CN119472236A 质量流量控制器的pid参数标定方法及装置 （北京华丞电子有限公司）

本公开提供了一种质量流量控制器的PID参控制算法对当前PID参数进行调整，并返回获取当前PID参数以及通过当前PID参数进行流量控2获取当前PID参数以及通过当前PID参数进行流量控制，并获取当在所述当前响应时间小于或等于预设时间阈值，且所述当前过系数以及当前微分系数，基于预设模糊控制算法对所述当前PID参数进行调整的步骤，包根据当前比例系数、当前积分系数、当前微分系数以及各系数对应根据所述当前比例系数与所述当前比例系数对应的当前目标增量之和根据所述当前积分系数与所述当前积分系数对应的当前目标增量之和根据所述当前微分系数与所述当前微分系数对应的当前目标增量之和针对当前比例系数、当前积分系数以及当前微分系数中的每从模糊规则库获取该系数对应的输入参数与该系数对应的输出量的模糊关根据该系数对应的输入参数对应的隶属度以及所述模糊矩阵，获基于该系数对应的输出量所对应的隶属度对该系数5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对该系数对应的输入参数进行模糊化运3基于所述输入参数对应的隶属度函数，根据所述输入参数对应的标根据该系数对应的输出量所对应的隶属度以及该系数对应的输出量所对应的标准论对该系数对应的输出量在对应的标准论域中的输出值进行论域反变换处理将质量流量控制器的量程划分为多个流量区间，其中不同流量区间对应不同的PID参在当前PID参数的当前已累计调整次数小于预设标定次数的情况下，执行基于预设模获取单元，其被配置为获取当前PID参数以及通过当前PID参数进当前流量设定点的的当前特性参数，所述当前特性参数包括当前响应时间及当前过冲比记录单元，其被配置为在所述当前响应时间小于或等于预设4[0001]本公开涉及质量流量控制技术领域，特别涉及一种质量流量控制器的PID参数标[0002]质量流量控制器(MassFlowController，MFC)可以对气体或液体进行精密的测例范围的情况下，基于预设模糊控制算法对所述当前PID参数进行调整，并返回获取当前PID参数以及通过当前PID参数进行流量控制，获取当前流量设定点的当前特性参数的步应的当前目标增量对当前比例系数、当前积分系数以及当前微分系数分别进行调整的步5[0019]基于该系数对应的输出量所对应的隶属度对该系数对应的输出量进行清晰化运[0024]根据该系数对应的输出量所对应的隶属度以及该系数对应的输出量所对应的标[0027]将质量流量控制器的量程划分为多个流量区间，其中不同流量区间对应不同的比例不位于预设比例范围的情况下，在基于预设模糊控制算法对所述当前PID参数进行调整之前，所述方法还包括：判断当前PID参数的当前已累计调整次数是否小于预设标定次[0029]在当前PID参数的当前已累计调整次数小于预设标定次数的情况下，执行基于预设模糊控制算法对所述当前PID参数进行调6程序被处理器执行时实现上述第一方面所述的PI[0036]根据本公开实施例提供的质量流量控制器的PID参数标定方法及装置、质量流量[0037]应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特[0039]图1为本公开实施例提供的一种质量流量控制器的PID参数标定方法的流程示意[0049]图11为本公开实施例提供的一种质量流量控制器的PID参数标定装置的结构框7[0059]图1为本公开实施例提供的一种质量流量控制器的PID参数标定方法的流程示意量，流量传感器可以用于检测实际输出流量。其中，控制器可采用PID(Proportion，8[0064]将质量流量控制器的量程划分为多个流量区间，其中不同流量区间对应不同的性的，根据经验，MFC通用的PID参数对应有四个分段区间，分别为满流程流量区间[0％,75％、0100例如当MFC的流量设定点位于50％至100％区间，则采用该区间对应的设定点(当前流量设定点)的情况下，超出的部分流量值与9[0071]在当前过冲比例K不位于预设比例范围时，表示MFC的实际流量的过冲比例K不符基于调整后的当前PID参数对MFC进行[0073]在基于预设模糊控制算法调整设定的当前流量设定点所在流量区间所对应的当化当前设定的当前流量设定点所在流量区间所对应的PID参数，实现动态和自适应调节当[0075]在当前响应时间T小于或等于预设时间阈值TMAX，且当前过冲比例K位于预设比例继续基于下一个流量设定点所在流量区间所对应的当前PID参数对MFC进行流[0076]根据本公开实施例提供的质量流量控制器的PID参数标定方法的技术方案，通过应的当前目标增量对当前比例系数、当前积分系数以及当前微分系数分别进行调整的步例系数P对应的当前目标增量ΔP之和，调整更新后的当前积分系数I等于调整更新前的当[0084]图4为一种确定当前PID参数的当前目标增量的方式的流程示意图，图5为一种模[0090]在本公开实施例中，模糊控制算法涉及的输入量包括当前响应时间T和当前过冲域可以设定为[05％]，当前响应时间T和当前过冲比例K对应的标准论域均可以设定为minmaxminmaxmin[0098]可以根据上述论域映射函数进行线性尺度变换求得当前响应时间T和当前过冲比当前积分系数或者当前微分系数)对应的输入参数和输出量的模糊集采用矩阵进行表示，利用模糊关系中该系数对应的输入参数和输出量的模糊集分别对应的矩阵进行模糊推理[0119]根据上述模糊矩阵的计算公式，AXB=A"AB=[0.2,1TK＝_0.2代入上述当前响应时间对应的隶属[0128]同理，可计算得到积分系数的增量ΔI的隶属度以及微分系数的增量ΔD的隶属[0129]步骤S44、基于该系数对应的输出量所对应的隶属度对该系数对应的输出量进行对应的输出量所对应的隶属度以及该系数对应的输出量所对应的标准论域对该系数对应一次变化到目标流量设定点(即当前流量设定点)S得到当前过冲比例K=ΔF/SetPoint2。流量设定点的流量是基于对应的PID参数[0154]在当前PID参数的当前已累计调整次数小于预设标定次数的情况下，执行基于预[0155]在一些实施例中，由于PID参数标定以及模糊控制算法处理需要依靠实际流量的[0158]图11为本公开实施例提供的一种质量流量控制器的PID参数标定装置的结构框发获取单元111重新获取当前PID参数以及通过当前PID参数进行流量控制，并获取当前流[0160]本公开实施例所提供的用于质量流量控制器的PID参数标定装置，用于实现上述的PID参数标定方法，具体相关描述可参见上述实施例的PID参数标定方法中相关的描述，多个计算机程序被至少一个处理器131执行，以使至少一个处理器131能够执行上述的PID算机程序被处理器执行时实现上述实施例提供的