CN119494317A 一种sraf放置效果评估方法、装置、设备及介质 （华芯程(杭州)科技有限公司）

括：获取用户编写的SRAF放置规则文件，并对2获取用户编写的SRAF放置规则文件，并对所述SRAF放置规则文件进行解析，以识别根据所述效果评估结果输出所述SRAF放置规则文件当前存在的缺陷问题，2.根据权利要求1所述的SRAF放置效果评估方法，其特征在于，所述识别SRAF图形的识别各SRAF图形在集成电路版图中的坐标信息、所在版图区域，以识别各所述SRAF图形的几何图形特征，以确定各所述SRAF图形基于各所述SRAF图形的所在版图区域的区域标签，确定各所述SRAF图形的优先级信基于所述位置信息、所述种类信息、所述数量信息、所述优先级按照版图层次结构或版图区域划分集成电路版图，以得识别各所述SRAF图形在预设坐标系中坐标信息、所述SRAF图对各所述SRAF图形的几何图形特征进行识别，以得到待分类几何图形SRAF图形的几何图形特征与对应的SRAF种类的第一映射关系确定所述待分类几何图形特按照预设优先级识别规则对所述SRAF图形进行优先级识别，以得到各所述设置针对存在SRAF图形之间位置冲突的冲突信号、集成电路版图中目种类和/或数量的SRAF图形问题的第一缺陷评估设置针对满足版图一致性位置条件的集成电路版图的区域中的SRAF图形之间的差异3设置针对集成电路版图中非目标位置缺失对应种类和/或数量的SRAF图形问题的第三缺陷评估规则；基于所述第一缺陷评估规则、所述第二缺陷评估规则、所述设评估规则；其中，所述集成电路版图中目标位置是与芯片核心功能、芯片核若所述SRAF特征信息中存在SRAF图形之间位置冲突的冲突信号的电路版图中目标位置缺失对应种类和/或数量的SRAF图形问题的信息，则判定待评估SRAF若所述SRAF特征信息中存在满足版图一致性位置条件的集成电路版图的区域中的若所述SRAF特征信息中存在集成电路版图中非目标位置缺失对应种类和/或数量的若评估效果为所述第一效果评估结果，则输出所述SRAF放置若评估效果为所述第二效果评估结果，则输出所述SRAF放置若评估效果为所述第三效果评估结果，则输出所述SRAF放置7.根据权利要求1至6任一项所述的SRAF放置效果评通过不同等级缺陷问题对应的问题显示方式在输出报告中显示对应等级的SRAF信息，示方式和所述目标SRAF信息对相应的SRAF图信息解析提取模块，用于获取用户编写的SRAF放置规则文件，并对所述效果评估模块，用于利用预设评估规则对所述SRAF特征信息4处理器，用于执行所述计算机程序，以实现如权利要求1至7任一项所述的序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的SRAF放置5程为向版图中增加SRAF(SubResolutionAssistFeature)，SRAF应用于集成电路制造领[0009]识别各SRAF图形在集成电路版图中的坐标信息、所在版图区域，以得到各所述6不同SRAF图形的几何图形特征与对应的SRAF种类的第一映射关系确定所述待分类几何图对应种类和/或数量的SRAF图形问题的第一缺陷评估规则；[0022]设置针对满足版图一致性位置条件的集成电路版图的区域中的SRAF图形之间的[0023]设置针对集成电路版图中非目标位置缺失对应种类和/或数量的SRAF图形问题的建预设评估规则；集成电路版图中目标位置缺失对应种类和/或数量的SRAF图形问题的信息，则判定待评估[0028]若所述SRAF特征信息中存在满足版图一致性位置条件的集成电路版图的区域中[0029]若所述SRAF特征信息中存在集成电路版图中非目标位置缺失对应种类和/或数量7[0035]通过不同等级缺陷问题对应的问题显示方式在输出报告中显示对应等级的SRAF问题显示方式和所述目标SRAF信息对相应的SRAF[0038]效果评估模块，用于利用预设评估规则对所述SRAF特征所述计算机程序被处理器执行时实现前述公开的SRAF放置效果评估方8[0054]EDA软件中的OPC（光学临近效应修正）的前置过程为向版图中增加SRAF(Sub[0059]在一种具体实施方式中，SRAF放置规则文件可以为在进行SRAF放置之前就编写了SRAF之后编写规则。这种情况是基于对初步放置情况的总结和规范，或者是对已放置9前携带对应区域标签的集成电路版图中的版图区域，以得到各所述SRAF图形的位置信息；图形的几何图形特征与对应的SRAF种类的第一映射关系确定所述待分类几何图形特征对号、集成电路版图中目标位置缺失对应种类和/或数量的SRAF图形问题的第一缺陷评估规大于预设阈值的第二缺陷评估规则；设置针对集成电路版图中非目标位置缺失对应种类于对各SRAF特征信息进行评估，具体的，当在版图中生成的SRAF若存在MRC（MaskRule是因为不符合规则的SRA设计在实际的mask制作以及后续光刻过程中，无法准确地将相应规则。[0071]本实施例中，对于一般位置的SRAF图形缺陷检查的第三判定待评估SRAF图形信息符合所述第一缺陷评估规则，得到第一效果评估结果；若所述SRAF特征信息中存在满足版图一致性位置条件的集成电路版图的区域中的SRAF图形之间的差异值大于预设阈值的信息，则判定待评估SRAF图形信息符合所述第二缺陷评估规则，种类和/或数量的SRAF图形问题的信息，则判定待评估SRAF图形信息符合所述第三缺陷评[0073]步骤S13：根据所述效果评估结果输出所述SRAF放置规则文件当前存在的缺陷问户根据所述问题显示方式和所述目标SRAF信息对相应的SRAF[0079]效果评估模块12，用于利用预设评估规则对所述SRAF特征信息分别进行效果评输出所述SRAF放置规则文件当前存在的缺陷问题，并提示用户进行SRAF图形的设计调整。取外界输入数据或向外界输出数据，其具体的接口类型可以根据具体应用需要进行选取，等。处理器21可以采用DSP(DigitalSignalProcessing，数字信号处理)、FPGA(Field-理器是用于对在唤醒状态下的数据进行处理的处理器，也称CPU(CentralProcessing[0087]其中，操作系统221用于管理与控制电子设备20上的各硬件设备以及计算机程序完成其他特定工作的计算机程序。数据223除了可以包括电子设备接收到的由外部设备传软件的可互换性，在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。结合本文中所公开的实施例描述的方法或算法的步骤可以直接用（ElectricallyProgra