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文档简介
3.13.23.3闪烁屏scintillationscreen3.44——靶（测量时需要从靶平面移开）；为实现对最小10μm电子焦点的测量，镜头与CCD组成的成像系统的空间分辨率不应小于1256.1测量准备6.2.3荧光屏与反射镜之间的夹角应采用精密角度测量工具或机械加工保证，误6.4.1荧光屏尺寸标定）；米每像素(μm/pixel）。L——标定物特征尺寸的实际长度，单位为微米(μm6.4.2本底图像采集6.5.1本底噪声计算6.5.2焦点图像处理d)对强度分布曲线进行高斯拟合，得到x、y方向上的均方根像素值σ(x,pixel)、σ(y,pixel)；σx=K.σ(x,pixel),σy=K.σ(y,pixel)…………（2）FWHMx=2.35σx,FWHMy=2.BW=√d2+[a(M__1)]2（A.1）M方格纸占据图像中1296pix
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