酸性蚀刻工艺流程教材课件

1、酸性蚀刻工艺教材，1，PPT学习交流，1 .简单：2，PPT学习交流，2，蚀刻质量指标1 )蚀刻因子(蚀刻系数)2)蚀刻均匀性(一般用COV表示，数值越小，均匀性越好)。 三、影响蚀刻特性的因素1、蚀刻液的化学组成(有酸性蚀刻和碱性蚀刻的成分时) 2、蚀刻温度对蚀刻液特性的影响比较大，通常在化学反应过程中，温度会加速溶液的流变性，降低蚀刻液的黏性系数，蚀刻灰色但是，如果温度过高，则容易引起蚀刻液中的化学成分的挥发，如果蚀刻液中的化学成分的比例不均衡，则有可能造成云同步，如果温度过高，则高分子结账台层被破坏，影响蚀刻设备的寿命。 因此，蚀刻液的温度一般控制在一定的工艺范围内。 4、PPT学习交流

2、，3 .采用的铜箔厚度：铜箔厚度对电路图形的导线密度有重要影响。 铜箔薄，蚀刻时间短，侧面蚀刻小，相反，侧面蚀刻大。 因此，需要根据设定修正技术的要求和电路图案的布线密度和布线精度的要求来选择铜箔的厚度。 在云同步中铜的伸长率、表面晶体结构等直接影响蚀刻液的特性。 5、PPT学习交流，4 .电路的几何形状：如果电路图形导线在x方向和y方向的分布位置不均衡，则直接影响蚀刻液在板面上的流动速度。 同样，在板面上的间隔窄的导线部位和间隔宽的导线部位的状态下，在间隔宽的导线分布的部位，蚀刻过剩。 因此，这要求设定修正者在修正电路时，首先要了解工艺上的可行性，尽可能使整个板面的电路图案均匀分布，使导线的

3、粗细尽可能一致。 6、PPT学习交流，5 .蚀刻设备的影响(喷淋方式、喷嘴和喷嘴设定修正、摇摆、喷淋压力调节等要素)6.流体动力学的影响(表面张力、黏性系数)表面张力越小越有利(温度、润湿剂)在蚀刻过程中，7、PPT学习交流，4， 氯化铜酸性蚀刻液的特性及蚀刻原理1 .特性蚀刻速率容易控制，在蚀刻液稳定的状态下，能够达到高蚀刻品质的溶铜量多的蚀刻液容易再生和回收，污染少。 2 .在蚀刻原理蚀刻过程中，氯化铜中的二价铜具有氧化性，可将印刷基板面上的铜氧化为一价铜，其化学反应如下：蚀刻反应： Cu Cucl2 2Cucl，8，PPT学习交流，形成的氯化亚铜难以溶解于水， 存在过剩的氯元素络离子时其

4、化学反应，随着络合反应： 2Cucl 4cl- 2Cucl32-铜的蚀刻，溶液中的一价铜越来越多，蚀刻能力很快降低，最终失去性能。 为了维持连续的蚀刻能力，可以用各种方法再生蚀刻液，将一价铜再转化为二价铜，达到正常的蚀刻工艺标准。 9、PPT学习交流，3 .影响蚀刻速率的因素多为影响蚀刻速率的因素，影响大的有蚀刻液中的氯元素络离子、一价铜的含量、蚀刻液的温度及二价铜的浓度等。 1 )氯元素络离子含量的影响氯元素络离子浓度高，蚀刻速率快，氯化铜蚀刻液中，二价铜和一价铜实际以氯元素络离子的错形成的形式存在。 在蚀刻反应过程中，生成的Cucl难以溶于水，在铜的表面生成氯化亚铜膜，反应的进行被阻止。

5、但是，过剩的氯元素络离子从络合形成的可溶性配离子和铜表面溶解，可以提高蚀刻速率。 10、PPT学习交流，2 )一价铜含量的影响：蚀刻中随着化学反应的进行，形成一价铜，微量的一价铜存在于蚀刻液内，蚀刻率显着降低。3)2价铜含量的影响： 2价铜络离子浓度低的情况下，如果蚀刻速率过低，则由于蚀刻液的黏性系数、比重的增大，蚀刻速率也降低，因此2份铜含量在标准范围内(180210g/L )能够得到最佳的蚀刻效果，一般是用比重方法在溶液内11、PPT学习交流，4 )温度上升，蚀刻速率增加，但温度过高则盐酸过度挥发，溶液成分的比例变得不均衡。 12、PPT学习交流，4 .腐蚀液的再生原理：主要利用氟化剂将溶

6、液中的一价铜络离子氧化成二价铜络离子。 方法：通过氧气或压缩空气法、氯元素瓦斯气体法、电解法、氯元素酸纳金属钍法和过氧化水素水法等，在此主要介绍常用的氯元素酸纳金属钍法的再生反应：6Cucl NaclO3 6Hcl 6Cucl2 3H2O Nacl，13，PPT学习交流，氟化剂是自动添加方式的控制， 根据众所周知的奈恩斯特方程式，E=E0 0.059/n logCu2 /Cu1 E0-标准电极电势(毫伏特) n-反应过程中的得失电子数Cu2 -二价铜络离子浓度Cu1 -为1五，蚀刻布线图案时应注意的技术问题1 ) 与蚀刻均匀度相关的喷淋压力的调节(上下左右压力的调节、薄板的压力调节)通过菲林补

7、偿得到改善，密线路区和疏线路区为不同的补偿值2 )操作方式的控制视图案布线疏密确定了放电板方向，基板面上的蚀刻液流动快，在不发生蚀刻液堆积的蚀刻时再生、15、PPT学习交流、6、常见故障及处理方法：16、PPT学习交流、铜可存在三种氧化状态，原子形成Cu、蓝色络离子Cu及较不常见的亚铜络离子Cu。 金属铜可以在铜溶液中氧化溶解，由于以下反应式(1) cucu2cu- (1)酸性蚀刻的再生体系，即将cu氧化为Cu，因此蚀刻液可以咬合更多的金属铜。 3、腐蚀反应的反应历程：17、PPT学习交流、直观联想、氯化铜酸性腐蚀液中，Cu和Cu应存在于CuCl2和CuCl中，但事实不完全正确。 两者实际上以与HCl的巨大配合物形式存在： Cu h2cucl42 HCl2h2cucl3- (2)其中h2CuCl 4实际上是CuCl2与HCl的配合物，h2CuCl的(2)式可以简化为以下两个反应式。 Cu H2CuCl4 2H2CuCl3 CuCl(不溶)- (3) cuc l2HCl2CuCl3(可溶)- -。 由此