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文档简介

1、平行度测量步骤，激光系统可以用来测量平行度的线性度和旋转度。平行测量包括两组直线度测量。这意味着直线度测量已经完成，并且之前已经完全了解，直线度数据已经收集，然后进行平行度分析。平行度测量的原理，线性平行度测量是用来确定两个名义平行轴之间的角度关系。平行度测量由两组直线度测量组成，使用一个普通的直线度镜参考进行(就像垂直度测量一样)。线性平行度通过从第一运动轴的倾斜度(1)中减去第二运动轴的直线度数据采集倾斜度(2)来计算。线性平行度=1-2，线性平行度，线性平行度，计算线性平行度误差，从第一运动轴的倾斜度(1)中减去第二运动轴的直线度数据采集倾斜度(2)，并计算线性平行度。线性平行度=1-2

2、，固定直度镜，测量固定和移动光学设计之间的交换，旋转平行度，旋转平行度测量是确定旋转轴和线性轴之间的角度。直线度镜放置在旋转轴(如车床卡盘)上，直线度干涉镜沿着直线轴，如图3所示。反射通过旋转180的两组之间的直线度来测量，如图4所示。激光测量由以下部分组成：XL-80激光头直线度光学透镜组直线度测量附件垂直度测量光学透镜组激光校准软件、平行度测量配置、直线平行度配置、水平面平行度、垂直面平行度、水平面平行度替代设置、垂直面平行度替代设置、水平面平行度测量、垂直面平行度测量、水平面平行度替代设置、垂直面平行度替代设置测量、垂直面平行度替代设置测量、旋转平行度、平行光束准直， 直线平行光束沿第一

3、测量轴的对准按照正常的直线度准直程序，沿第二测量轴进行测量，以保证在第二测量轴保持合理的光束强度，并采用以下调整要求：垂直和水平激光旋转节距和旋转角度激光调整垂直和水平直线度干涉镜旋转直线度干涉镜前部的精细旋转调整。 直线度干涉镜绕垂直轴的微调。旋转平行度准直，对准根据沿第一个测量轴的正常直线度对准程序，旋转轴与直线度镜通过180。确保在直线度干涉仪反射镜的整个移动过程中有足够的信号强度，以保持以下调整要求。小振幅垂直和水平激光旋转。小角度和倾斜调节激光器。垂直和水平直线度小的干涉镜的旋转。微调调整直线度干涉镜的前面。直线度干涉镜绕垂直轴的微调。微调旋转镜(使用时)。线性平行符号惯例、固定反射镜、固定/移动、旋转平行符号惯例、影响平行度测量精度的因素、共线性测量的影响因素、平行

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