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文档简介

1、SU8是一种环氧型光刻胶，胶联后很难去除。在去胶液中只能发生“溶胀”而不能溶解。 用哪些方法可以有效地去除SU8？,按去除原理分类 机械物理去胶 干法化学去胶 湿法化学去胶,常用的物理去胶的方法有高压水喷、低温冷冻、高温解冻、准分子激光消融等。 对于要求从基片上剥离的电铸金属零部件的去胶而言,可通过高压水喷或喷珠、高温分解、液氮( - 196 ) 冷冻/ 解冻等简单、经济的机械、物理方法去除SU28 胶模,利用SU-8与基片，电铸金属的热膨胀系数不匹配，通过低温冷冻（或高温解冻）可方便地去除大块SU-8胶膜，对于电铸金属的性能影响不大。 准分子激光消融法利用远紫外光分子激光消融去除SU-8胶，

2、其机理是在高能脉冲的准分子激光的作用下，聚合物的某些结合能态化合键由于光化学分解和热分解作用而破裂，并转化为碎片挥发掉。,常用的干法化学去胶方法包括高温灰化、RIE 等离子体反应刻蚀灰化、微波等离子体下游化学刻蚀(DCE) 、发烟硝酸刻蚀等。,RIE 能刻蚀高深宽比电铸金属内的SU-8 胶,工作原理是利用到呢管理字体的能量将SU-8胶灰化。 DCE是一种有机物去除技术，可高速的蚀除胶联的有机物，DCE要先产生反应的氧根离子流，然后流向下游进行化学刻蚀。 发烟硝酸能腐蚀掉高度交联的SU-8 ,但对其它 材料如Cu ,Ni 和Al 等也同样有腐蚀作用。在惰性 气氛如氮气中工作,可减轻金属受腐蚀程度

3、。,常用的湿法化学去胶方法包括化学溶剂溶胀剥离、熔融强碱盐浴氧化刻蚀、强酸氧化刻蚀等。,交联SU-8 虽不溶于任何溶剂,但通过化学溶剂可溶胀/ 破裂SU28 胶,而不是溶解。化学溶剂法的原理是利用化学溶剂，先溶胀部分的SU-8凝胶状，使其与基底间产生分离翘起而被剥离，经过后烘，然后连同基片浸入去胶溶剂中，一段时间后达到剥离效果。,氧化熔盐主要为硝酸钠和氢氧化盐如氢氧化钾以及其它添加剂的混合体。这是电镀Ni 开始发生热损坏的温度 。一般地,Ni 及Ni 基合金对硝酸盐浴有特殊的抗蚀性。熔盐是较有效的热传递介质,因此在对含碳聚合物的放热氧化过程中,不会使其中金属元件的温度超过盐浴温度。另外盐浴的表面张力能较好的浸湿多数金属,辅助去除内部的SU-8 胶。,采用发烟硫酸来刻除电铸金属的SU-8 胶模。在发烟硫酸的刻蚀作用下,交联SU-8 胶模表面被腐蚀成粘稠状的小碎片,

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