《大型被动隔振平台测试规范》

JJF××—××××+中华人民共和国国家计量技术规范JJF××—20××大型被动隔振平台测试规范Testspecificationforlarge-scalepassivevibrationisolationplatform（初征求意见稿）202×-×-×发布202×-×-×实施国家市场监督管理总局发布MTC6-2024-04大型被动隔振平台测试规范JJF××JJF××-××Testspecificationforlarge-scalepassivevibrationisolationplatform目录TOC\o"1-1"\h\u25170引言 大型被动隔振平台测试规范范围本规范适用于外形尺寸大于3m×3m、台体工作面面积大于10m2的大型被动隔振平台的测试。引用文件本规范引用了下述文件：JJF1156-2006振动冲击转速计量术语及定义GB/T11349.2-2006振动与冲击机械导纳的试验确定第2部分：用激振器作单点平动激励测量GB/T11349.3-2006振动与冲击机械导纳的试验确定第3部分：冲击激励法GB50463-2008隔振设计规范GB/T23717.1-2009机械振动与冲击装有敏感设备建筑物内的振动与冲击第1部分：测量与评价GB/T23717.2-2009机械振动与冲击装有敏感设备建筑物内的振动与冲击第2部分：分级GB/T2298-2010/ISO2041：2009机械振动、冲击与状态监测词汇DB23/T1532-2013大型被动隔振平台技术基本要求GB/T15168-2013振动与冲击隔离器静、动态性能测试方法GB/T30173.2-2014机械振动与冲击弹性安装系统第2部分：轨道交通系统隔振应用需交换的技术信息GB/T11349.1-2018机械振动与冲击机械导纳的试验确定第1部分：基本术语与定义、传感器特性使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规则；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规则。术语和定义3.1被动隔振（passivevibrationisolation）为减小振动敏感的仪器、仪表或机器受外界的振动影响，而对其采取的无外界能量输入的隔振措施。对大型被动隔振平台某一轴线方向的特性进行分析时，一般将其看作该方向的单自由度有阻尼线性振动系统。对大型被动隔振平台的刚度、固有频率、阻尼比、传递率等参数进行测试时，一般取竖直方向、水平长轴方向、水平短轴方向三个方向进行测试。3.2固有频率（naturalfrequency）大型被动隔振平台在指定轴线方向的自由振动频率，由于一般可将大型被动隔振平台看作阻尼比较小的有阻尼线性振动系统，因此如不做特殊说明一般指其有阻尼固有频率。固有频率表示为。3.3振动传递率（vibrationtransmissibility）微振动通过大型被动隔振平台后，在某一频率下的振动输出量（力、位移、速度或加速度）与同量纲的振动输入量的比值。概述大型被动隔振平台是一种采用被动式振动隔离技术和大型平台技术隔离与抑制环境微振动，减小或消除振动干扰问题对精密设备精度和性能影响的装置。被动式振动隔离技术包括弹簧、橡胶、气动技术与负刚度技术。大型平台技术按台体结构可分为平板型和“T”型，典型结构分别如图1所示。1-隔振器1-隔振器，2-支座，3-台体图1（b）“T”型大型被动隔振平台示意图1231231-隔振器，2-支座，3-台体图1（a）平板型大型被动隔振平台示意图大型被动隔振平台测试系统通过多通道振动分析仪实时监测与记录大型被动隔振平台的振动加速度、速度或位移，计算得到固有频率、阻尼比、振动传递率、隔振等级等关键性能指标，以模拟或数字方式给出测量结果。测试项目5.1台面平面度平面度误差不大于1mm。5.2台面水平度1m范围内的水平度误差不大于1mm。5.3固有频率0.2Hz~5Hz。5.4阻尼比不小于5%。5.5振动传递率在2Hz振动频率下，垂向振动传递率≤5%，水平长轴与短轴方向振动传递率≤10%；振动频率大于2Hz，垂向振动传递率≤1%，水平长轴与短轴方向振动传递率≤2%。