MS200质谱仪PV MassSpec操作手册 （怀柔实验室）

亲爱的用户：首先，感谢您选购我公司产品，我公司自主研发、生产、销售的产品主要有：比表面积及孔径分析仪系列程序升温化学吸附仪系列气体法真密度仪系列容量法蒸汽吸附仪系列容量法气体吸附仪系列容量法高压吸附仪系列泡点法膜孔径分析仪系列实验室配气仪系列（为红外/质谱等提供进气方案）小试催化评价装置定制系列（包含VOCs发生和处理系列、SCR脱硝脱硫系列等）在线质谱仪系列北京彼奥德电子技术有限公司成立于2003年1月9日，专业从事材料表征仪器的技术研发，是一家集项目研发、产品生产、测试咨询于一身的技术服务型企业。在十几年的发展过程中，公司积累了一批高素质的研发和应用技术人才，在强大的技术支撑和人员基础设施的保障下，彼奥德能够自主完成产品的生产及核心零部件的研发与制造，能为各级科研单位和企业提供主营产品范围外的技术开发服务。请注意：本说明书描述了此产品型号的所有功能，您的产品可能不具备此文档中的所有特性。因违背其正确的使用或被明确定义为可遇见的误用，均不在质保范围内。第一次使用前，请先详细阅读本产品说明书。如果您有任何问题或建议，请随时联系400-6698981或service@。本公司将不断改进和更新各种仪器性能及品种,为此,我们必须保留对供货范围、装备和技术说明的更改权，望用户见谅。未经本公司书面同意，不得复制、翻译或摘录本使用维护说明书内容。本公司明确依法保留有关版权的一切权力，并保留最终更改权和解释权。北京总部联系方式公司官网:

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第一章产品硬件介绍=1\*CHINESENUM3一、硬件组成=1\*GB1⒈PFEIFFERQMG250四极杆质谱=2\*GB1⒉PFEIFFERHIPACE80涡轮分子泵=3\*GB1⒊PFEIFFERMVP020-3DC隔膜泵=4\*GB1⒋PFEIFFERTC110分子泵控制器=5\*GB1⒌PFEIFFERPKR361压力控制器=6\*GB1⒍PFEIFFER毛细管取样器=7\*GB1⒎VICI125-30取样阀=8\*GB1⒏熊川分流调节阀=2\*CHINESENUM3二、产品参数介绍=1\*GB1⒈分辨率：0.5-2.5amu=2\*GB1⒉检测极限：≥1ppm=3\*GB1⒊检测范围：1-200amu=4\*GB1⒋扫描速度：1ms=5\*GB1⒌灵敏度：5E-4A/mbar（Ar）=6\*GB1⒍四极杆：6mm/125mm=7\*GB1⒎MDPP:3.0E-15mbar=8\*GB1⒏QMA:＜150℃=9\*GB1⒐QMA:5-50℃=10\*GB1⒑峰重复性：0.5%=11\*GB1⒒温飘稳定性：＜1%峰高（8小时）=12\*GB1⒓使用外部压力传感器探测系统压力，并设置灯丝保护=13\*GB1⒔使用分流阀调节系统压力和取样量=14\*GB1⒕取样器规格200微米=3\*CHINESENUM3三、安装及硬件启动=1\*GB4㈠硬件介绍21M21MS-200硬件主要由以下几部分组成：四极杆主机测试腔分子泵隔膜泵取样器分流阀测试腔硅传感器分子泵启停传感器767653853844=2\*GB4㈡四极杆主机接口MS-200四极杆主机的接口：MS-200四极杆主机的接口：电源接口TCP/IP通讯接口硅传感器接口AUXI/O接口=3\*GB4㈢分流阀调节及取样器安装分流阀的调节和取样器的拆卸：顺时针调节分流阀将使系统分流阀的调节和取样器的拆卸：顺时针调节分流阀将使系统真空值升高，取样量增加注：系统真空应＞E-5更换取样器，应使用英制1/4扳手，逆时针旋转拆卸注：每次拆卸应更换金属卡套=4\*GB4㈣硬件控制界面T1：质谱腔体温度使用温度≤200℃，一般设置为120℃，点击按钮开启或关闭，也可设置开机自动加热T2：毛细管取样器温度控制使用温度≤200℃，一般设置为100℃，点击按钮开启或关闭，也可设置开机自动加热T3：预留管路保温控制（选配）使用温度上限取决于加热装置，点击按钮开启或关闭，也可设置开机自动加热P1：为前级泵与分子泵间的压力，主要用于控制分子泵启动和漏气保护涡轮分子泵组及进样阀点击触屏对应控制按钮实现开启，Mass使用前必须打开真空泵，建议真空1-2h。