CN119403159A 一种新型功率器件的制备方法及功率器件 （上海功成半导体科技有限公司）_第1页
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文档简介

本申请公开了一种新型功率器件的制备方能够解决热插拔电路中功率器件因热不稳定烧2括多个不同阈值电压单元，所述功率器件开启时按照阈值电压由低到高的顺序进行开启，在衬底的第一表面刻蚀形成多个沟槽，每个所述沟槽中包括对根据所述第一沟道的长度和所述第二沟道的长度，形成多个栅极，将栅极区域中对应的第二沟槽的两个侧壁刻蚀为台阶状后将每个栅极区域中对应的沟槽的第一侧壁刻蚀为第一台阶，将第将每个栅极区域中对应的沟槽的一个侧壁刻蚀为台阶状后，在所述沟对所述沟槽的底部、所述沟槽的侧壁以及所述沟槽开口的表面进所述第二沟槽开口的表面的氧化层研磨后，利用光刻胶将所述位于所3在相邻两个所述栅极区域之间的栅极氧化层下的衬底中通过离子注入先形成第一导侧面和源极之间形成第一沟道，所述栅极多晶硅的第二侧面和所述源极之间形成第二沟多个栅极，每个栅极根据对应的第一沟槽的长度和所4[0002]对于高可用性的网络设备来说，需要在整个使用生命周期内具有接近零的停机5在相邻两个所述栅极区域之间的栅极氧化层下的衬底中通过离子注入先形成第[0013]作为一种可能的实现方式，所述在所述钝化层中形成刻蚀孔后得到孔刻蚀表面在所述孔刻蚀表面形成金属电极，所述金属电极通过所述刻蚀孔与所述源极连6间形成第二沟道，所述源极形成于相邻两个所述栅极区域之间的栅极氧化层下的衬底中；[0021]需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式遂图示中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘7极的第二沟道长度相同，所述第二栅极的第一沟道和所述第二栅极的第二沟道的长度相[0027]上述实施例制备得到的功率器件可以参见图2，多个栅极可以分为第一栅极和第8在相邻两个所述栅极区域之间的栅极氧化层下的衬底中通过离子注入先形成第在所述孔刻蚀表面形成金属电极，所述金属电极通过所述刻蚀孔与所述源极连间形成第二沟道，所述源极形成于相邻两个所述栅极区域之间的栅极氧化层下的衬底中；9的第一侧面和源极4之间形成第一沟道，所述栅极多晶硅3的第二侧面和所述源极4之间形

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