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文档简介
用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光本申请公开了一种用于刻蚀机内静电吸盘2端连接所述传输光纤（114）的一端，所述传输光纤（114）的另一端连接所述光耦合模块述荧光信号寿命对应的荧光材料温度。端面镀金厚度为1μm至3μm。厚度以及所述第二端面的镀金厚度均为1μm至3μm。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的利要求1至9中任意一项所述多通道光纤荧光测温器件，所述多通道光纤荧光测温方法包3向所述多通道光纤荧光测温器件的各荧光层同时输出可激发所述荧光层产生荧光的探测所述荧光层反射的荧光信号寿命，并根据荧光寿命与荧光材料温度的映射关系，4[0006]第一方面，本申请提供一种用于刻蚀机内静电吸盘的多并通过真空回流无空洞焊接工艺连接所述荧光层的端面；所述陶瓷套管包覆所述转接光5厚度均为1μm至3μm。[0013]可选地，本申请一些实施例中所述荧光层和所述导热层所述荧光测温头和所述陶瓷套管之间的焊料为向所述多通道光纤荧光测温器件的各荧光层同时输出可激发所述荧光层产生荧本申请实施例提供了一种用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器件及6[0018]图1为本申请实施例提供的一种用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器[0023]请参考图1，其为本申请实施例提供的一种用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤器11可以分别位于静电吸盘2上对应半导体晶圆片3的不同温度区域，测温通道数为4路至71112包括铜金刚石复合材料，耐高低温，测温范围可为一120℃至450℃,以及导热系数为导热层1112的端面镀金厚度为1μm至3μm。面的镀金厚度以及第二端面的镀金厚度均为1μm至3μm，这样设置的好处是能够增大导热[0026]②再如图6所示，陶瓷套管112包覆转接光纤113，转接光纤113的一端与荧光层1111相对设置，陶瓷套管112的端面镀金并通过真空回流无空洞焊接工艺连接荧光测温头焊接使用低温焊接材料，这样设置的好处在于确保第二次焊接不会影响第一次焊接的效中荧光层1111下方的空白区域间隙值为管112靠近传输光纤114的一端设有可与静电吸盘2固定连接的压紧弹簧1121和顶丝1122，接光耦合模块115的第一端，光耦合模块115的第二端连接光电探测模块116，光耦合模块根据荧光寿命与荧光材料温度的映射关系，快速确定出荧光信号寿命对应的荧光材料温8纤荧光测温方法可以用于图1至图7对应实施例的多通道光纤荧光测温器件1。请参考图8，[0035]本申请实施例提供的用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光度只有200℃,有效拓宽了测温范围，并且导热层包括铜金刚石复合材料，其导热系数为9
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