该控制系统拥有分子泵的状态信息会实时记录，并配置了4组质量流量计的控制功能（选配）；用户可根据需求配置相应配件，实现在线配气功能，在分析控制界面可设置工作流量和时间，并记录累计流量，时间设置为0，一直工作，设置时间值（单位min）则到达设定时间自动关闭，最大可设定时间为65535。参数设置界面：该界面的主要功能是设置各组件的工作温度，各流量控制器的规格。该窗口进入需要密码，密码为system，工作界面如下图=5\*GB4㈤工具及配件英制1/4英寸扳手英制1/16卡套英制1/16转3mm接头毛细管取样器毛细管专用割刀=6\*GB4㈥取样器的更换打开Mass的仪器外壳，找到进样器安装螺母，使用1/4英寸扳手将其拆卸，然后将取样器另一端使用割刀割断，从仪器一侧抽出，更换新的毛细管，使用1/16金属卡套，完成密封安装=7\*GB4㈦毛细管割刀的使用先将毛细管放入割刀割槽中，然后旋转螺母紧固，使刀片能够割入刀片（不能过度紧固），然后旋转割刀，待阻力降低后，再次旋转螺母紧固，然后旋转割刀，重复这个过程，注意观察切割情况，不建议直接割断，因为是毛细管，过度的切割可能导致金属管壁变形，致使堵塞，如图：我们可以切割至一定程度后，通过弯折使其断开。第二章软件安装注意：软件安装前，应先将质谱仪数据线拆入电脑主机网口，并打开仪器电源。=1\*CHINESENUM3一、计算机系统要求参数PVMassSpec要求处理器2.4+双核内存4+GB硬盘80GBto1TB，双核分辨率16位1024x768以太网口至少1个串口至少1个操作系统Windows10；Windows7=2\*CHINESENUM3二、软件安装打开安装包，找到“PVMassSpec_Installer”应用程序，鼠标左键双击打开并按提示安装。如下（一）默认的安装路径是C:。对于不是默认值的ParentPath，安装程序将创建一个名为C:\PfeifferVacuum的目录连接，该连接将指向ParentPath\Pfeffer真空位置，并将程序安装到该目录连接。单击Next继续。 （二）打开安装向导，单击Next继续。（三）阅读协议，同意并继续。（四）创建用户名（也可以使用默认）点击Next继续，完成安装后桌面自动出现快捷图标。（五）点击桌面快捷方式，启动软件。输入：00，并把电脑设置成相同网关下的不同地址，完成后点击ok输入：00，并把电脑设置成相同网关下的不同地址，完成后点击ok此时Main界面将显示四极杆的相关信息，软件的安装和连接设置完成注：电脑端的IP地址一定要设置成固定IP且与质谱软件中设置的不同此软件正常连接后如上图，会显示Mass相关信息，并点亮工作按钮，该软件可以同时连接和控制多台Mass，连接后需要检查Configuration，以确保配置和设置正确第三章软件使用=1\*CHINESENUM3一、Configuration该窗口可以修改QuickMonitor的默认扫描范围，以及Mass的相关配置设置以下主要描述模拟信号的温度采集设置目前MS-200使用AUXI/O第9、10输入端口进行温度采集输入，软件端为Analog1，输入信号为0-10V电压信号，该信号通过采集设备转换后输出（化学吸附联用用户，该信号由化学吸附仪提供；如需采集其他设备温度信号（如热重、管式炉等），需要增配采集输出设备。倍数关系和修正偏移是很关键的两个参数，需根据实际情况进行修改注：输入电压对应温度值，Mass会与目标设备不同，需要通过比对来获取designmultiplier数值，designoffset用于修正偏移量。设置完成后点击Main返回工作界面=2\*CHINESENUM3二、START快速检测模式自定义检测模式快速检测模式自定义检测模式执行已有的自定义方案执行多个自定义方案=1\*GB4㈠QuickMonitorrun=1.\*Arabic1.QuickMonitor界面介绍点击Start选择QuickMonitor将进入已下工作界面（默认扫描范围为1-50，如需更大范围需要在configuratiom中设置）实时扫描窗口横坐标为质量数实时扫描记录曲线窗口横坐标为时间四极杆硬件工作状态显示及控制窗口曲线窗口显示选择设置实时扫描窗口横坐标为质量数实时扫描记录曲线窗口横坐标为时间四极杆硬件工作状态显示及控制窗口曲线窗口显示选择设置灯丝工作状态按钮放大器工作状态按钮采集停止/开启按钮√选需要显示的信息即可在左侧曲线窗口显示2.