工艺，其使用计算机辅助设计(CAD)软件来引导硬件以精确的几何形状逐层于100℃的玻璃化转变温度(Tg)和高于200MPa的压缩强度的热塑性聚合物材料可以是优选模具来形成RF线圈时，PLA模具很可能由于在线圈形成过程期间产生的热量或形成线圈所[0046]图2至图10展示了使用图1中示出并且上文中描述的模具10来形成RF线圈的示例性方法。特别地，图2和图3是展示了根据本披露内容的可以用于形成RF线圈的方法100和200的示例实施例的流程图。图4至图10展示了可以如何使用图1中所示出的模具10来执行和200用于形成在等离子体处理设备内使用的RF线圈，但应当注意，可以使用相似的模具和/或相似的方法来形成用于其他用途和应用[0049]在一些实施例中，所述使用3D打印过程来生产模具(在步骤110)包括使用3D打印[0050]在一些实施例中，所述使用3D打印过程来生产模具(在步骤110)包括生产圆柱形内芯12使之具有1/4英寸到8英寸之间的高度以及1英寸到24英寸之间的直径，并且生产第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽16/22使之具有1到100之间的匝数和5/8英寸到2英寸之间套筒包围圆柱形内芯并且向导体的布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的一部分实施例中，所述施加两件式压缩套筒(在第二部分20b(如图8和图9中所示出的)，并且通过使RF线圈或圆柱形内芯12中的至少一者缩套筒的内表面内形成第二螺旋形凹槽。在一些实套筒完全包围圆柱形内芯并且向导体的布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的一以包括将两件式压缩套筒的第一部分20a施加到圆柱形内芯的第一侧(如图5中所示出的)，一些实施例中，所述施加两件式压缩套筒(在步两件式压缩套筒的第一部分20a和第二部分