PVD镀膜培训.ppt

1、 E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,客户技术培训指南,基础篇, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,培训内容,气相沉积技术简介 丹普公司设备简介 安全、规范操作的注意事项 设备的基本结构 设备的基本操作 设备的基本维护 异常处理, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,气相沉积技术简介,气相沉积技术属于固体表面科学的一个分支，是高新技术的重要组成部分之一。 气相沉积技术可以获得微米级、纳米级的单层或

2、多层的新材料，获得具有特殊物理性能、化学性能、力学性能的且与基材的结构、性能不同的新材料。 气相沉积技术应用范围广泛，如：太阳能集热管、太阳能电池、半导体器件、光学器件、建筑和汽车挡风玻璃、工模具超硬涂层、卫生洁具、手表等的装饰层等各个领域具有相当大的生产规模。 在我国，目前直接或间接从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者人数很多，跨轻工、机械、电子、能源、材料、信息、航空航天等各个行业，而且这支队伍正在迅速扩大。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,气相沉积技术概述,气相沉积技术包括： 化学气相沉积（Chemical V

3、apor Deposition 简称CVD） 物理气相沉积（Physical Vapor Deposition 简称PVD） 等离子体增强化学气相沉积 （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 简称PECVD）, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,物理气相沉积（PVD）,定义：物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。沉积过程是在真空或低气压气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的。涂层的物质源是固态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固体物质涂层。 分类：

4、 PVD,真空蒸镀：电阻蒸发镀、电子枪蒸发镀、激光蒸发镀、感应加热蒸发镀等,溅射镀：二极型溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射、离子束溅射等,离子镀：空心阴极离子镀（HCD）、阴极电弧离子镀、热阴极离子镀等, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,离子镀（IP）,离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀两种镀膜技术基础上发展起来的新技术。将各种气体放电方式引入气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行。离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。 离子镀特点：镀膜时

5、，工件（基片）带负偏压，工件始终受到高能离子的轰击。所形成膜层的膜-基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能力高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,磁控溅射镀（）,磁控溅射镀属于辉光放电范畴，利用阴极溅射原理进行镀膜。膜层粒子来源于辉光放电中，氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射作用。氩离子将靶材原子溅射下来后，沉积到工件上形成所需膜层。 磁控溅射英文名称Magnetron sputtering，磁控溅射多用于沉积功能膜，一般工件不需要加偏压。而在沉积硬质图

6、层时，则工件上需要接负偏压电源，成为磁控溅射离子镀或偏压溅射。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,丹普公司设备简介,丹普公司从2000年成立开始，在短短的8年时间里，开发出ProPower、AS和NT三个系列的计算机自动控制离子镀膜机。 针对用户在实际使用设备时出现的问题和开发镀膜工艺过程中提出的要求，公司技术人员对设备各个部分进行了坚持不懈的改进和完善：增加和完善设备运行状态的实时检测，提高设备运行的稳定性、精确性和可靠性，提高设备的整体安全性和易维护性。 2002年在意大利普罗泰克表面技术有限公司的协助和支持下，丹普公司

7、终于使得Propower和AS两个系列离子镀膜机完全达到了欧洲的CE标准，获得了进入欧洲共同市场的准入证。 目前，丹普公司的镀膜设备以其鲜明的特点展现在国际国内市场上。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,丹普公司设备主要特点,从机械和电器的设计开始，整个设备的设计和生产严格按照欧洲的CE安全标准和规范执行。采用高质量进口关键元器件，最终确保设备运行的稳定性和可靠性。注重设备的易维护性，减少日常维护时间。 所有的AS、ProPower和NT系列离子镀膜机均采用了PLC(下位机)+ IPC（上位机）的计算机自动控制结构。中央控制

