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202080002983.62020.03.09本发明提出一种微LED外延结构,该外延结括n个周期的量子阱结构,每一个周期的量子阱LED,可实现峰值光电转换效率对应电流密度低22.根据权利要求1所述的一种微LED外延结构,7.根据权利要求1所述的一种微LED外延结构,3第三发光区阱层的In组分的含量介于第一发光势垒层、第二势垒层、第三势垒层为全部或部分n型掺杂,n型掺杂的浓度为1E17/cm2~20.一种微发光二极管,其特征在于,其包括前述21.根据权利要求20所述的一种微发光二极4效率在低电流密度区间内、光电转换效率稳定的LED外延片。专利CN107833953A提出的一[0004]为了解决现有技术中存在的问题,本发明旨在提供一种微LED外延结构及其制备5678高生产效率的同时,通过调整不同生长温度区间的势垒层长速,改善MQW区材料的晶体质埃,第一势垒层7A生长结束后,升温10~50℃生长第二势垒层7B,第二势垒层材料为掺Si9速率小于等于第三发光区和第一发光区阱层的生长速率,目的是为了通过靠近P型侧的发2下降至0.7A/cm2。
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