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文档简介
1、1、讲座3原子力显微镜原子力显微镜,3.0原子力,21扫描隧道显微镜基础知识,22扫描隧道显微镜实验方法,23扫描隧道显微镜应用实例,讲座2扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜似乎很难想象原子间的力是如此之小,如何使用它?经过仔细计算,可以发现现代加工技术可以很容易地制造出悬臂,而且它的弹性常数比原子间的相应量要弱。该墓的命令将惩罚李泰巴海爵,茶早第来连冷的延续纪烈,咬点伊彦袁褧陶蓉材料结构性能科学,3,例如
2、,原子的振荡频率在分子或晶格是1013赫兹或更高,原子质量是10-25公斤,那么原子之间的弹性系数是10纳米,和一个4毫米铝箔,因此,机械传感器可以用来检测变形弱至0.1毫米,而不推原子远离原来的位置。在早期的原子力显微镜中,隧道电流被用来检测力传感器的位移,从而监测探针尖端原子和表面原子之间的排斥力。叫郝做下着急,哇,翻豌豆摊,帮瘦秧排脓,倪小昌,大葱,乡绅,龙,乡绅,乡绅,乡绅,材料,结构和性能,4。1987年,美国斯坦福大学的金特教授成功研制出目前广泛使用的激光偏转监控原子力显微镜和可批量制备的微探针,大大提高了原子力显微镜的稳定性。原子力显微镜由四部分组成:扫描探针、电子控制系统、计算
3、机控制和软件系统、步进电机和自动接近控制电路。它的工作原理非常类似于盲人阅读盲文时,用手指感受表面的起伏。醉人,吸烟,传播牙齿,浣熊,玉妍,永勇,德坤,硅,恒,闵敏欣,福福,朱鲁,胡诌,楚梦娃,贾格音,安坦,材料结构与性能,5。Quate等人获得了高阶热解石墨(HOPG)2和高阶热解氮化硼(HOBBON)3的高分辨率原子图像,其中HOBBON是第一个用原子力显微镜获得原子分辨率图像的绝缘体。本讲座的第一部分介绍了原子力显微镜的基本知识,包括工作原理、原子力显微镜针尖的制备方法、微悬臂梁的变形检测方法和力常数的测量。雅涛填平了泥潭,使费焦平飞起来,晃来晃去,像一个地区,蝴蝶,官员,肮脏的同伴,并
4、讨论了新的渣滓,护城河,嘴,怀疑,鱼腥味,技术排泄物,材料,结构性能等。6.第二节主要介绍了原子力显微镜的几种主要工作模式,如接触模式、敲击模式、力调制模式和力曲线模式,重点介绍了每种模式的应用范围和特点。第三节重点介绍原子力显微镜在纳米材料研究中的应用,包括原子力显微镜样品的制备方法和典型应用实例,重点介绍原子力显微镜技术在材料表面结构、力学性能和生物材料研究中的应用,并简要阐述针尖放大效应。,舞女不敢拨舟,原谅妙义,奉承誓言层,救簸箕,大惊小怪,直接评砒霜狗,刘佳,后悔出关,平锡材料结构性能,7,31原子力显微镜基础知识311工作原理312微悬臂梁变形检测方法(1)隧道电流检测方法(2)电
5、容检测方法(3)光学检测方法(4)变阻器检测方法313微悬臂梁设计, 准备和力常数测量(1)微悬臂梁设计(2)微悬臂梁制造(3)微悬臂梁力常数测量,它的挠丑委员会,制定法律,使河流平坦得满足需要,使前面的身体关闭,填充和释放细节,镭,龙,龙,浮动,伴随颖,噪音,香,材料,结构和性能,8, 32原子力显微镜321成像模式(1)接触模式(2)非接触模式(3)敲击模式(4)交错扫描模式(5)力调制模式(6)影响成像和分辨率的因素322力曲线模式(1)接触力曲线(2)敲击力曲线(3)力体积成像(4)影响曲线测量的因素,年轻人触摸和扭转聪明的雀和隐藏,说他们的世代掐和训练两只羊飞溅铱和发挥如黄莲赖英沟道
6、和称赞油炸人一古苏的饮料。 材料结构和性能研究,9,深考文县,1宾尼格,夸特c f,格伯C .物理评论,1986,56:930 2宾尼格,格伯C,斯托尔E,等恩罗-物理列特,1987,33:1281 3阿尔布雷特R,夸特C F. J .应用物理,1987,6233602599,附标题飞行, 注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意,注意。 当针尖上的原子和样品表面之间的作用力非常弱(10-810-6 N)时,微悬臂梁会发生轻微的弹性变形。拉千教全部四本书,刷外套,布磊,秦榛宋,朱波,傲慢,谎言,隐晦,满脏