8、柜上配有完备的手动控制面板、按钮和仪表。十分友好和简单的IPC用户界面提供：镀膜工艺菜单的准备和管理；设备实时监控和报警帮助；物理参数实时自动纪录，等等。整个镀膜系统具有极好的运行可靠性、过程控制的精度、镀制膜层质量的一 致性和色泽的重复性。 多项丹普的专利技术和独有技术，保证各种膜层的应用，达到最佳的镀膜效果。（以后会提到）, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,安全、规范操作的注意事项（1）,由于安全的原因和CE规范的要求，要始终关闭并锁好所有中央控制柜、电源柜、真空室底架以及服务柜的门，要关闭并装好其上所有的盖板。 设备操

9、作人员不能打开和拆卸所有电源、中央控制柜、真空室底架、电缆连接箱上的盖板，还有位于设备顶盖上的转架盖以及转架电机和所有的电机终端箱。 如果需要维护，首先要关闭中央控制柜前面板上的空气开关，然后才能打开它的前门或拆卸它的护板，以及服务柜上的电气连接箱的侧门，真空底架上的盖板，还有所有泵电机上的电缆接线盒； 真空室两侧护板、真空室底架侧板上以及转架罩上都有警告标识：高压、380vAC或220vAC。首先要先关闭功率输出控制板（A2）上和它们相关的电源柜上的空开，才能打开它们的前门或盖板。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,安全、

10、规范操作的注意事项（2）,维护人员还要小心功率输出板下方UPS上的220vAC输出电。当总电源被切断后，UPS仍能持续送电10分钟或更长的时间。所有经UPS输出的端子上都带有特殊的220vAC的警告标志，这点已经在设备说明书的安全事由中特别说明。 不允许因为任何原因而更改PLC应用程序，如果应用程序中有任何问题，请与丹普联系。 如果发现有任何的异常状况，在不十分确定的情况下，一定要立即联系丹普公司的售后服务部门。丹普的售后服务工程师会在最短的时间内给出正确的处理意见，帮助解决问题。一定不可擅自改变设备的结构等，使得小问题变为大问题，造成额外的损失。 其他事项请严格按照设备使用说明书的要求执行，

11、因任何不符合说明书要求引起的设备损坏，丹普公司有权不进行保修服务。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,设备的基本结构,真空系统 反应气体供气系统 冷却水系统 压缩空气系统, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,丹普公司设备真空系统示意图,真空系统, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空获得（泵）系统,常用的几种泵 粗抽泵：LEYBOLD公司的SV200、SV300 罗茨泵：LEYBOLD公司

12、的WAU501、WAU1001 上海翠曼公司的RTO.150S 前级泵：LEYBOLD公司的D16C 北仪优成公司的TRP-24 分子泵：KYKY公司的FD400-3500 LEYBOLD公司的T1600 VARIAN公司的Turbo-V 2K-G, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,粗抽泵（SV200、SV300）,（请仔细阅读产品使用说明书） SV200和SV300是由德国莱宝公司生产的单极油封式旋片机械真空泵。可以在大气条件下或任何真空条件下工作，但是他们只能抽至低真空。 电机接线后以及每当更换接线后，要检查电机的旋转方

13、向，电机的旋转方向要与电机罩上的方向箭头一致。检查时应打开出气口。如果要修改泵的旋转方向，切断电源，互换任意两相接线即可。 为避免电机超载，在1小时内启动泵的次数不得超过6次。 建议：当真空室含有较多水气时，可让泵空转20分钟左右，待泵温升高后再抽真空，可避免或减少水气在泵内的凝结。 操作者应使泵腔内的泵油始终保持处于油窗范围内，运行中的泵油位必须始终位于油位玻璃窗的中间位置。一般来说油是清澈透明的，如果油变的特别黑（脏了）或淡牛奶色（混入了水），应该更换油。 按照随机说明书对泵进行定期换油保养。首次换油大约在运行150小时后进行，以后相继的换油大约在运行1000小时或3个月后进行，特别注意更

