CN115307574B 基于权值分配的共焦测量系统及测量方法 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所）

本发明提供一种基于权值分配的共焦测量决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能2激光光束入射至所述第一分束镜，经所述第一分束镜透射至所所述角度信息同时获取待测物的面型信息和经所述四面体棱镜各个侧面反射的角度测量光束分别所述传动组件与所述第一聚焦透镜固定连接，所述传动组件控所述位置测量光束入射至所述第三分束镜进行分光，一部分光束3.一种采用权利要求1或2中任意一项所述的基于权值分配的共焦测量系统的测量方所述激光光束依次经所述第一分束镜、所述第一聚焦透镜透射至3结合所述角度测量方法和所述位置测量方法同时获取所述待测物的面型信息和表面S2-01a、角度测量光束入射至所述多面体棱镜，所述数据使用最小二乘的方法拟合获取倾斜角度与光强度的权值分布的利用二元二次多项式最小二乘拟合的方法，获取所述平面反射镜的二维倾斜角度(θ1,405S2-02b、当焦前光电探测器的光强度和焦后光电探S2-03b、通过干涉测距仪测量差动共焦信号曲6等参数的高精度检测，要求测量设备所使用的测量探针不仅要具有纳米级的高空间分辨[0003]但是现有技术中，发表在OpticsLetters中的Aperture-codedconfocal[0004]激光差动共焦显微测量若通过分别单独获取离散点的二7[0015]经所述四面体棱镜各个侧面反射的角度测量光束依次入射至所述第二聚焦透镜、[0027]结合所述角度测量方法和所述位置测量方法同时获取所述待测物的面型信息和8述第一光电探测器、所述第二光电探测器、所述第三光电探测器的光强度数据I1_i、I2_i、9[0046]将上述求解的结果代入公式(1)，获取倾斜角度与光强度的权值分布的拟合函数[0052]1、通过本发明提供的基于权值分配的共焦测量系统及测量方法能够同时获取待[0053]2、通过本发明提供的基于权值分配的共焦测量系统及测量方法提出了通过角度[0054]3、通过本发明提供的基于权值分配的共焦测量系统及测量方法能够实现大角度[0057]图2是根据本发明实施例的基于权值分配的共焦测量系统的角度测量单元的结构[0058]图3是根据本发明实施例的基于权值分配的共焦测量系统的角度测量单元的原理[0066]下面结合图1-图6对本发明实施例基于权值分配的共焦测量系统及其测量方法的沿激光光束1方向往复移动来控制待测表面的成像位置，干涉测距仪用于测量第一聚焦透3与传动组件固定连接，传动组件可以带动第一聚焦透镜3在入射光方向上进行垂直移动，第一聚焦透镜3所位移可由干涉测距仪进行纳米级别精确测量。本发明实施例中的传动组射的角度测量光束依次入射至第二聚焦透镜15-1、第三聚焦透镜15-2和第四聚焦透镜15-实施例中的四面体棱镜14各个侧面与底面之间的夹角均为45°,即∠DFO=∠DGO=∠DHO=角∠LIM记为θ2。[0083]利用二元二次多项式最[0093]将上述求解的结果代入公式(1)，获取倾斜角度与光强度的权值分布的拟合函数上的测量位置从第一聚焦透镜3的焦前位置移动到焦后，焦前光电探测器12和焦后光电探[0101]利用差动共焦信号曲线轴向光强响应绝对零点精确对应待测点焦点的原理，将FES曲线过零点对应干涉测距仪测得的第一聚焦透镜3的位移读数值，进而获取待测物4表[0102]结合角度测量方法和位置测量方法同时获取待测物4的面型信息和表面倾角信术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例