洁净系统型式.ppt

1、潔淨系統型式 1,潔淨工程技術講座,潔淨系統型式,潔淨系統型式 2,大綱,潔淨系統型式 風管系統 FFU系統 軸流風機系統,大型電子廠架構 電子廠概念圖 MAU與空氣循環系統,潔淨室型式 亂流式 水平層流式 垂直層流式 混流式 隧道式 包裹式 標準機器介面式,潔淨系統型式 3,潔淨室型式,亂流式 以潔淨空氣來沖淡潔淨室之污染物 水平層流式 以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物 垂直層流式 以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物 混流式 包括亂流式與層流式 隧道式 隔離製程空間與維修空間 包裹式 隔離製程設備（準微環境式） 標準機器介面式 隔離製程設備（微環境式）,潔淨系統型式 4,亂流式潔淨室,可採風管系統

2、或FFU系統,潔淨空氣必須分佈至所有角落,以潔淨空氣沖淡潔淨室之污染物,適用在Class 100或較不嚴謹之潔淨室,潔淨系統型式 5,水平層流式潔淨室,潔淨空氣下游空間之污染物濃度較高,以潔淨空氣推排潔淨室之污染物,適用在醫院手術室等場所,潔淨系統型式 6,垂直層流式潔淨室,可採FFU系統或軸流風機系統,必須要求潔淨空氣之氣流平行度,以潔淨空氣置換潔淨室之污染物,適用在Class 10或更嚴謹之潔淨室,潔淨系統型式 7,混流式潔淨室,可採FFU系統或軸流風機系統,沖淡,Class100或Class1k,Class10或Class1,Class100或Class1k,沖淡,置換,潔淨系統型式 8

3、,隧道式潔淨室,可採FFU系統或軸流風機系統,稀釋,Class1k,Class10或Class1,置換,置換,潔淨系統型式 9,包裹式潔淨室,可採FFU系統或軸流風機系統,稀釋,Class1k,Class 0.1,稀釋,置換,Class1k,準微環境室,潔淨系統型式 10,標準機器介面式潔淨室 A,可採FFU系統或軸流風機系統,稀釋,Class1k,Class 0.01,稀釋,置換,Class1k,微環境室,潔淨系統型式 11,標準機器介面式潔淨室 B,可採FFU系統或軸流風機系統,稀釋,Class1k,Class 0.01,稀釋,置換,Class1k,微環境室,稀釋,置換,潔淨系統型式 12

4、,潔淨系統型式,風管系統 FFU系統 軸流風機系統,以風管輸送潔淨空氣 循環空調箱兼處理外氣,天花空間為正壓氣室 獨立設置外氣空調箱,天花空間為微負壓氣室 獨立設置外氣空調箱,示意圖,示意圖,示意圖,潔淨系統型式 13,風管系統 (循環空調箱兼處理外氣),潔淨度、溫度及濕度控制,潔淨系統型式 14,FFU系統 (獨立設置外氣空調箱),潔淨度控制,溫度控制,濕度控制,溫度控制,潔淨系統型式 15,軸流風機系統 (獨立設置外氣空調箱),潔淨度控制,溫度控制,溫度控制,濕度控制,潔淨系統型式 16,大型電子廠架構,電子廠概念圖 平面概念圖 剖面概念圖,MAU與空氣循環系統 MAU 潔淨室熱源分佈 空

5、氣循環系統,潔淨系統型式 17,電子廠平面配置概念圖,潔淨系統型式 18,電子廠剖面概念圖,潔淨系統型式 19,MAU + 空氣循環系統,MAU功能 壓力之控制 濕度之控制 外氣微塵粒之預處理 氣狀污染物之控制,空氣循環系統功能 潔淨度之控制 溫度之控制 濕度之維持 氣狀污染物之控制,空氣循環系統,MAU,潔淨系統型式 20,外氣處理空調箱,潔淨系統型式 21,空氣循環系統,FFU系統 壓力分佈 天花板構造 乾式 排煙系統 洩漏 結露 溫度分佈與控制,軸流風機系統 壓力分佈 天花板構造 濕式 排煙系統 洩漏 潔淨度 溫度分佈與控制,謝謝指教！,潔淨室熱源分佈,潔淨系統型式 22,潔淨室熱源分佈,潔淨系統型式 23,FFU系統示意圖,潔淨系統型式 24,FFU系統排煙,潔淨系統型式 25,軸流風車系統示意圖,潔淨系統型式 26,軸流風車系統排煙,潔淨