14、换的泵油必须与机械泵的型号相符合。SOGEVAC应使用LEYBOLD公司提供的GS77油，或上海惠丰公司HFV-A200油。 如果任何一个机械泵有异常的声音，要求一个有经验的技术人员要能立即诊断并发现问题，报告给丹普公司，操作人员不建议自行进行机械泵泵体的维修或维护。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,换油的步骤,一定要在停泵后仍处于工作温度时换油。 具体步骤： 停止设备，切断电源； 拧掉排油螺栓，让用过的油排入适当的容器； 放油时当油量减少时，将排油螺栓拧上，短暂启动泵（10秒以内），然后把泵停掉； 再将排油螺栓拧掉，排除

15、剩余的油； 重新装好排油螺栓（检查O型圈，必要时用新的更换它）； 打开注油螺栓，注入新油至油位窗下边缘，让泵短时间运转，以便用充入的新油冲洗泵，然后再把油放掉； 再注入新油，油位大约在油位窗中间靠上位置，然后拧紧注油螺栓； 开启设备，启动泵运行20分钟，观察油位窗，油位大约在油位窗中间位置为宜。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,前级泵（D16C、TRP-24）,前级泵的开启由分子泵的启动按钮“TURBO控制，当按下分子泵TURBO按钮，预加速分子泵时，前级泵即启动，抽分子泵的前级真空。 前级泵的关闭由LOCK开关控制，当关

16、闭、降速分子泵时，前级泵还会继续工作一段时间，然后设备会自动切断前级泵，或者您可以手动关闭LOCK开关，切断前级泵。 维护的要点及换油的步骤请参照粗抽泵的相关项目。 注意：我们设备的前级泵一般要求使用LEYBOLD公司的N62油，或者上海惠丰公司的HFV-M200油。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,罗茨泵（WAU501、1001、RTO.150S）, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,罗茨泵（WAU501、1001、RTO.150S）,罗茨泵的主要意义是

17、，在一定的压强范围内（1Pa）有相当大的抽气速率。在这个范围中，机械泵的抽速很小，而分子泵和扩散泵还只刚刚开始工作，所以用它来解决机械泵和分子泵、扩散泵抽气速率脱节的问题。罗茨泵被用来加快抽真空的过程。由于可凝性气体对泵没有影响，所以在潮湿的夏季里，在低真空阶段，罗茨泵要比单用旋片机械泵更有效的排出真空室里的水汽。 它由一个变频器（FIP2）驱动按预设的旋转速度加快整个过程（专利技术）。运用这一技术，罗茨泵可以更平稳、更有效地工作，并延长使用寿命。（只针对RTO.150S）, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,罗茨泵（WAU5

18、01、1001、RTO.150S）,注意事项： 从变频器连接到泵电机上的四芯输出电缆是标准电缆。根据CE规范，如果最终用户想延长电缆长度，必须要征得设备制造商得许可。 罗茨泵由一个变频器（FIP2）驱动，同时FIP2电源输入端已被安装了一个过滤器（FIL2）。功率输出控制板A2上有用于控制FIP2的空开。 如果罗茨泵出现了问题，FIP2将向PLC传送警报信号，并立即互锁电源输出。PLC将发出警报。当罗茨泵不能正常工作时，高真空阀（V3）自动锁定，不能打开。 WAU型号罗茨泵有两处润滑油，分别为：轴封箱和油杯，正确油位：泵冷却时，油杯的油位必须在1/3高度，否则按要求加油。泵为卧式时，油位应在中

19、间，请仔细按照泵体标牌上指示操作。强烈要求：莱宝罗茨泵使用LEYBOLD公司的N62油或上海惠丰公司的HFV-M200油。 上海翠蔓罗茨泵使用上海惠丰公司的HFV-A200油。 如果出现了异常的声音或杯中润滑油消耗时间小于2周，要求有经验技术人员能够立即判断并发现问题，及时通知设备制造方，保证及时的适当维护和保养。操作人员不建议自行进行罗茨泵泵体的维修或维护。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,分子泵及电源,分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流状态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到