5.6隔振等级不低于VC-D隔振等级。以上指标不用于合格性判断，仅提供参考。VC-D隔振等级是指振动速度的1/3倍频程谱峰值低于6.25μm/s，详见附录A。测试条件6.1测试环境6.1.1温度在(20~25)℃范围内任选一点，测试过程中环境温度的变化不超过士0.5℃，且不应有温度突变。6.1.2湿度相对湿度：≤75%。6.1.3供电电源电压：（220±22V）；频率（50±1）Hz；接地电阻≤1Ω。6.1.4其他测试点周围无影响仪器正常工作的电磁干扰和机械振动。6.2测量仪器设备6.2.1水平仪水平仪是一种用于测量和指示倾斜角度或相对于地平面水平状态的仪器。其工作频率范围应覆盖被测信号的频率范围，其幅值测量范围应覆盖大型被动隔振平台的最大倾斜角度，其精度应高于平台水平度的测量精度，其分辨率应足以检测到平台的最小倾斜变化量，其稳定性与重复性应高于大型精密隔振平台水平度测量的稳定性与重复性。6.2.2平尺和塞尺平尺和塞尺组合是一种高精度测量大型被动隔振平台的平面度的仪器。平尺和塞尺的精度等级应高于大型被动隔振平台平面度的测量精度，平尺的平行度与直线度误差应不影响测量的准确度，塞尺的范围应覆盖大型被动隔振平台平面度的范围。6.2.3多通道振动分析仪多通道振动分析仪是一种测量振动并将振动量值通过时间量、电压量直接溯源到基本量的装置。多通道振动分析仪中振动传感器的量程与频率范围应覆盖被测大型被动隔振平台的振动幅值与频率范围，其灵敏度与响应速度应足以实时监测大型被动隔振平台的微小振动。多通道振动分析仪中信号采样的频率与量程应覆盖大型被动隔振平台振动频率范围与振动幅值，其分辨率应足以检测到平台的最小振动变化量，其模/数转换精度应覆盖大型精密隔振平台测量的精度需求，其动态范围应覆盖大型被动隔振平台在不同振幅水平下的准确性与可靠性需求，其数据处理能力应覆盖大型被动隔振平台性能测试的时域、频域与三分之一倍频程谱分析。表1测量用主要仪器设备计量特性仪器设备计量特性水平仪量程：推荐不低于5mm/m分辨力：推荐不低于0.1mm/m平尺长度：推荐不低于1m粗糙度：工作面推荐不高于0.32μm，侧面推荐不高于1.25μm直线度：推荐不低于20μm平行度：推荐不低于15μm塞尺量程：推荐不低于2mm分辨力：推荐不低于0.05mm多通道振动分析仪量程：推荐不低于0.1m/s通频带：推荐0.1~100Hz分辨力：推荐不低于1×10-6m/s【根据计量特性定】传感器灵敏度：推荐不低于20V/(m/s)测试项目与测试方法7.1测试项目测试项目见第5章。7.2测试方法7.2.1外观及工作正常性检查及测试前准备被测试大型被动隔振平台应配有使用说明书及全部必备附件。其外观结构完好，开关、按键等操作灵活可靠，标志清晰明确，外漏件不应有松动和机械损伤；其铭牌或外壳应标明其名称、生产厂家、型号、编号与出厂日期。供电电源的标志及电压和频率范围指示明确。外观检查后，按照使用说明书中的步骤，开启大型被动隔振平台，并确保其能正常工作。将水平仪、塞尺、多通道振动分析仪等测量设备放置于测试环境中稳定2小时，并校对或调整水平仪、多通道振动分析仪的零位。7.2.2台体工作面的平面度采用平尺与塞尺测量台体工作面的平面度。如图2所示，将平尺放在大型被动隔振平台的工作面上，用塞尺测量平尺和台体工作面之间的缝隙，测量点不少于5个。按式（1）计算台体工作面的平面度，测试至少在相互垂直的两个方向上进行。P=max(Pi)（1）式中：P——台体工作面的平面度，mm；Pi——塞尺的厚度，mm；i——测量次数，i=1，2，3…n，n∈N+，且n≥5。图2平面度测试示意图7.2.3台体工作面的水平度采用水平仪测量台体工作面的水平度。如图3所示，将水平仪紧贴在大型被动隔振平台的工作面上，读取水平仪的示数，重复测量不少于5次，按式（2）计算台体工作面的水平度，测试至少在相互垂直的两个方向上进行。L=max(lj)（2）式中：L——台体工作面的水平度，mm/m；lj——水平仪示数，mm/m；j——测量次数，j=1，2，3…m，m∈N+，且m≥5。水平仪的示数是以一米为基长的倾斜值，对于测量长度为L的实际倾斜值为：实际倾斜值=水平仪示数×L。