CN119496040A 一种大口径高功率垂直腔面发射激光器及其使用方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）_第1页
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一种大口径高功率垂直腔面发射激光器及本发明涉及一种大口径高功率垂直腔面发现大口径VCSEL，以及限制大功率激光输出的技2形放电电极位于所述出光窗口与所述绝缘层之间，所述环形放电电极的中间作为放电腔，4.根据权利要求1或3所述的一种大口径高功率垂9.一种采用如权利要求1_8任一所述大口径高功率垂直腔面发射激光器的使用方法，3速度快等诸多优点被广泛应用于光纤通信领4P型DBR的多次反射下从等离子体电极一[0014]图1是本发明实施例中大口径高功率垂直腔面发射激光器一种实施方式的示意图4是本发明实施例中大口径高功率垂直腔面发射激光器另一种实施方式的示意没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。所述第二面电极12或所述第一面电极1为等离子体电极，所述等离子体电极以环形放电电5极6击穿放电气体产生的低温等离子体作为电极，所述等离子体电极位于垂直腔面发射激型DBR5以及所述N型DBR3均为GaAs或AlAs[0028]具体的，大口径高功率垂直腔面发射激光器依次包括第一面电极1、衬底2、N型6[0032]根据本发明实施例，提供了一种大口径高功率垂直腔面型DBR3与P型DBR5的多次反射下从等离子体电极一侧输78

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