20、逐级压缩，最后被抽除。 涡轮分子泵受控于中央控制柜主控面板上的TURBO按钮。分子泵和扩散泵类似，需要开机加速（预热）和关机减速（冷却）时间，两个时间分别为20和30分钟左右。具体参考相关使用说明书。 LEYBOLD公司的T1600型和VARIAN公司的2K-G型分子泵没有独立的驱动电源； KYKY公司FD400-3500型分子泵配有独立的驱动电源，并且老型号的电源，如FD3500K还需要配有专门的UPS，新型号的电源，如FD-则不需要配有UPS。 注意涡轮分子泵的泵芯工作时高速转动，分子泵的法兰必须紧固好！ 分子泵不能在强磁场环境中使用，分子泵告诉运转的转子会产生“涡流”，导致分子泵发热、转

21、速降低。 无论分子泵电源故障或分子泵加速时间过长造成的报警，都会传送信号到PLC，前者会导致分子泵电源开始减速停机，后者只是报警。警报将响起4秒，“TURBO”指示灯交替闪烁红绿颜色，“SYSTEM”警告指示灯也亮起。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,分子泵及电源,KYKY公司的FD400-3500型分子泵轴承润滑方式为油润滑，一般情况下，油润滑的分子泵只能竖直安装，具体技术指标请参考产品说明书。 更换润滑油时要严格按照油杯刻度线的要求进行添加，过多的润滑油可能造成部分油进入到泵体内，对分子泵造成损害。, E-mail:

22、TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空泵油的选择和使用,真空行业规定了选片泵、直联泵、滑阀泵等产品的极限压力质量分等标准。要想保证极限分压力达标必须选用相应质量分等标准的泵油。选择不当，会造成泵性能可靠性的不稳定，我们建议尽量选用泵厂自己制定的专用泵油。 使用油品的注意事项： （1）盛装油品的容器必须清洁干净，严禁在阳光下暴晒和露天存放，应存放在阴暗、干燥、通风和温度不高处，并严防水分、杂质和尘土的混入。 （2）取油或装油时，桶盖周围的尘土必须除尽，防止杂物混入油中，引起泵的磨损，加油工具要专用，不建议使用盛过其他油品或溶剂的容器。 （3）不

23、同牌号、品种的真空泵油不宜混用，新、旧油品不能混用。 （4）真空泵油应严格避免与其他润滑油混合，更不能混入轻质油品，否则将严重影响真空性能。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空测量系统,真空的概念是指压力低于一个大气压的任何气体状态，一般用真空度来表征真空，量度真空是以压强来量度的，压强高表示真空度低，压强低表示真空度高。 随着真空度的提高，“真空”的性质逐渐发生变化，经历着气体分子数的量变到“真空”的质变的若干过程， 构成了“真空”的不同区域，常把真空划分为：粗真空、低真空、高真空和超高真空四个区域。, E-mail:

24、 TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空测量系统,真空计是用来测量真空度的一种装置，真空计按照不同的原理和结构分为好多种，下面简单介绍下我们使用的两种真空计。 热电偶真空计：热偶真空计属于热真空计的一种，是基于低压强下的热传导和压强有关的工作原理，即当压强较高时，气体传导的热量与压强无关，当压强降到低真空时，则与压强成正比。用热电偶测量温度变化引起电动势变化的真空计叫做热电偶真空计。 电离真空计：电离真空计是通过使气体分子电离,测量离子数量而得出压力的真空计,被用于高真空至超高真空领域,定量性能优异。 我们使用的复合真空计（HY9940-1B

25、）上装一个独立的热偶规管（单）用来监测分子泵出口真空度，通过它真空数据将显示在左测的窗口内。另外一个真空规管组合（一个热偶规管（复）和一个电离规管）用来监测真空室内从1103Pa到10-4Pa期间的真空度，真空度数据将显示在右侧窗口内。 需了解HY9940-1B型复合真空计的简单故障的判断、处理和校准等更多信息请参考HY9940-1B双热偶复合真空计使用说明书。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空系统的检漏,漏率的定义和单位： 针对于一个体积V不变的容器，单位时间t内压力的变化量P与该容器体积V的乘积就是 漏率： Qle