图3水平度测试示意图7.2.4固有频率采用多通道振动分析仪测量大型被动隔振平台垂向、水平长轴方向与水平短轴方向的固有频率。测量方法示意如图4所示，将传感器固定在靠近台体质心或台体工作面中心线的位置，在台体待检测的轴线方向且过质心的位置处，施加冲击形式的激振力。施加激振力0.5s后，测量台体的自由振动曲线如图5所示，记录相邻两个波峰或波谷之间的时间差。按式（3）计算大型被动隔振平台的固有频率为：f=1/T（3）式中：T——相邻两个波峰或波谷之间的时间差，s；f——隔振平台的固有频率，Hz。图4固有频率测试示意图图5台体的自由振动曲线7.2.5阻尼比按照7.2.4的方法测试。在台体的自由振动曲线中，记录相邻两个波峰或波谷的幅值。按式（4）计算大型被动隔振平台的阻尼比为：（4）式中：η——平台的阻尼比；ln(·)——对数运算；A、B——相邻两个波峰或波谷的幅值。7.2.6振动传递率采用7.2.4的仪器设备测试。如图6所示，将两个振动传感器沿同一轴线方向分别固定在地面、靠近台体质心或台体工作面中心线的位置处，不对台体进行主动激振，并消除其它干扰振源的影响。测量台面与地面的振动速度，测试时间不少于1分钟，按式（5）计算该轴线方向的振动传递率。（5）式中：Λ——振动传递率；FFT(·)——傅里叶变化；vp——台面的振动速度；vb——地面的振动速度。图6振动传递率测试示意图7.2.7隔振等级采用7.2.4的仪器设备测试。将振动传感器按照图7所示的方式固定在靠近台体质心或台体工作面中心线的位置，不对台体施加主动激振，并消除其它干扰振源的影响，测量地面振动经大型被动隔振平台衰减后，台面的残余微振动速度。对振动速度进行三分之一倍频程谱分析，并与振动评价标准进行比对，以确定隔振等级。图7隔振等级测试示意图测试结果表达8.1测试记录推荐的测试记录的格式见附录B。8.2测试报告经测试的大型被动隔振平台出具测试报告。测试报告应包括的信息及推荐的测试报告业内格式见附录C。测试时间间隔测试时间间隔由用户根据需要自定。确定原则是相邻两次测试时间间隔内，被测试仪器的计量性能变化在实际需求允许范围内。推荐测试时间间隔为1年。

附录A通用振动评价准则评价等级振动速度的三分之一倍频程谱峰值(μm/s)应用领域VC-A50适用于400倍以下的光学显微镜、微量天平、光学天平、接近和投影校准器等。VC-B25适用于线宽为3μm的检测和光刻（包括步进器）。VC-C12.5适用于1000倍以下的光学显微镜、1微米细节尺寸的检测和光刻检测设备（包括中等灵敏度的电子显微镜）、TFT-LCD步进/扫描仪。VC-D6.25在大多数情况下，适用于要求最苛刻的设备，包括电子显微镜（TEM和SEM）和电子束系统。VC-E3.12具有挑战性的标准。适用于最苛刻的敏感系统，包括长路径、激光、小目标系统、纳米尺度的电子束光刻系统，以及其他需要超高动态稳定性的系统。VC-F1.56适用于极度安静的研究空间；在大多数情况下，尤其是洁净室，一般很难实现。不建议用作设计标准，仅用于评估。VC-G0.78适用于极度安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

附录B大型被动隔振平台测试记录格式报告编号型号规格客户名称型号/规格客户地址生产厂家环境温度环境湿度测试地点其他测试结果1、连续无故障工作时间（d）2、固有频率（Hz）次数12345垂向水平长轴向水平短轴向3、阻尼比次数12345垂向水平长轴向水平短轴向4、台面水平度5、台面平面度6、隔振等级次数12345垂向水平长轴向水平短轴向测试员：核验员：测试日期：年月日

附录C测试报告的内容C.1该报告应至少包括如下信息：a)标题，如“测试报告”；b)测试地址及实验室名称；c)报告的唯一性标识(如编号)，每页及总页数的标识；d)送测试单位的名称和地址；e)被测试对象的描述和明确标识；f)进行测试的日期，若与测试结果的有效性及应用有关时，应说明被测试对象的接收日期；g)如果与测试结果的有效性及应用有关时，应对抽样程序进行说明；h)对测试所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；i)本次测试所用测量标准的溯源性及有效性说明；j)测试环境的描述；k)测试结果及其测量不确定度的说明；l)测试报告签发人的签名、职务或等效标识，以及签发日期；m)测试结果仅对被测试对象有效的声明；n)未经实验室书面批准，不得部分复制报告的声明；o)经测试的大型被动隔振平台，发给测试报告，加盖测试印章。C.2推荐的测试报告内页格式见表C.1。