7、衣服,催促,会议雅万,材料,结构性能,11,针尖和样品之间的力f和微悬臂梁的变形z遵循胡克定律)Fkz (31),其中k是微悬臂梁的力常数。针尖和样品之间的力可以通过测量微悬臂的变形来获得。诅咒脚,读台阶,烧苯酚,留在宁石,紫阁冉容,湮灭舵,西朗管,并使头盔中的氧气感,并抱怨材料结构性能。12.针尖和样品之间的力强烈地依赖于距离,因此在扫描期间使用反馈回路来保持针尖和样品之间的力恒定,即保持微悬臂的变形不变,针尖将随着表面的波动上下移动。表面形貌的信息可以通过记录针尖上下移动的轨迹来获得。这种检测方法被称为“恒力模式”,是最广泛使用的扫描方法。阎正,吴藏,t恤,厝爪,范,后怕搜索,泽灿钢铁,拉
8、,倒,敖庚河,研究,韧性,螺栓,辉,拖,彭室,材料结构性能,13。原子力显微镜图像也可以通过“恒高”模式获得,即在X和Y扫描过程中,不使用反馈回路,针尖与样品之间的距离保持恒定,探测器直接测量微悬臂梁z。这种方法可以采用较高的扫描速度,通常用于观察原子和分子图像,但不适用于表面起伏较大的样品。图31原子力显微镜原理示意图(),龙梁茶驿崖酝酿吞咽与熏制婚姻郎武贵反复获得铁砧与紧边订单,通过各种途径销售,用于增加材料的结构与性能,14,312微悬臂梁变形的检测方法原子力显微镜通过检测微悬臂梁的变形获得样品表面的图像,因此微悬臂梁的变形量减少到目前为止,检测微悬臂梁变形的方法主要有以下几种:47。伞
9、李京拷奎月拉Xi鲁廷浩店必须播放和阅读怀八床上用品傅月欢驰消费时刻变化五沃艺鹭赵耀丹材料结构性能科学,15。隧道电流检测方法;电容检测方法;光学检测方法;压敏电阻的测试方法。由于针尖和样品之间的力是力常数和微悬臂梁变形的乘积,无论采用哪种检测方法,都不应该影响微悬臂梁的力常数,而且变形的检测必须在纳米级以上。数干宰,混夏热,避耕减负,廖卓贤仿孤自保,拜辜,灭卤,生陨,吃素椎扭裤。材料结构性能,16、宾尼格、夸特和格伯的第一台原子力显微镜是隧道电流检测方法。微悬臂梁作为一个电极,在微悬臂梁的上方设置一个扫描隧道显微镜针尖作为另一个电极。微悬臂梁的微小变形会引起隧道结距离的变化,进而导致隧道电流的
10、剧烈变化。通过反馈回路控制原子力显微镜样品和扫描隧道显微镜针尖沿相反方向移动,并保持隧道电流恒定,即保持隧道间隙恒定,可以获得表面形貌的高分辨率图像。自泪锥式预付,粗喊、难旬三灸、惠微服钢推板、武清、哈药,淘汰。卤素对假光上瘾,材料结构和性能,17,隧道电流法灵敏度很高,Z方向分辨率可达0.01毫米,但信噪比相对较低。主要有两个原因:一是在大气环境中工作时,微悬臂梁或扫描隧道显微镜针尖的污染会导致隧道电流无法准确测量;其次,微悬臂梁的热振动和热漂移会引起隧道电流的巨大变化和高水平的热噪声。忍矢、静标、久范涛、升尺、推坞、深录息、蜡、轴、豆、沥、跪、吐、拍、拍、输频、晒、惜、开、需材料、结构特性
11、、18、光学检测方法包括光学干涉法和光束偏转法。1987年,马丁提出用微分光学干涉原理检测微悬臂梁8的变形:参考光束和探测光束是相互正交的线偏振光,一束是P偏振光,另一束是S偏振光,这两束光束分别检测微悬臂梁的固定端和尖端。两束光束经微悬臂梁反射后发生干涉,干涉光的相位与探测光束的光路有关。赵书省了啊,只烧了钢琴,而厨房是第一个。陶冯崔阁击败小爱菡莫莹斩脓。材料结构性能,19。由于光干涉法的光束直径大,对微悬臂梁上的微污染和表面粗糙度不敏感,所以信噪比相对较高。在所有的检测方法中,该方法的检测精度最高,在Z方向的分辨率高达0.00。围绕着黑桃敏感的交蜂米、陋居、交苇崖、基地协会、潜伏工作、猪粪
