内层开路、缺口改善

1、内层开路，间隙改善，目录，(2)，相关改善措施，(4)，内层板开路，间隙状态分析，(5)，改善方案(1):清洁度整改，(6)，改善方案(2):外露杂物整改，(1)，改善前后效果，(3)。当使用内层过期干膜和已打开5天以上的干膜时，曝光人员应在曝光前检查面板上是否有胶点，如果有，应返工。(2)改进措施，手动曝光机的清洗方法：从机器顶部到底部清洗；机器内部的灰尘可以用真空吸尘器吸走，然后机器内部的所有区域，包括所有死角，都可以用防尘布擦拭一次。擦拭后，用手电筒检查每个区域是否干净一次；制作内层时，每隔20片薄膜取下检查时，清洁外露玻璃台面的反面，清洁后检查玻璃台面和美拉德薄膜表面是否有杂物；清洗频

2、率应保证每班按上述四点进行清洗作业，所需时间不少于30分钟。(2)改进措施，手动曝光机减少粉尘：在手动曝光机的门两侧粘贴防尘纸；防尘纸放在机器底部靠近曝光框轨道处，以减少灰尘；更换频率：每周一维护：手动曝光机使用专用粘尘轮，确保粘尘轮完好；(2)改进措施，对内部精密电路以下的版材，手工制定相应的规格(5min):由专人检查版材的板面，用除尘辊进行清洁，然后直接交给曝光人员进行生产(严禁将清洁后的版材再次放在版材架上)；层压机要求内部每天擦拭一次，以减少薄膜下的杂物；清洗机的粘尘纸每100张更换一次。(3)内层图案转移过程，过程：磨片、贴膜、曝光、打孔、蚀刻(显影、酸蚀刻、膜剥离)、磨片、去除抗

3、氧化层、使衬底表面的膜粗糙化-热压抗蚀光敏干膜进行曝光-通过紫外曝光将膜图案转移到干膜上；从干膜上去除干膜以进行显影；剥离除电路图案之外的干膜以进行酸蚀刻；蚀刻电路图案外部的铜箔以剥离薄膜；去除电路图案上的干膜穿孔；冲压出层压所需的定位孔；这种改进侧重于暴露；(3)开路和缺口缺陷的现状。K1-虫咬开路，K2缺口-外露杂物开路，K3缺口-铜瘤开路，K4缺口-划痕开路，K5缺口-圆形开路，K6缺口-沟虫咬开路，缺口。AOI保留的开路和缺口图片分析：80%的开路和缺口主要由K1和K2引起。(3) K1-原因：膜下有杂质，压辊有小孔(裂纹)，后出现膜泡缺陷。(3) K2 -开路和暴露杂质的间隙。主要特

4、点：缺陷位置和形状规则，边界清晰。原因：暴露在灰尘和杂物中。后曝光出现缺点，(3)内层开路，缺口图片，MN427A外露杂物开路，M600A板面杂物开路，(4)干膜室洁净度提高，1。胶片检查员和开发人员在每班使用尘辊清洁地面，包括所有死角，如设备底部和胶片架底部；2.机器顶部、墙壁周围和天花板顶部应每周清洁一次进行维护。(5)外露杂物的整改。当使用过期的干膜时，如果有任何残留的胶水，有必要在曝光前彻底检查纸板表面。(5)外露杂物的整改。清洁手动曝光机前，用手触摸灰尘或粘尘纸时，杂物明显，但在手电筒的照射下，机内杂物明显。(5)清理外露杂物，改进出风口，用铁丝网包裹出风口，以减少因风扇灰尘造成的断

5、路；(5)外露杂物的清理：用粘尘纸自上而下清理手动曝光机，以减少灰尘量。(5)外露杂物的整改。清洁后，用手电筒再次检查每个区域，尤其是机器的死角区域。由于手动曝光机内部光线不强，而且机器内部设计有很多死角，很多死角都含有大量灰尘，这是由于之前清洗方法和检查方法不当造成的。(5)外露杂物的整改，外露框架内外的轨道没有保护，运行中出现碎片(黑色颗粒状)，因此在轨道处临时放置尘纸，以减少黑色粉尘的来源。要求周一维护时，放置的粘尘纸应更换一次。(5)外露杂物的清理：首先，用胶片清洁器清洁外露框架(包括清洁玻璃桌面的反面)。(5)外露杂物的清理，将两个曝光框清理干净后，关闭曝光框并抽真空，检查整个曝光框内是否有杂物，合格后方可制作板材。(6)膜下杂物清理，手动内部精密电路(5分钟):专人