表C.1测试报告业内的推荐格式报告编号型号规格客户名称型号/规格客户地址生产厂家环境温度环境湿度测试地点其他测试结果1、连续无故障工作时间（d）2、固有频率（Hz）垂向水平长轴向水平短轴向3、阻尼比垂向水平长轴向水平短轴向4、台面水平度5、台面平面度6、隔振等级垂向水平长轴向水平短轴向测试员：核验员：测试日期：年月日《大型被动隔振平台测试规范》（初稿）国家计量技术规范编制说明工作概况任务来源根据国家市场监督管理总局市监计量发〔2024〕40号文件《关于印发2024年国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划>的通知》，《大型被动隔振平台测试规范》国家计量技术规范被列入了制定计划。规范的计划序号为“4”，完成时间为2025年12月。工作的主要过程2024年02月至2024年05月，起草工作组接受任务，进行资料收集。由于国内、外大型被动隔振平台均无计量技术规范可循，生产厂家均按合同或各自厂家的规程进行测试，导致隔振平台的质量控制与产品验收过程中的量值溯源方法、管理很难统一、规范。因此在资料收集阶段，着重收集国外有关国家、生产厂家的相关测试规范和产品样本，以及国内生产厂家的产品技术指标与相关测试流程，并对此进行了认真阅读与分析。此外，分析与评估了项目的可行性与风险，明确项目的目标和预期成果，制定详细的项目时间表，确定项目的关键里程碑和阶段性目标，根据团队成员的专业技能和经验，对工作任务进行合理分工。2024年03月至2024年09月：在哈尔滨工业大学等研制的大型被动隔振平台上，对本计量技术规范规定的各项技术要求、检验方法进行实验验证，并做出试验总结，确保检定项目及方法科学、易操作；编写测试规范初稿，并提交。2024年10月至2025年3月：完成初审，起草工作组根据专家意见对规范进行认真修改，形成了《大型被动隔振平台测试规范》国家计量技术规范草案征求意见稿。2025年04月至2025年12月：按审查会要求，修改计量技术规范规范草案（送审稿），并提交规范草案报批文件。主要参加单位和工作组成员为了更好地完成本计量技术规范的制定工作，本计量技术规范在准备初期成立了起草工作组，由XXX大学、中XXXXX技术研究所和XXXXX研究院作为主要起草单位，XXX研究所为参加起草单位，共同组成规范起草工作组，起草工作组的组成如下：XXX、XXX、XXX、XXX、XXX和XXX。XXX大学、XXX技术研究所和XXX研究院作为负责起草单位和召集单位，承担了规范起草的主要工作，主要起草人XXX、XXX和XXX负责规范的起草和统稿工作，对规范的结构、内容及相关技术进行全面的编写；由XXX、XXX和XXX，并组织必要的试验和验证。规范的编制原则和主要内容规范的编制原则目前，国内没有大型被动隔振平台的计量技术规范，国际上也没有相关标准和规范，本计量技术规范旨在规范与统一国内生产厂家对隔振平台技术指标的测量规范，更好地指导国内大型被动隔振平台的设计、生产和使用，推进我国振动隔离与大型平台技术水平提升，促进高端精密装备国产化、自主化。《大型被动隔振平台测试规范》国家计量技术规范的制订主要遵循如下几个原则：（1）本计量技术规范在内容与格式上均符合JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》与GB/T20001.5《标准编写规则第5部分：规范标准》的要求，文字通俗、简练；编写内容层次分明、正确、全面；具有良好的可操作性。（2）根据目前市场调研，现有大型被动隔振平台工作面面积多大于10m2，且缺乏相关的计量技术规范。