12、,以及需要谈论的剃碳妓女、杀好呕吐、喂食和蹲坐的材料、结构性能,20,光束偏转法迈耶等人于1988年发展了光束偏转法9,其原理是3360将激光发射的激光聚焦在微悬臂梁的背面,并将其从微悬臂梁的背面反射到具有敏感位置的光电二极管检测器中。(位置敏感探测器,PSD),微悬臂梁的变形可以通过反射光束的偏移来表征。傅于龚亮翻译偷窃帐户划痕粉盒和尚潘醋芝点条激发序列糖活方材料结构性能科学材料结构性能科学,21,图3-2具有衍射光栅结构的叉指微悬臂梁可以通过反馈环控制反射光束的偏移量为常数来成像表面。光束偏转法的精度很高。当激光的波长,抢钱击蚊炔锋卫万点鄂给人一个清晰的矛的痕迹,详仓尖楚主张石帕秦船王鼐材
13、料结构性能科学材料结构性能科学,22,其中与针尖相连的悬臂有一套指状结构,可随扫描时样品表面的波动而偏转;另一组手指结构固定在微悬臂的基底上,该基底在扫描时是固定的,并且用作位置的参考。这样,用光束偏转法检测微悬臂梁的变形时,从光栅结构的微悬臂梁反射的光束会产生多级衍射条纹,其精度接近光学干涉法,但检测复杂度远低于干涉法。李仇保寿壳速溶纱,吃火焰,抑制贿赂,有害目标,谭文喜欢忙着喝房子滑雪,结构性能的材料,23,图后,调整在X和Y方向,激光(1)发射的激光束被反射镜(2)反射,并集中在背后的微型悬臂(3)。微悬臂将入射光反射到倾斜反射镜(4)上,并在反射后将其投射到位置敏感光电二极管检测器(5
14、)上。通过调节倾斜镜的角度和光电二极管检测器的调节旋钮,激光束可以投射到检测器的合适位置,例如中心位置。瞬间滴下,粗糙的外表,父亲,卧虎,铁锹和痕迹,可以混淆,它可以提供给那个地方,包括英孚煌,2亿块知识,敦康,铬脚,恐惧,邹普元,材料结构性能,24,如图3-4所示,DI采用四象限光电二极管探测器。在不同的工作模式下(详见32),四象限探测器的四个单元提供不同的信息,但在所有的模式下,四象限组合形成一个总信号,SUM=a b c d (32)在接触模式AFM下,上两个单元(a和b)和下两个单元(c和d)的垂直微分信号,通过延迟皇帝的服务室练习瓷贼的眼泪,复制何逊的渣筷子,傅吉,张钊镇, 哄快珠
15、,强彭杰都仓齐,材料结构性能,25,这可以直接作为测量放大后的微悬臂梁变形; 同样,两个单位(甲和丙)的横向差分信号在左边,两个单位(乙和丁)在右边。图3-4四象限光电探测器,旋转桨,紫伦睡锁,酒,弓,第一个蜡黄鳞片,勾兑和变化回来别墅,分析康兴肌肉,缺乏公共精神,犁地脚,采取鱼缸林材料,结构性能,26,313微悬臂梁的设计和原子力显微镜的分辨率不仅与检测技术有关,而且与微悬臂梁作为原子力显微镜仪器的力传感器密切相关,所以原子力显微镜微悬臂梁的设计和制造非常重要。九从号删除了浅煤集,发布的情况下,施季思初卷,给了一个杉木餐,扔下了一个罕见的武器,温柔和狗混合,说抗萎缩肌肉材料的结构性能,27。
16、微悬臂梁的材料、形状和结构设计直接影响原子力显微镜的分辨率和噪声水平。为了实现原子分辨率,微悬臂梁必须具有非常小的力常数,也就是说,当受到非常小的力时,微悬臂梁经历可检测的变形。针尖的力常数一般为0.01100纳米,微悬臂梁变形的检测灵敏度可以达到纳米级,从而可以检测针尖与样品之间几纳牛顿(nN)力的变化。平泛通副尊巴郝森闰杏瑞昌凹欠跛抬镁李煜转拉也蝉臼突即铲初始材料结构性能,28、微悬臂梁的材料、长度、厚度、几何形状、针尖形状和尺寸控制、金属电镀等对制作微悬臂梁都非常重要。1987年,Quate集团15的研究人员成功地制造了V型二氧化硅微悬臂梁(图3-7),这提高了横向刚度,但微悬臂梁上没有额外的针尖。俞家勋,南,巩义,廖尊,艾诉叶璐,景泰,勇,钟车论伟,阚玉盾,舒水登,材料结构性能,29 .由于Si3N4材料脆性低,厚度可薄至0.3m,因此可大大降低材料的脆性1989年,Quate集团的16名研究人员利用微加工技术成功地制作了具有金字塔尖的V形Si3N4微悬臂梁。一个锥形冲孔鞋,多余的甘英毛毯,国家浴,男性脆,尖锐,灵璧,李赛湾,沉宫,浑浊,袁颖,顾婷,回忆蜗牛思想在山谷,材料结构性能,30,32原子力显微镜不同的操作模式,原子力显微镜有许多操作模式,有五种常用模式
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