RENA设备工艺介绍.ppt

1、RENA设备与工艺培训,2011-1-9,RENA清洗制绒原理方程：,RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF3H2SIF6+4NO2+8H2O SIO2+HFH2SIF6+H2O,RENA设备：内部和表面绒面,3,RENA运行时的内部状况图,多晶硅片经过制绒后的绒面形貌,注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过程中片子是漂浮在溶液上的。,RENA设备：外观,4,注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。 在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。,一.RENA设备：各部分构件介绍,5,Dryer,

2、Acidic bath,Rinse2,Alkaline bath,Rinse3,Keep process temperature stable,chillier,Etch bath,Rinse1,清洗一槽,碱洗槽,冲洗二槽,酸洗槽,冲洗三槽,干燥,蚀刻槽（主槽）,工作流程,RENA操作界面介绍1：,RENA主界面详细说明2：,程序内的日期和时间,模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名,灯塔状态,机器名称,厂家名称,报警的详细信息,登陆按扭,RENA设备：外围药液桶,8,注：通过对外围药液桶液位的观察可以很好的了解到药液的用量情况,RENA主界面详细说明3:,一号传动的状态及设定速度,二号传动的

3、状态及设定速度,传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿,三号传动的状态及设定速度,机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报,RENA主界面详细说明4:,进口处统计归零,准备上料（自动模式下才会出现）,出口处统计归零,进口处硅片统计,出口处硅片统计,刻蚀槽温度,三个电机分别控制三段滚轴,碱槽温度,门状态(绿色为关闭灰色为开启),RENA主界面详细说明5:,登陆筐,可输入登陆名密码后登陆(不同的登陆名有不同的权限),记事本,锁定窗户,正在使用的工艺文件,机器自动运行时的开始和停止,灯塔测试(点击后灯塔全部亮),RENA主界面详细说明6:,关闭模式,手动模式,服务模式(权限最高),自动模式,切换

4、到初始界面按扭,进入服务模式按扭,进入手动模式按扭,工艺文件,进入手动添加界面,曲线图,进入报警信息界面,取消蜂鸣,取消报警,RENA主界面详细说明7:,各添加桶状态,冷水机状态,储液箱状态,储液箱进口温度 储液箱设定温度 储液箱实际温度,冷水机内自来水的电导率,集中供液是否READY,机器内化学品排放是否READY,RENA手动模式状态详解：,RENA刻蚀槽界面介绍：,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 PT FILLING DI-储液槽加纯水 PT FILLING CHEMIE-储液槽加化学药品 SYSTERM RINSING-整个系统(包括外槽内槽储液槽

5、)用纯水清洗 SYSTERM DRAINING-整个系统排液 BATH CHANGE-刻蚀槽储液槽排空,再重新配液 START MAIN FUNCTION-在手动模式下单个槽运行工艺 RINSE BATH START-开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用) RINSE BATH STOP-纯水清洗结束 FILL BATH-给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水) DRAIN BATH-刻蚀槽排液,RENA刻蚀槽功能：,第一次配槽的设定体积,实际加入的体积,未加入的体积(点击上图的REST REMAIN VOL.可以清零）,流量,RENISE1界面,RENISE1功

6、能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI-给槽内加纯水（RENISE的水是RENISE槽的水溢流过来的） DRAINING-整个槽排液 START PROCESS-在手动模式下单个槽运行工艺 STOP-结束操作,RENISE 1槽的状态,RENA碱槽界面,碱槽功能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI-给槽内加纯水 FILLING CHEMIE-加化学药品（初始配槽） RINSING-用纯水清洗 DRAINING-整个槽排液 START CIRCULATION-开始循环（只有加满纯水或化

7、学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一） START ETCHING-在手动模式下单个槽运行工艺 STOP-结束操作,初始配槽时KOH和水的体积,RENISE2界面介绍,RENISE2主功能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI-给槽内加纯水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING-整个槽排液 START PROCESS-在手动模式下单个槽运行工艺 STOP-结束操作,RENISE 2槽的状态,HF槽界面介绍,HF槽主功能,MODE MAN&MODE