曲线窗口的双坐标设置将鼠标指针放于需要不同纵坐标显示的项目上，点击鼠标“右键”，然后选择“B将鼠标指针放于需要不同纵坐标显示的项目上，点击鼠标“右键”，然后选择“Bin：selectonRightAxis下图为双坐标在实际应用中的展示左侧坐标为质荷比，右侧选择显示温度曲线=3\*Arabic3.曲线窗口绘图模式设定如图，我们可以选则手动设置绘图方式、自动绘图、自动选点绘图、固定坐标绘图、独立绘图、独立堆叠显示例如选择独立堆叠，谱图将会发生如下变化而独立绘图显示效果如下4.停止及数据导出当工作时间达到10000s程序会自动停止采集，四极杆硬件工作状态显示及控制窗口出现右侧图片中的界面注：此时仅是停止采集，灯丝并未关闭！！！如果直接断电，下一次开机将出现报警信息，如下图：点击：进入报警信息界面点击：进入报警信息界面将报警信息清除或者删除后软件恢复正常状态如不需要进行连续测试，请先关闭灯丝，然后停止采集，导出数据如图所示：先点击Emission按钮，关闭灯丝，Emission按钮显示为蓝色时是关闭状态，绿色为开启状态，灯丝关闭后，点击 Acquisitionstop将停止采集，并自动保存此次测试的原始数据（原始数据储存在安装目录中data文件夹中，按日期储存）在Main界面中点击Emission也可关闭灯丝，点击后显示为蓝色在谱图窗口点击鼠标右键，选择ExportData可输出扫描范围内的所有数据。并按右侧显示数据排列顺序输出，不显示质量数信息，仅按顺序排列，由上至下。左上角选择保存路径下方设置保存文件明报告格式为.dat,可使用Excel打开左上角选择保存路径下方设置保存文件明报告格式为.dat,可使用Excel打开另一种数据导出方式如下图所示：点击run，选择Export，然后选择第一个选项该选项中保存的数据将按照AMU该选项中保存的数据将按照AMU等数据类型名称区分保存报告格式为.dat,可使用Excel打开PDF格式数据谱图报告的输出点击run，选择Printrun……，然后√选后面两个选项，点击确认后，在对话框内选择PDF打印机，可生成PDF，选择打印机则可以打印报告谱图=2\*GB4㈡Monitorrun1.Monitor界面介绍点击Start选择Monitor将进入以下工作界面=1\*GB2⑴AcquisitionControl设置首先进行AcquisitionControl设置（采集设置）该选项默认为“on”即开启，运行开始自动打开灯丝，如需要触发启动，则选择External，该设置需要使用AUXI/O该选项默认为“on”即开启，运行开始自动打开灯丝，如需要触发启动，则选择External，该设置需要使用AUXI/O启动，详见“硬件使用说明书”该选项默认为“on”达到运行关闭谱图采集条件后不关闭Emission（灯丝），如不需要继续测试则设置为“off”，如需要外部控制关闭，则选择External，该设置需要使用AUXI/O启动，详见“硬件使用说明书”该选项默认为“Time（s）”即以设定时间为谱图采集终止条件，默认最大时间为10000S用户可根据需求，设终止条件，如压力，模拟输入信号，数字输入信号等，并可在DataThreshold处设定条件数值=2\*GB2⑵SensorscansandBins点击SensorscansandBins对传感器扫描范围和采集进行设置Acquistionmode有三种模式全范围逐一扫描（包含模拟和数字输入）有选择的扫描（对应质量数和模拟数字输入）Acquistionmode有三种模式全范围逐一扫描（包含模拟和数字输入）有选择的扫描（对应质量数和模拟数字输入）有选择的扫描（仅限质量数）=3\*GB2⑶Spectrum（Scans）该窗口下我们可以设置全扫的范围：FromAMU该窗口下我们可以设置全扫的范围：FromAMU为起始范围toAMU最大范围，最大范围依据质谱规格而定，本公司产品分为100AMU和200AMU两款采集点数量默认设置为5即可，放大器设置有两个模式，默认为硬件匹配，用户可选择自定义，设置需求值，建议不要大于800=4\*GB2⑷SelectedMassesandstaus（Bins）该窗口下我们可以手动添加想获取的信息，也可以选择点击右上角的Add按钮选择默认模式或者是全部添加，该软件还提供library分析库，用户可在库中选择需要分析的内容，具体操作如下该窗口下我们可以手动添加想获取的信息，也可以选择点击右上角的Add按钮选择默认模式或者是全部添加，该软件还提供library