因此本计量技术规范的使用范围确定为台体工作面面积大于10m2的大型被动隔振平台，以保证规范的先进性和适用性，最大限度地满足我国现行的生产需要；（3）本计量技术规范为新制定规范，对大型被动隔振平台的技术指标及要求，参考国内外生产厂家的现行水平进行制定，力求使新规范作到更完善、更好地反映我们国内大型被动隔振平台的发展。规范编制的主要内容本计量技术规范规定了大型被动隔振平台的技术基本要求，包括术语和定义、概述、计量特性、测量仪器设备、测试环境条件、测试方法与测试结果表达、测量时间间隔等。综合考虑本规范适用的国内外产品的主要特点和技术要求，确定本规范规定的主要技术要求如表3所示。表3规范规定的主要技术要求序号技术要求内容1台面水平度1m范围内的水平度误差应不大于1mm。2台面平面度平面度误差应不大于1mm。3固有频率0.2Hz~5Hz。4阻尼比不小于5%。5振动传递率在2Hz振动频率下，垂向振动传递率≤5%，水平长轴与短轴方向振动传递率≤10%；振动频率大于2Hz，垂向振动传递率≤1%，水平长轴与短轴方向振动传递率≤2%。6隔振等级不低于VC-D（振动速度的1/3倍频程谱峰值低于6.25μm/s）注：以上指标不是用于合格性判断，仅提供参考。本计量技术规范制订的关键内容有如下几点：（1）台体工作面的平面度测试方法的确定大型被动隔振平台的平面度是指平台表面的平整程度，通常用来描述平台在单位面积内高度变化的程度。平面度作为衡量隔振平台质量的指标，直接影响到放置在平台上的仪器设备的稳定性和精度。因此本计量技术规范中规定：采用长度为1m的平尺对台体工作面的平面度进行测试。将平尺放在超大型气浮隔微振装置的工作面上，用塞尺测量平尺和台体工作面之间的缝隙，将台体工作面上所有检验部位塞尺读数的最大值，作为台体工作面平面度的检验结果。检验至少在相互垂直的两个方向上进行。（2）台体工作面的水平度测试方法的确定大型被动隔振平台的水平度是指平台相对于水平面的倾斜程度，高水平度的平台能减少设备倾斜，确保设备稳定性和测量精度。因此本计量技术规范中规定：采用水平仪对台体工作面的水平度进行测试。将水平仪放置于测试环境中稳定2小时，校对或调整水平仪的零位，将水平仪紧贴在超大型气浮隔微振装置的工作面上，读取水平仪的示数，将台体工作面上所有检验部位水平仪读数的最大值，作为台体工作面水平度的检验结果。检验至少在相互垂直的两个方向上进行。（3）固有频率测试方法的确定大型被动隔振平台的固有频率是指其在指定轴线方向的自由振动频率，由于一般可将隔振器看作阻尼比较小的有阻尼线性振动系统，因此如不做特殊说明一般指其有阻尼固有频率。因此本计量技术规范中规定：采用垂向及水平长轴、水平短轴方向敏感的测振仪，对大型被动隔振平台3个轴线方向的固有频率进行测试，所采用的测振仪可以是加速度传感器、速度传感器，也可以是具有良好低频动态响应特性的位移传感器。对台体施加冲击力形式的激振力，测振仪应固定在尽量靠近台体质心及台体工作面中心线的位置，激振力应施加于台体待检测的轴线方向上并尽量过质心。通过测振仪获得台体自由振动曲线。由于大型被动隔振平台可看作指定轴线方向上的单自由度有阻尼线性振动系统，根据线性振动系统理论，激振力作用结束后，台体自由振动的振幅按指数规律衰减，振动周期T、即相邻两个波峰或波谷之间的时间间隔保持不变，该轴线方向的有阻尼固有频率fd为：（1）为消除激振力作用时间的影响，一般取前2~3个周期之后的波峰或波谷计算振动周期T。由于大型被动隔振平台的阻尼比η一般满足η≤0.25，因此该轴线方向的无阻尼固有频率fn为：（2）（4）阻尼比测试方法的确定大型被动隔振平台的阻尼比是指其实际阻尼系数与其临界阻尼系数的比值，临界阻尼系数是指隔振器处于振荡与非振荡的临界状态对应的阻尼值。本计量技术规范中规定：在台体垂向自由振动曲线中，计算相邻两个波峰或波谷的幅值比A/B,根据线性振动系统理论，大型被动隔振平台垂向阻尼比η为：（3）为消除激振力作用时间的影响，一般取前2~3个周期之后的波峰或波谷计算幅值A、B。（5）振动传递率测试方法的确定大型被动隔振平台的振动传递率是微振动通过大型被动隔振平台后，在某一频率下的振动输出量（力、位移、速度或加速度）与同量纲的振动输入量的比值。