26、ak=VP/t 漏率的常用单位：Pam3/s , mbarL/s , TorrL/s 漏率其实反应的是在一定时间内泄露的气体分子的数量，严格的讲，没有泄露的系统是不 存在的。 因此，检漏的目的在于：将泄露降低到一个可以接受的，不影响系统正常运行的程度。 简单介绍几种检漏的方法及应用 （1）气泡法检漏 将打压后的被测件浸在水槽里，或者采用肥皂泡法，气泡可以反应漏率的大小，此方法 通常用来检测一些小物品。例如：工艺气瓶的检漏、布气板的检漏、磁控靶靶体的检漏，弧 源水冷座的检漏，有时候也用作真空室水冷套的检漏等，总之可以灵活运用，虽然不能定量 的检测出漏率的大小，但是可以帮助我们判断是否存在漏点，是

27、一种非常简易而又有效的检 漏方法。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,真空系统的检漏,（2）压降法检漏 将被测件加正压或者抽真空到一定压力，然后关闭阀门，通过真空计观察单位时间内 的压力变化。采用抽真空的压降法可以作为对漏率大小的评估，但是，在方法评估的不仅 是泄露，也包括放气。 漏率检测作为一项非常重要的技术指标，已经作为设备验收的一项标准。 我们公司的设备的漏率标准：从极限真空漏至1Pa所需的时间要大于120分钟。 （3）气体检测法检漏 气体检测法可分为：氨气检漏法、卤素检漏法和氦质谱检漏法，其中最为常用和普遍 的是氦质

28、谱检漏法。氦气和其他气体相比有很多优点，例如：不能燃烧、无毒、价格不昂 贵、很轻、化学性质不活泼、气体分子小等。 一台氦质谱检漏仪的价格比较昂贵，但是是非常必要的。 使用检漏仪的注意事项： 掌握适当的喷氦时间 检漏的次序：从上往下、由远及近喷吹（喷氦式检漏） 使用前要进行校准, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,反应气体供气系统,中央控制柜上的一个四路质量流量控制面板，与真空室底架中的四路气体质量流量控制器（数字控制或模拟控制）和它们的电磁驱动阀组成了气体质量流量控制系统。四路气体质量流量控制系统用于向真空室输入反应气体N2，

29、辅助气体Ar和其它反应气体（C2H2、CH4、O2、H2等）。 每一条管路的气体流量速率都能在AUTO模式MANU模式下控制。 在手动操作中，“ON”按钮是打开或关闭电磁驱动阀。 3位开关用来设置气体质量流量计的状态： “VENT”按钮是用来完全开启气体质量流量计； “CLOSE”是用来停止气体质量流量计； “RUN”是通过其电位器“SET”来控制气体质量流量速率的。 在自动镀膜过程中，气体质量流量速率可以自动控制，并且4个管路间的流量比率也可以预先分步设定好。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,反应气体供气系统,用户准备带

30、有精密减压阀的高纯气体的气瓶，与丹普公司随机配送的二级精密减压分配板相连。布气板上的减压阀压力设定要符合流量计的压力要求： 使用七星华创流量计时：工艺气体压力设定在0.1MPa； 使用MKS或BROOKS流量计时：工艺气体压力设定在0.120.15MPa； 要求定期（一周）的检查反应气体供气系统管路无漏点，对每一路管路抽真空，面板仪表显示的最终数值要求：3SCCM。 检查步骤如下： 关闭气体的气瓶阀门，打开其他所有的阀门； 开启分子泵抽气系统，抽高真空； 按下“ON”按钮，打开流量计前的电磁阀，并设置流量计的流量尽可能大； 经过一段时间后，流量计的流量会逐渐变小； 当面板仪表显示的最终数值显示

