半导体工厂超纯水简报.pptx

1、半导体工厂超纯简报，段宜恩，22/朱莉。/2014，总工，元帅，1。自来水原从泵向中央发电站(CUB)抽水。CUB是半导体工厂的心脏，工程用水力空调化学物质等一般在这里输出。操作参数：原水的一般水量为195m/h，最大水量为250m/h，水压3bar。多介质过滤器(MMF/砂过滤器)，1 .在元首中添加10%NaOCl，然后通过换热器再次添加10%PAC，进入多介质过滤器。桶里有石英砂和无烟煤。3 .风扇安装，定期反冲洗。用途：主要去除不溶解的悬浮颗粒和胶体离合器。工作参数：最高250m/h，压力1.5bar，温度20-20。FRP罐(FRP罐)，1 .将过滤水回收成FRP罐。2 .过滤器箱前

2、面有两套泵(每套两个)，一套用于半清洁，一套用于给ACF活性炭过滤器供水。桶直径5米，桶高5米。操作参数：出口压力为7bar，温度为20-30。MEBO Rui biofilm技术南通有限公司，活性炭过滤器(ACF/碳过滤器)，1 .3、颗粒活性炭的内部填充。2.这个过滤器分为精尺和反冲洗，将精冷用水回收到废水处理站，将水作为过滤水生产。用途：重新处理不溶于水的悬浮粒子和胶体离合器。操作参数：生产数量200-260m/h，出口压力6bar，温度20-30。负离子交换器，1 .ACF出水首先通过负离子桶(CIX)和HCl处理负离子桶(AIX)和NaOH，CIX和AIX可以单独运行。用途：处理水中

3、的阴阳离子。2.把水冲洗到滤罐里，把再生水放到废水池里，水就是去离子水。操作参数：生产数量为207m/h，压力为3bar，温度为20-30。安全筛选器(SFL)，1。去离子水加30%NaOH进入安全过滤器。2.水是去离子水。用途：微滤器用后端保护膜，不符合规定的水质和频繁清洁会影响罗膜的寿命和成本提高。操作参数：280m/h，出口压力2.6bar，温度21-30。反渗透膜(ROmembrane)，1 .RO是全水处理的核心。2.标准生产水进入RO罐，标准生产水进入过滤器罐，浓水进入废水罐。3.水生产是反渗透投手。操作参数：248m/h的水生产，2bar的水压力，温度21-30；浓缩物的量为18

4、m/h，出水压力为2bar，温度为24-30。RO罐，1 .坦克使用玻璃钢材料，并用氮气密封。2 .RO水箱有3套泵输出，UV供水组，阴阳离子交换器组冲洗水，冷凝装置组供水。操作参数：水分产量为185m/h，出口为6bar，温度为21-30。MEBO Rui biofilm技术南通有限公司，紫外线丰口惠设备(UV设备)，1 .两组，一组，一组44和uv灯。2.出水是反渗透产品。用途：杀死水中的微生物，减少有机物含量。操作参数：水分产量为185m/h，径流压力为5.5bar，操作温度为26。第一混合床，1 .内置负离子裴秀智和阳离子裴秀智。用途：全面去除水中的阴阳离子，电阻率从4m/cm上升到1

5、7-18m/cm。2 .定期再生混合床，使用HCl和NaOH。3 .再生水进入废水池，洗涤水进入过滤池，水是纯净水。操作参数：产量为185m/h，出口压力为4bar，温度为23-30。取出胶片(MD)，1。由两个真空泵和12个壳体组成。2 .水从上往下流，气体从下往上流，主要气体是CO2和N2。水进入纯净的水箱。操作参数：水产量为180m/h，出口水压为1.5bar，温度为21-30。美波瑞生物制品技术南通有限公司，纯水罐，1 .玻璃钢材料、内衬PP、氮密封。有泵输出集，输出水是纯净水。操作参数：230m/h的水生产，8.5bar的出口水压，温度为22-30。冷开关，1 .纯净水进入开关，温度

6、降低到5。2 .水是纯净水，进入UV设备。操作参数：230m/h的水生产，7.5bar的出口水压。MEBO Rui biofilm技术南通有限公司，UV设备，1 .3套uv丰口惠器，每个群组44盏灯。2 .出水以纯净水进入增压泵。3 .在恒温5环境下工作。用途：再次杀死水中的细菌，减少有机物含量。工作参数：230m/h，水压7.5bar .抛光混合床(MBP)，1 .树脂是一次性的，使用后不需要再生。2 .水进入超纯水，超滤装置。用途：进一步降低水的阴阳离子含量，将电导率提高到18m/cm以上。操作参数：生产数量190m/h，径流水压9bar，纯水箱10m/h，水压3bar。超滤(UF)，1 .分为两组的研磨搅拌机将水排出两次，一条路直接进入超滤，另一条路将水温作为热交换提高到65-75，再