分析库，用户可在库中选择需要分析的内容，具体操作如下选择Mass后，我们需要输入质量数，延迟时间，名称等信息，并点击Add完成添加，如名称信息不清楚可以不填写，但Mass、Dwell必须填写，Dwell默认使用32ms，如信号噪声大可适当调大，如：128ms；全部设置完成点击Next（如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的选择Mass后，我们需要输入质量数，延迟时间，名称等信息，并点击Add完成添加，如名称信息不清楚可以不填写，但Mass、Dwell必须填写，Dwell默认使用32ms，如信号噪声大可适当调大，如：128ms；全部设置完成点击Next（如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除）选择special后，我们需要选择要采集记录的信息，选择完成后，点击Add完成添加。该模式下主要用于采集外部设备的温度信息，目前该质谱温度采集选择Analog1（需配置相应采集转换硬件，如配置该硬件，全扫描模式会自动采集）全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的R选择special后，我们需要选择要采集记录的信息，选择完成后，点击Add完成添加。该模式下主要用于采集外部设备的温度信息，目前该质谱温度采集选择Analog1（需配置相应采集转换硬件，如配置该硬件，全扫描模式会自动采集）全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)右侧Add按钮的使用点击右上角的Add按钮，选择默认模式或者是全部添加，可快速完成设置，用户可根据实际使用情况，将不需要的采集设置删除，或者额外增加。该软件还提供library分析库，点击Library用户可在库中选择需要分析的内容，如左侧目录，如分析内容不够完善，用户还可手动添加相应信息，但不能重复添加。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)点击右上角的Add按钮，选择默认模式或者是全部添加，可快速完成设置，用户可根据实际使用情况，将不需要的采集设置删除，或者额外增加。该软件还提供library分析库，点击Library用户可在库中选择需要分析的内容，如左侧目录，如分析内容不够完善，用户还可手动添加相应信息，但不能重复添加。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)Library目录1Acetone/C3H6O21Hexane/C6H142Air/Ar+O2+N222Hydrogen/H23Ammonia/NH323IsopropanolIIPA)/C3H8O4Argon/Ar24Krypton/Kr5Benzene/C6H625Methane/CH46Carbondioxide/CO226Methanol/CH3OH7Carbonmonoxide/CO27MPOil8Chlorobenzene/C6H5Cl28Neon/Ne9DPOilDC70529Nitrogen/N210DPOilPPE30Oxygen/O211Ethanol/C2H5OH31PFK(Perfluorokerosene)CxHyFz12FC5311（Calibrationcompound）/C14F2432PFKTAB(Perfluorotributylamine)/N(C4F9)313Fomblin-Krtox(Perfluoropolyether/(CFn)O33Silane/SiH414Freon11(Trichlorofluoromethane)/CCl3F34Silicontetrafluoride/SiF415Freon113(Trichlorofluoromethane)/C2Cl3F335Tetrachloromethane/CF416Freon12(Dichlorodifluoromethane)/CCl2F236Toluene/C7H817Freon13(Chlorotrifluoromethane)/CClF337Trichloroethylene/C2HCl318Freon23(Trifluoromethane)/CHF338TrubopumpOil19Helium/He39Water/H2O20Heptane/C7H1640Xenon/Xe=5\*GB2⑸SelectedMasses(RestrictedBins)该窗口下我们可以手动添加想获取的信息，也可以选择点击右上角的Add按钮选择默认模式或者是全部添加，该软件还提供library分析库，用户可在库中选择需要分析的内容，具体操作如下该窗口下我们可以手动添加想获取的信息，也可以选择点击右上角的Add按钮选择默认模式或者是全部添加，该软件还提供library分析库，用户可在库中选择需要分析的内容，具体操作如下选择Mass后，我们需要输入质量数，延迟时间，名称等信息，并点击Add完成添加，如名称信息不清楚可以不填写，但Mass、Dwell必须填写，Dwell默认使用32ms，如信号噪声大可适当调大，如：128ms；全部设置完成点击Next（如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的R选择Mass后，我们需要输入质量数，延迟时间，名称等信息，并点击Add完成添加，如名称信息不清楚可以不填写，但Mass、Dwell必须填写，Dwell默认使用32ms，如信号噪声大可适当调大，如：128ms；全部设置完成点击Next（如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除）右侧Add按钮的使用点击右上角的Add按钮，选择默认模式或者是全部添加，可快速完成设置，用户可根据实际使用情况，将不需要的采集设置删除，或者额外增加。该软件还提供library分析库，点击Library用户可在库中选择需要分析的内容，如左侧目录，如分析内容不够完善，用户还可手动添加相应信息，但不能重复添加。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)点击右上角的Add按钮，选择默认模式或者是全部添加，可快速完成设置，用户可根据实际使用情况，将不需要的采集设置删除，或者额外增加。该软件还提供library分析库，点击Library用户可在库中选择需要分析的内容，如左侧目录，如分析内容不够完善，用户还可手动添加相应信息，但不能重复添加。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)Library目录1Acetone/C3H6O21Hexane/C6H142Air/Ar+O2+N222Hydrogen/H23Ammonia/NH323IsopropanolIIPA)/C3H8O4Argon/Ar24Krypton/Kr5Benzene/C6H625Methane/CH46Carbondioxide/CO226Methanol/CH3OH7Carbonmonoxide/CO27MPOil8Chlorobenzene/C6H5Cl28Neon/Ne9DPOilDC70529Nitrogen/N210DPOilPPE30Oxygen/O211Ethanol/C2H5OH31PFK(Perfluorokerosene)CxHyFz12FC5311（Calibrationcompound）/C14F2432PFKTAB(Perfluorotributylamine)/N(C4F9)313Fomblin-Krtox(Perfluoropolyether/(CFn)O33Silane/SiH414Freon11(Trichlorofluoromethane)/CCl3F34Silicontetrafluoride/SiF415Freon113(Trichlorofluoromethane)/C2Cl3F335Tetrachloromethane/CF416Freon12(Dichlorodifluoromethane)/CCl2F236Toluene/C7H817Freon13(Chlorotrifluoromethane)/CClF337Trichloroethylene/C2HCl318Freon23(Trifluoromethane)/CHF338TrubopumpOil19Helium/He39Water/H2O20Heptane/C7H1640Xenon/Xe=6\*GB2⑹SignalBins（不需要该功能可直接跳过）点击右上角的Add按钮，可以获取多个模式，分别用于逻辑计算和比对，设置后，该曲线可在selectbintoplot中设置显示常用的模式为MCD用于标气标准曲线的比对，获取测试组分的相对浓度变化。