31、3时，说明此路供气管路无漏点； 按照上述方法，完成其他路的检漏。 在此过程中，由于压力的减小，流量计会报警，但是不影响检漏的结果。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,冷却水系统,要求用户自己准备冰水机系统，冷却水压强的正常范围在0.20.25MPa之间，水的压强过高会损坏真空室水套，建议用户在入水口处安装水压表来监控水压变化或者使用带有变频功能的水泵。 冷却水要求使用去离子水，避免造成对设备某些部件的腐蚀，也可以适当的加入汽车用防冻液，实践证明，在冷却水中加一定比例的防冻液能很好的避免磁钢的腐蚀。 分立服务（水）柜配有两套冷

32、却水，一套为高温水，水温在20-25之间，一套为低温水，水温在10-15之间，用户可以根据工艺要求选择同时使用两套冷却水，还是只使用一套冷却水。 如果外部环境潮湿，打开炉门的时间如果过长，会在真空室内壁上有水气凝结，会给下一炉的抽真空时间带来很大影响，所以要尽量避免长时间的打开炉门，或者适当的调高冷却水的水温。 注意：开冷却水时，要先开启回水球阀，再开启每路水表前后的进水球阀，开启进水球阀时必须缓慢开启，防止水锤损坏水表。水流量能满足设备要求即可，没有必要完全打开进水球阀，但是要求回水球阀要完全打开。 当发现水流量变化异常时，要注意检查在水表前的过滤网上是否有异物堵塞水表。, E-mail:

33、TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,压缩空气系统,用户应该准备一个空气压缩机，相关要求如下： 最大压强应为1 Mpa； 压缩空气应进行除油除尘处理，确保压缩气中无水无尘； 设备入口处最终压强应在0.50.6 MPa之间； 空气压缩机可以由分立服务（水）中的继电器自动控制； 因为其运行噪音，建议放置在远离设备的地方。, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,基本手动操作步骤（一）,准备工作 打开配电箱总空开以及各电源空开，检查配电系统是否正常； 打开空气压缩机以及冰水机、水泵； 打开

34、工艺气体气瓶，检查配气盘每路减压阀压力是否适当； 开启设备 开启控制柜内的UPS； 顺时针旋转钥匙【LOCK】解除总电源的锁定； 按下【SYSTEM ON】按钮并保持3秒,启动系统； 按下【MANU】按钮进入“手动操作”模式； 检查系统是否有报警，如果有，检查并解除； 分子泵和粗抽泵预起 首先打开分子泵电源的开关，如果有使用UPS，最先要打开UPS电源； 按下【TURBO】按钮，启动加速分子泵； 按下【ROUGH】按钮，启动粗抽泵；, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,基本手动操作步骤（二）,设备检查 检查磁控靶、阴极电弧靶、

35、柱弧以及离子源的绝缘； 检查所有引弧针安装牢固； 检查所有靶材的烧蚀情况，厚度等； 用吸尘器清洁真空室内部； 工件的装载 将未镀工件装载到真空室中； 工件装载完以后，不要立即锁住前门，一定要在镀膜要求的速度下旋转，观察是否有工件在离心力的作用下发生挂碰，或者距离过近，有可能发生危险的情况； 抽低真空 调整节流阀的电位器到全开位置（200）； 按下【V1】按钮，启动罗茨泵； 启动复合真空计，使用自动模式；, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-10-82923941,基本手动操作步骤（三）,抽高真空 当真空度达到6Pa以下时； 抬起【V1】按钮（V1指示

36、灯灭）； 按下【V2】和【V3】按钮（V2和V3指示灯亮）； 加热烘烤 如果需要，先启动工件转架转动，在温度控制面板上设置温度，再按下【HEATING】 按钮，对真空室内工件加热； 氩离子轰击清洗 当分子泵系统抽真空至 1x10-2 Pa时； 调整节流阀“THROTTLE”电位器至25左右； 调整Ar的气体进气量和节流阀，使真空度达到大约2 Pa； 按下转架【TURN】按钮（转架指示灯亮）； 按下偏压 【BIAS】 按钮，启动BIAS电源，增加负偏压到-400，直到-800v,此时，真空室内会有辉光放电现象，维持放电5-10分钟；, E-mail: TEL:86-10-82924110,4145 FAX:86-1