CN119500022A 一种介质阻挡放电活化sf6制备nf3的装置及制备方法 （湖北工业大学）_第1页
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一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置本发明涉及六氟化硫高效硫降解及资源化源，在DBD等离子体作用下SF6断键分解使NH3与SF6分解产生的低氟硫化物反应，合成目标产物2333度为75℃。6333和SiF4等其他气3204）的减压阀（205保持同轴式DBD反应器4一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的[0004]针对现有技术的不足，本发明提供了一种介质阻挡放电活化SF6所述反应单元与供气单元通过气管连接，所述反应单元与电源单元通过电连接，5[0006]优选的，所述供气单元包括配气仪，所述配气仪进气口通过气管连接有SF6供气混合溶液温度为75℃。3收集罐进行连S4：将混合后的气体送入到同轴式DBD反应器的放电区域进行反应，即可实现对和SiF4等其他气体产物送入至第一冷凝罐和第二冷凝罐6[0011]与现有技术相比，本发明提供了一种介质阻挡放电活化SF6制备[0012]2、该介质阻挡放电活化SF6制备NF3的方法，通过加入还原性气体NH3能有效阻断图2为本发明提出的一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置供气单元结构示意图3为本发明提出的一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置冷凝单元结构示意图4为本发明提出的一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置处理单元结构示意图5为本发明提出的一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置同轴式DBD反应器结3收集7[0020]反应单元1包括有同轴式DBD反应器101，同轴式DBD反应器101由内电极管1011与[0023]处理单元5由碱液处理池501与NF3收集罐502，碱液处理池501顶部由气管与第一度为75℃,管式炉102升温在100℃左右。和SiF4等其他气体产物送入至第一冷凝罐401和第二冷凝罐4028[0028]反应器采用同轴式双层介质阻挡反应器，能实现SF6降解以及合成NF3电子特气。[0029]NH3参与SF6降解时在有效提高降解率的同时对降解产物进行了调控9

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