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文档简介
1、检测依据及设备、原理,检测作业指导书,检测数据分析,2,3,4,采样及其样品处理,1,检测报告书,5,采样及其样品处理,一、采样 1、单晶棒 2、单晶片:取头部、中部、尾部各三片,要具有代表性 二、样品处理 1、试样待测面用2842m或2028m金刚砂研磨或喷砂。 2、 对圆片试样,用514m氧化铝或金刚砂研磨上下表面。,检测依据,检测设备,射线晶体定向仪原理: 如果波长为的单色X射线入射到晶体上,要使其能在某晶面产生衍射,使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsin=n,对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同,在与入射线的角度为2的位置上便会出现衍射线,根据衍
2、射线的方位就能确定晶体的取向。 X射线的性质: 感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、 衍射作用,一台X射线定向仪主要由下几个部份组成: (1)X射线发生部分 (2)X射线检测部分 (3)样品台及转角测量部分,检测作业指导书,1、对晶体要求: 在检测前首先确认被测晶体是否为单晶; 定向前需先判断定向面的大致取向,如无法判定则可先假定一个,逐一实验,直到找到正确晶面; 记住样品假定的方向。 2、实验仪器: X射线定向仪、硅片,3、实验步骤: 用前,开机预热5-10min; 查表,找与之对应的布喇格角; 调节盖革计数管放置在2的位置上; 开x光电源,按下开关,调电压,0.8-1.0A之间; 开气阀,吸上标准石英,拉开x光挡板,调数率旋钮,摇动手轮找到峰值; 换硅片,重复第5步操作; 当计数表达到峰值,记下转角,求水平偏离角,旋180,重复上面步骤,两次测量结果取平均值; 将样品位置复原后,旋转90 后,重复操作,测得两个垂直的偏离角,
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