点击右上角的Add按钮，可以获取多个模式，分别用于逻辑计算和比对，设置后，该曲线可在selectbintoplot中设置显示常用的模式为MCD用于标气标准曲线的比对，获取测试组分的相对浓度变化。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)MCD功能的使用点击右上角的Add按钮，选择MCD点击右上角的Add按钮，选择MCD，可进入右侧界面，我们以8%H2/Ar混合气为例，我们先输入气体名称并选择浓度单位，然后输入Ar浓度，点击set，进入file选择标准气体的标定曲线。该数据通过对标准气体的测试获得，可通过Monitor或者创建好的R该数据通过对标准气体的测试获得，可通过Monitor或者创建好的Recipe测试获取，测试结果打开如下图选中后如下图，我们需要设置MassReference即参考质量数，8%H2/Ar参考为Ar40，并在后面勾选当前气体组分质量数接下来按照上述步骤输入H2浓度选取标定曲线，勾选正确参数设置完成后点击右下方的OK按钮，将完成设置，并获取以下界面点击右上角的Add按钮，可继续添加不同浓度标准曲线，设置后，该组分浓度曲线可在selectbintoplot中设置显示，双击对应条目可返回设置界面进行参数更改。点击右上角的Add按钮，可继续添加不同浓度标准曲线，设置后，该组分浓度曲线可在selectbintoplot中设置显示，双击对应条目可返回设置界面进行参数更改。全部设置完成点击Next(如添加错误可选中相应栏目，点击右上角的Remove按钮删除)Analysis是一项复杂的应用，如有需求点击软件HELP按钮查询使用，一般不需要设置直接点击Next进入下一步=7\*GB2⑺Display该界面主要用于设置谱图窗口的显示和坐标设置，如不需要可直接跳过，工作时在工作界面右下角选取要显示的信号，通过鼠标右键进入坐标设置进行操作，设置完成后点击Next进入下一步设置该界面主要用于设置谱图窗口的显示和坐标设置，如不需要可直接跳过，工作时在工作界面右下角选取要显示的信号，通过鼠标右键进入坐标设置进行操作，设置完成后点击Next进入下一步设置该界面会显示本次设定的各类信息，确定无误后点击右下角StartOnce即可开始工做该设置下的Ar和H2的浓度曲线与Mass信号曲线双坐标显示=8\*GB2⑻ReviewandStart该界面会显示本次设定的各类信息，确定无误后点击右下角StartOnce即可开始工做该设置下的Ar和H2的浓度曲线与Mass信号曲线双坐标显示实时扫描窗口横坐标为质量数实时扫描记录曲线窗口横坐标为时间四极杆硬件工作状态显示及控制窗口曲线窗口显示选择设置灯丝工作状态按钮放大器工作状态按钮实时扫描窗口横坐标为质量数实时扫描记录曲线窗口横坐标为时间四极杆硬件工作状态显示及控制窗口曲线窗口显示选择设置灯丝工作状态按钮放大器工作状态按钮采集停止/开启按钮√选需要显示的信息即可在左侧曲线窗口显示=2\*Arabic2.Monitor界面设置=1\*GB2⑴曲线窗口的双坐标设置将鼠标指针放于需要不同纵坐标显示的项目上，点击鼠标“右键”，然后选择“B将鼠标指针放于需要不同纵坐标显示的项目上，点击鼠标“右键”，然后选择“Bin：selectonRightAxis下图为双坐标在实际应用中的展示左侧坐标为质荷比，右侧选择显示温度曲线=2\*GB2⑵曲线窗口绘图模式设定如图，我们可以选则手动设置绘图方式、自动绘图、自动选点绘图、固定坐标绘图、独立绘图、独立堆叠显示例如选择独立堆叠，谱图将会发生如下变化而独立绘图显示效果如下=3\*GB2⑶停止及数据导出当工作时间达到10000s程序会自动停止采集，四极杆硬件工作状态显示及控制窗口出现右侧图片中的界面注：此时仅是停止采集，灯丝并未关闭！！！如果直接断电，下一次开机将出现报警信息，如下图：点击：进入报警信息界面点击：进入报警信息界面将报警信息清除或者删除后软件恢复正常状态如不需要进行连续测试，请先关闭灯丝，然后停止采集，导出数据如图所示：先点击Emission按钮，关闭灯丝，Emission按钮显示为蓝色时是关闭状态，绿色为开启状态，灯丝关闭后，点击 Acquisitionst