8、AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI-给槽内加纯水 FILLING CHEMIE-加化学药品（初始配槽） RINSING-用纯水清洗 DRAINING-整个槽排液 START CIRCULATION-开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一） START ETCHING-在手动模式下单个槽运行工艺 STOP-结束操作 初始配槽时HF和水的体积,RENISE3界面介绍,RENISE3功能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI-给槽内加纯

9、水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING-整个槽排液 START PROCESS-在手动模式下单个槽运行工艺 STOP-结束操作 RENISE 槽的状态,DRYER2功能,DRYER2功能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 AIRKNIFE ON-手动模式开启风刀 AIRKNIFE RESET-风刀复位 风刀状态,COOLINGUNIT功能,COOLINGUNIT功能,MODE MAN&MODE AUTO-自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING-给冷水机加自来水（冷水机上有液位显示） DRAINING-冷水机排水（自

10、来水） 冷水机状态,RENA传动功能,RENA传动功能,传动状态(3个),同时控制3个传动,RENA添加桶描述,三个液位传感器,低于低液位传感器或高于高液位传感器机器都会报警,低于中液位传感器并且高于低液位传感器系统开始加液,加液时添加桶上方的气动阀打开(颜色变为绿色)。,下图为刻蚀槽添加桶画面,RENA添加桶描述,碱槽添加桶,HF槽添加桶,RENA添加桶描述,HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路

11、不同,添加桶也和其他三个添加桶不同.,RENA设备：常见问题及解决方案,RENA设备：常见问题及解决方案,RENA设备：常见问题及解决方案,RENA开机工艺准备工作：,开机前工艺人员必须确保所有的化学用液在规定范围之内，各槽参数正常，即RENA机主界面全部是绿色的情况下方能正常运行。,RENA工艺运行参数文件,清洗制绒槽:,RENA工艺运行参数文件,清洗碱洗槽:,RENA工艺运行参数文件,清洗酸洗槽:,控制要求：配液按工艺文件来配，自动补液根据实际情况使用微调,RENA工艺运行参数文件,刻蚀制绒槽:,RENA工艺运行参数文件,刻蚀碱洗槽:,RENA工艺运行参数文件,刻蚀酸洗槽:,刻蚀的腐蚀量控

12、制在0.05g0.1g,边缘腐蚀线小于1.5mm，表面无色斑， 背面无明显黄褐色斑,工艺技术人员对RENA机的工作内容及要求,对于RENA机，工艺技术人员最主要的工作就是要保证片子出来后符合工艺参数要求在这边主要的一个工作内容包括以下几点： 1：保证RENA机各槽溶液的一个及时准确的更换，每个班必须记录下当天所换药品，以确保下个班工艺能及时准确的了解。（一般换碱液工艺人员控制在40分钟之内，更换蚀刻槽液体控制在34小时，更换HF酸控制在23小时） 2：对片子减薄量的一个准确的控制。配合生产一线员工根据产量的具体情况每400800片做一次减薄量的测试。控制减薄量一般有以下几种方法1:改变带速（正

13、常情况下可以直接在界面上微调，如需彻底改变需要在参数里面改写。2改变蚀刻量（在改变带速没有明显效果下改变蚀刻量）。3：改变溶液浓度（通过按照参数配比直接添加，或改变自动补液的次数）。 3：配合设备人员及时对RENA机警报的一个解除工作。 4：帮助一线员工解决片子的异常，做好片子的一个返工处理以及保持片子的报废率保持在最低水平。,RENA设备对于工艺的要求：,1：片子表面5S控制：片子表面要保持清洁，不容许手摸片子，要勤换手套。 2：减薄量数据要真实可靠，一般控制在0.36g0.45g不允许弄虚作假。 3：测减薄量每次至少要测试4片片子,可以每次放在不同排的滚轮上测试。 4：停机在半小时以上要求将时刻槽的液回罐，保持溶液的新鲜。 5：从下料台出来的片子要及时拉到下个工序，最长不能超过四小时，以免片子被污染和氧化，影响后面的效率 6：RENA机出现报警，及片子出现异常要及时处理，不允许出现一线员工找不到工艺的情况。 7：RENA机带速最快不能超过1.5m/mi