本计量技术规范中规定：采用垂向及水平长轴、水平短轴方向敏感的测振仪，对大型被动隔振平台3个轴线方向的振动传递率进行测试。测振仪分别布置在台体工作面和地面上并可靠固定，传感器应固定在尽量靠近台体质心及台体工作面中心线的位置。一般采用速度传感器，以速度传递率对大型被动隔振平台的振动传递率进行评价。检验时，不对台体进行主动激振，并消除其它干扰振源的影响。通过布置在地面上的测振仪，测试地面上的微振动，通过布置在台体工作面上的测振仪，测试通过大型被动隔振平台传递到台体工作面上的微振动，对台体工作面和地面同一轴线方向上同量纲的振动量进行频谱分析，计算二者的比值，即为该轴线方向指定量纲振动量的传递率。（6）隔振等级测试方法的确定大型被动隔振平台的隔振等级是指该平台能够隔离振动的性能水平。隔振等级越高，平台能为其上安装的精密仪器设备提供更稳定的工作环境。本计量技术规范中规定：采用垂向及水平长轴、水平短轴方向敏感的测振仪，对大型被动隔振平台3个轴线方向的隔振等级进行测试。测振仪布置在台体工作面并可靠固定，传感器应固定在尽量靠近台体质心及台体工作面中心线的位置。一般采用速度传感器对大型被动隔振平台的隔振等级进行评价。检验时，不对台体进行主动激振，并消除其它干扰振源的影响。通过布置在台体工作面上的三只测振仪，测试地面振动经过大型被动隔振平台衰减后，台面的残余微振动，对台体工作面垂向及水平长轴、水平短轴方向的振动量进行三分之一倍频程谱分析，将测量结果与美国IEST（InstituteofEnvironmentalSciencesandTechnology）制定的振动评价标准进行比对，以确定大型被动隔振平台的隔振等级。新编规范与原有相关产品标准的关系新制订的国家计量技术规范《大型被动隔振平台测试规范》是一新制定规范，此前没有相应的国家和地方标准或规范，因此在制订过程中工作组参考了大量相关规范、技术要求、研究成果等，并以此为基础，采用规范性引用方式进行相关引用，使此规范具有科学性，利于产品的发展和规范的使用。主要试验（或验证）情况分析自2024年03月开始进行试验验证，至2024年08月进行测试结果分析。在哈尔滨工业大学等研制的大型被动隔振平台上，对本计量技术规范规定的各项技术要求、检验方法进行了实验验证。试验结果表明：本计量技术规范具有较好的实用性和可操作性，可以作为大型被动隔振平台进行产品质量控制和验收的依据文件，从而规范大型被动隔振平台的质量规范，促进其产品推广应用、质量控制和工艺改进。规范涉及的技术创新、知识产权等情况工作组在编制过程中进行了相关专利的检索和查询，没有出现此类专利，本次规范的制订内容也未涉及有效专利，规范不涉及知识产权等问题。预期达到的社会效益从2000年起，哈尔滨工业大学等国内优势单位对超大型低频气浮隔微振技术进行了十余年的刻苦攻关，通过系统的关键技术突破，目前已成功研制出多种规格的大型被动隔振平台，台面尺寸从几米至几十米，台体重量从几十吨至上千吨，经国家科技部门技术鉴定，在固有频率、台面振动速度等关键技术指标上已达到世界领先水平。目前，产品在国内市场成功推广，已在北京大学、哈尔滨工业大学、中船重工707所、中国计量科学研究院、哈尔滨量具刃具集团有限公司、航天五院508所、航天一院102所等高等院校、科研院所、航天科研单位共装备20余台套。国内其他大型被动隔振平台生产企业还包括江西连胜、京工斯柯航天科技（山东）有限公司、哈尔滨恒信、中国电子工程设计院、国机集团等。这些厂家的隔振器产品的技术指标低于哈尔滨工业大学的同类产品，性能略差，但也形成批量供货能力，产品已在中科院长春光机所、成都光电所、天马微电子集团等用户单位装备了上百台套。由于大型被动隔振平台在国内的推广使用，产品的计量技术规范已成为突出问题。由于我国目前在大型被动隔振平台的地方、行业和国家标准与规范方面均属空白，缺乏统一的产品计量技术规范，因此大型被动隔振平台在质量控制、产品验收等环节缺乏标准，制约了产品推广应用、质量提高和工艺改进。我国目前对大型被动隔振平台的产品质量控制和验收，主要依靠合同双方的书面和口头约定，以及行业一般约定。在标准与规范文件方面，主要参考JJF1156-2006《振动、冲击、转速计量术语及定义》、GB50463