CN119506796A 一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器 （深圳众诚达应用材料股份有限公司）_第1页
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道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传了一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器，所述喷涂平面靶材的制备方法包括以下步包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡2将靶材粉料热喷涂到所述平面靶材基体的待喷涂面，形成靶材层，制备所述锆钛酸铅造粒粉的步骤包括：将第一制备所述第二锆钛酸铅原料粉的步骤包括：采用载体气体形成高温等离子射流，将靶材粉料导入至高温等离子射34外探测器和微机械等领域。目前，PZT薄膜主要采用溶胶一凝胶、金属有机化学气相沉积现有的PZT平面靶材的制备方法存在生产周期长567采用热喷涂方式时，锆钛酸铅造粒粉和混合造粒粉的粒径与形成的靶材层7的均匀性和致8800nm的第二锆钛酸铅原料粉附着在氧化铅粉表面，从而喷雾造粒得到的混合造粒粉在热喷涂时氧化铅粉可以浸润锆钛酸铅起到粘接作用，提高所制靶材的致密度和粉体的沉积可相互抵消因此现有的热喷涂工艺通常用于制备旋转靶材。然而当靶材基体为平面时，沟槽3和/或台阶4作为抗拉结构，能够使得靶材层7和平面靶材基体1之间除了表面结合力[0041]沟槽3的尺寸影响靶材层7和平面靶材基体1之间的结合作用，若沟槽3的深度过于90°。9[0058]通过使喷枪呈类Z字形路线往返移动，能够靶材粉料覆盖至待喷涂面2的全部表[0060]在实施例中，喷枪距离平面靶材基体1的距离为90~110mm，送粉量为150~250g/通过进行平整化处理以将平面靶材基体1上背离靶材层7的表面上的下锥形6去除，保证平[0075]当合金材料选自以上材料时，一方面与金属材质的平面靶材基体1具有较高的亲和氧化铅粉的质量比55/45；聚乙二醇的添加量为第二锆钛酸铅原料粉和氧化铅粉总质量[0087]7、利用等离子喷涂设备将靶材粉料喷涂到上述准备好的平面靶材基体的待喷涂[0089]9、最后对由于平面靶材基体与靶材层热膨胀系数的差异而产生的下锥形进行平本实施例用于说明本申请提供的喷涂平面靶材的制备方法，包括实施例1中大部本实施例用于说明本申请提供的喷涂平面靶材的制备方法，包括实施例1中大部为第一锆钛酸铅原料粉质量的0.5%，聚乙烯醇的添加量为第一锆钛酸铅原料粉质量的本实施例用于说明本申请提供的喷涂平面靶材的制备方法，包括实施例1中大部本实施例用于说明本申请提供的喷涂平面靶材的制备方法，包括实施例1中大部

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