CN119403315A 一种发光器件结构及其制备方法 （无锡晶湛半导体有限公司）_第1页
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本公开提供了一种发光器件结构及其制备2发光结构(30)，位于所述缓冲层(20)的一侧，所述发其中，所述缓冲层(20)具有至少一个微透镜结构(23)，所述微透镜结镜结构(23)的方向，所述微透镜结构(23)的多个子层的折射率逐渐减小或先增大后减小，至少一个所述微透镜结构(23)具有与其他所述微透镜结构述微透镜结构(23)个数与其他所述发光单元相对应的衬底结构(11)，位于所述缓冲层(20)远离所述发光结构(30)的一侧，所述衬底结构具有介质孔的金属透镜(25)，位于所述微3第一DBR层(51)，所述第一DBR层(5第二DBR层(52)，所述第二DBR层(5S3、在所述缓冲层(20)上生长发光结构(30)，所述S4、从远离所述缓冲层(20)的一侧刻蚀去除所述衬底(相同，一个所述发光单元与一个所述微透镜结构(23)相对应，至少一个所述微透镜结构元相对应的所述微透镜结构(23)个数与其他所述发光单元相对应的所述微透镜结构(23)45[0030]根据本公开的另一个方面，本公开一实施例提供了一种发光器件结构的制备方6子层，降低发光结构与微透镜结构接触界面以及微透镜结构与空气接触界面的折射率差[0044]图2a至图2d所示为本公开一实施例提供的发光器件微透镜结构多个子层折射率[0053]图11_15所示为本公开一实施例提供的发光器件结构在制备过程中的分解示意[0056]为了解决现有技术中LED表面微透镜结构在高温下易变形的技术问题，本公开提7[0057]下面结合图1至图16进一步举例说明本公开提及的一种发光器件结构及其制备方大后减小(如图2b所示)，微透镜结构23的多个子层的折射率变化方式为均匀变化(如图2a结构和空气之间的折射率差值较大，通过设计具有多个折射率不同的子层的微透镜结构8DBR层52位于发光结构30远离微透镜结构23的一侧。第二DBR层52的反射率大于第一DBR层51的反射率，发光结构30发射的光经过第一DBR层51在微透镜结构23远离发光结构30一侧方法流程图，图11_15所示为本公开一实施例提供的发光器件结构在制备过程中的分解示9光结构30一侧的表面刻蚀形成至少一个微透镜结构23，微透镜结构23具有至少两个子层，子层，降低发光结构与微透镜结构接触界面以及微透镜结构与空气接触界面的折射率差人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合

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